Lớp nguyên tử nhiệt lắng đọng

Có thể đàm phánCập nhật vào02/06

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Các công cụ ALD để bàn nhỏ (Atomic Layer Deposition) được thiết kế để vận hành và cài đặt đơn giản mà không phải hy sinh hiệu suất của chúng để nghiên cứu và phát triển hiệu quả về chi phí.

Chi tiết sản phẩm

Giới thiệu thiết bị:

Loại bàn nhỏCác công cụ ALD (Atomic Layer Deposition) được thiết kế để vận hành và cài đặt đơn giản mà không phải hy sinh.Giới tínhcó thể, choChi phí hiệu quả nghiên cứu và phát triển。

Sử dụng các yếu tố cấp bán dẫn, dây niêm phong kim loại và mạnh mẽGiao diện người dùng điều khiển PLC để lưu thông nhanh và phim nhiều thành phần chất lượng cao, dễ bảo trì，Hoạt động lặp lại và an toàn.

Thông số kỹ thuật:

·Kích thước L * W * H: 62,3 * 61 * 40cm (4 inch)

·nhấtcaoViệtĐộcó thểDa315℃

·vàngTrang chủniêm phongỐngĐường(Giảm khí quyểnbẩn thỉuNhuộmcủaMáy mócSẽ)

·3 nguồn kim loại hữu cơ (có thể được làm nóng đến 150 ° C) và 2 nguồn oxy hóa/giảm (bộ đồng hành có thể được làm nóng đến 180 ° C),Cung cấp thêm tùy chọn co-reactor

·Van ALD xung nhanh chịu nhiệt độ cao với MFC siêu nhanh để quét khí trơ tích hợp - Tiêu chuẩn

·Thích hợp cho 4 inch, 6 inch, 8 inch chất nền và cung cấp tùy chọn kẹp chuck tùy chỉnh (lớn và nhiều buồng) (3 miếng đểwafer trên (có sẵn)

·TĩnhChốngnênmôKiểuxuốngcó thểThựcHiện tạicaoTrang chủTrang chủ

·Với bộThànhPLCkiểm soátcủa7 inchHiển thịHiển thịMàn hình

·Trọn đờiMềm mạichiếcThăngLớp

Tùy chọn có sẵn

·Custom Chuck/Base | Ozone Generator | QCM (Quartz Crystal Micro Balance) | Chai sưởi ấm

·Thiết kế vỉ cho chai của bạn | Nâng cấp thêm dòng sưởi phía trước lên 185 ℃ | Kết nối tích hợp hộp găng tay

·Thông gió Front Driver Enclosure | Tùy chỉnh khoang đặc biệt | Tư vấn hệ thống tùy chỉnh

Lợi thế thiết bị

ØNhà máy làChuyên gia trong lĩnh vực ALD

ØCác thành phần chất lượng cao (dòng chất bán dẫn, van, niêm phong kim loại (không có nước hoặc không khí xâm nhập))

ØTin cậy (Điều khiển PLC - không cần nâng cấp trình điều khiển, không cần thẻ bổ sung) và đáng tin cậy (rất dễ bảo trì)

ØĐược thiết kế cho các kỹ thuật viên phòng thí nghiệm

ØNhỏ gọn (không chiếm không gian)

ØPhòng nhỏ có nghĩa là lắng đọng nhanh chóng và ít chất thải tiền thân hơn và thâm nhập sâu vào cấu trúc ba chiều

ØThời gian làm nóng nhanh (và làm mát)

ØHóa chất được tách ra khỏi chất phản ứng, vì vậy nó sẽ không lắng đọng trong đường ống, van, v.v.....

ØChiều dài ngắn giữa ổ đĩa phía trước và khoang (giảm nguy cơ tắc đường)

ØPhương trình (150 thực đơn với công thức chuẩn)

Tại sao chọnAnricCông nghệ???

Dòng chính thế giớiCác nhà sản xuất, nhưASM Quốc tế N.V.， Beneq，Picosun， Dụng cụ Oxford，TEL, v. v., những nhà máy lớn này tập trung vào thiết bị ALD công nghiệp hoá.

AnricCông nghệ： Tập trung vào mini, desktopThiết bị ALD, hoạt động đơn giản, bảo trì kinh tế và thuận tiện, đặc biệt thích hợp cho người dùng nghiên cứu khoa học.

Giới thiệu R&D:

Philippe de RouffignacTiến sĩTốt nghiệp từĐại học Harvard, Khoa Hóa họcSư phụ.Giáo sư Roy Gordon, Trong thời gian học đã thiết kế và phát triển vài chiếc.Thiết bị ALD và tại HarvardTrung tâm Hệ thống NanoscaleCông việc, trong lúc đó.Bao gồmPhát triển CVD/ALD PrefabSau đó ra ngoài sáng lập.Anric Công nghệTập trung vào mini và máy tính để bàn để nghiên cứu trong phòng thí nghiệm.ALD.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị