Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA

Có thể đàm phánCập nhật vào01/05

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Hệ thống lập bản đồ điện trở bốn đầu dò KLA R50 là sản phẩm của dòng thử nghiệm điện trở KLA. Đo lường và giám sát điện trở rất quan trọng đối với bất kỳ ngành công nghiệp nào sử dụng màng dẫn điện, từ sản xuất chất bán dẫn đến các thiết bị điện tử linh hoạt cần thiết cho công nghệ đeo được. Máy đo điện trở bốn đầu dò KLA R50 có thể được sử dụng trong các lĩnh vực phân phối đồng nhất của màng kim loại, đặc tính pha tạp và tiêm ion, độ dày màng và phân phối điện trở, và đo lường độ dày màng không tiếp xúc.

Chi tiết sản phẩm

Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA R50

Giới thiệu sản phẩm Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA R50:

Hệ thống lập bản đồ điện trở bốn đầu dò KLA R50Là sản phẩm của dòng thử nghiệm kháng KLA. Đo lường và giám sát điện trở rất quan trọng đối với bất kỳ ngành công nghiệp nào sử dụng màng dẫn điện, từ sản xuất chất bán dẫn đến các thiết bị điện tử linh hoạt cần thiết cho công nghệ đeo được.Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA R50Nó có thể được tham gia trong các lĩnh vực đo lường như phân phối đồng nhất của màng kim loại, đặc tính pha tạp và tiêm ion, độ dày màng và phân phối điện trở, và độ dày màng không tiếp xúc.

Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA R50 Ưu điểm:

Đầu dò bốn điểm tiếp xúc (4PP) và cấu hình xoáy điện không tiếp xúc (EC);
100mmZ đột quỵ, kiểm soát độ chính xác cao;
Dây dẫn và điện trở màng bán dẫn, áp dụng phạm vi thứ tự cường độ 10;
Chỉnh sửa tùy chỉnh điểm kiểm tra, bao gồm hình chữ nhật, tuyến tính, tọa độ cực, cũng như cấu hình tùy chỉnh;
Nền tảng điện 200mmXY;
Phần mềm RSMapper linh hoạt và dễ sử dụng;
Tương thích với KLA tất cả các đầu dò đo điện trở màng;

KLA R50 Bốn đầu dò điện trở suất đo nguyên tắc:

Đầu dò bốn điểm (4PP)Đầu dò bao gồm bốn đầu dò dẫn điện chạm vào bề mặt của lớp dẫn điện bằng lực có thể kiểm soát được, trong đó có một lớp chắn không dẫn điện giữa lớp dẫn điện đang được thử nghiệm và lớp lót. Cấu hình đầu dò cho phép đo tiêu chuẩn là áp dụng một dòng điện giữa hai đầu dò bên ngoài và đo điện áp giữa hai đầu dò bên trong. Khi đo điện trở màng, độ dày của lớp dẫn điện phải nhỏ hơn 1/2 khoảng cách giữa hai đầu dò. KLA ởDụng cụ đo điện trở bốn đầu dò R50Công nghệ chế độ kép đã được phát triển, cho phép đo điện áp trên đầu dò khoảng cách và cấu hình hiệu ứng biên động và chức năng bù lỗi khoảng cách đầu dò. KLA cung cấp một loạt các loại đầu dò để áp dụng và tối ưu hóa các phép đo đặc tính đặc trưng của các vật liệu bề mặt khác nhau và có thể được sử dụng trong hầu hết mọi màng dẫn điện hoặc lớp tiêm ion.

Dòng điện xoáy (EC)Là công nghệ đo màng dẫn điện không tiếp xúc. Dòng điện thay đổi theo thời gian được áp dụng thông qua cuộn dây để tạo ra từ trường thay đổi theo thời gian, trong đó dòng điện thay đổi theo thời gian cảm ứng (xoáy) được tạo ra khi nó ở gần bề mặt dẫn điện. Các xoáy điện này lần lượt tạo ra từ trường biến đổi theo thời gian của riêng chúng, kết hợp với cuộn dây đầu dò để tạo ra sự thay đổi tín hiệu tỷ lệ thuận với điện trở của mẫu. Công nghệ EC đặc biệt của KLA, một đầu dò duy nhất nằm trên đỉnh mẫu, có thể tự động điều chỉnh chiều cao đầu dò của mỗi điểm đo, điều này rất quan trọng đối với độ chính xác và độ lặp lại của phép đo. Phương pháp EC không bị ảnh hưởng bởi kích thước đầu dò hoặc quá trình oxy hóa bề mặt và lý tưởng cho các mẫu mềm hơn hoặc các mẫu khác không phù hợp để đo bằng phương pháp tiếp xúc 4PP.

KLA R50 Bốn đầu dò Điện trở suất Dụng cụ đo Ứng dụng công nghiệp:

Chất bán dẫn	Màn hình phẳng và VR	Hợp chất bán dẫn	Gói nâng cao
năng lượng mặt trời	Mạch in	Trang chủ	Vật liệu dẫn điện

Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA R50 Ứng dụng sản phẩm:

I. Tính đồng nhất của phim kim loại

Tính đồng nhất điện trở của màng kim loại là khá quan trọng để đảm bảo hiệu suất của các yếu tố và hầu hết các màng kim loại có thể được đo bằng 4PP và EC. EC khuyến cáo sử dụng màng kim loại dày hơn, dẫn điện cao hơn, 4PP phù hợp với màng kim loại mỏng hơn (>10Ω/sq), nhưng dù sao 4PP/EC cho thấy mối tương quan cao, do đó đảm bảo kết quả chính xác có thể đạt được bằng cách sử dụng cả hai phương pháp. Bản đồ phân bố điện trở của máy đo điện trở bốn đầu dò KLA R50 có thể mô tả tính đồng nhất của màng, chất lượng lắng đọng và các biến động quy trình khác.

II. Đặc tính tiêm ion

Phương pháp 4PP là kỹ thuật đo lường tiêu chuẩn để đo lường quá trình phun ion. Bằng cách kiểm tra phân phối tiêm ion sau khi ủ nhiệt có thể xác định điểm nóng và điểm lạnh do lỗi đèn, tiếp xúc wafer/nền tảng kém hoặc thay đổi liều tiêm. Đối với lớp phun ion silic, quá trình ủ nhiệt là cần thiết để kích hoạt các ion doping.

III. Độ dày màng/điện trở/điện trở màng

Thông qua dữ liệu wafer được thu thập,Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA R50Có thể vẽ bản đồ phân phối điện trở màng, độ dày màng hoặc điện trở. Bằng cách nhập điện trở suất của vật liệu, phân phối độ dày màng có thể được tính toán và hiển thị; Hoặc bằng cách nhập dữ liệu độ dày màng, phân phối điện trở suất có thể được tính toán.

IV. Thu thập dữ liệu và trực quan hóa

Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA R50Phần mềm RSMapper kết hợp thu thập dữ liệu và phân tích mạnh mẽ với giao diện trực quan, có thể được sử dụng cho chính thiết bị hoặc ngoại tuyến. Các công cụ bố trí tọa độ khác nhau đi kèm với phần mềm có thể giúp người dùng dễ dàng thiết lập các điểm đo dữ liệu.

Thông số sản phẩm của dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA R50:

Phạm vi Z:	60 mm	Loại nền tảng Z:	tự động
Loại nền tảng X-Y:	tự động	Tải trọng tối đa của bàn mẫu:	2,5 kg
Bảng mẫu nghiêng:	± 5 ° Hướng dẫn sử dụng
Tính chất điện
		R50-4PP	R50-EC
Độ lặp lại điểm đo:		<0.02%	<0.2%
Độ chính xác:		±0.2%	±1%
Thêm thông số có thể liên hệ với chúng tôi để có được

KLA R50 Bốn thăm dò điện trở suất đo biểu đồ đo:

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị