Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLA

Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLALà sản phẩm đo điện trở suất của KLA. Từ sản xuất chất bán dẫn đến các thiết bị điện tử linh hoạt cần thiết để thực hiện công nghệ đeo được, giám sát điện trở màng là khá quan trọng đối với bất kỳ ngành công nghiệp nào sử dụng màng dẫn điện. Máy đo điện trở bốn đầu dò KLA R54 được tối ưu hóa chức năng để lập bản đồ tính đồng nhất của màng kim loại, đặc tính đặc trưng và ủ của bơm ion, đo độ dày và điện trở của màng và đo độ dày màng không tiếp xúc.

Ưu điểm:

• Chỉnh sửa tùy chỉnh điểm kiểm tra, bao gồm hình chữ nhật, tuyến tính, tọa độ cực, cũng như cấu hình tùy chỉnh

• Tùy chọn lên đến 300mm tròn hoặc A4 (210mm * 297mm) mẫu

• Điện trở màng dẫn và bán dẫn, 10 phạm vi cường độ áp dụng

• Cấu hình bốn đầu dò (4PP) hoặc chế độ dòng xoáy không tiếp xúc (EC)

• Hệ thống khép kín cho phép đo mẫu nhạy cảm với ánh sáng hoặc môi trường

• Hỗ trợ chiều cao mẫu tối đa 15mm

• Nền tảng X-Y chính xác cao

• Kích thước đầu dò EC nhỏ hơn

• Tự động điều chỉnh lỗi chiều cao đầu dò EC

• Tương thích với đầu dò đo điện trở màng KLA;

Nguyên tắc đo lường:

Đầu dò bốn điểm (4PP) bao gồm một đầu dò bao gồm bốn đầu dò dẫn điện chạm vào bề mặt của lớp dẫn điện với lực điều khiển, trong đó có một rào cản không dẫn điện giữa lớp dẫn điện đang được thử nghiệm và lớp lót. Cấu hình đầu dò cho phép đo tiêu chuẩn là áp dụng một dòng điện giữa hai đầu dò bên ngoài và đo điện áp giữa hai đầu dò bên trong. Khi đo điện trở màng, độ dày của lớp dẫn điện phải nhỏ hơn 1/2 khoảng cách giữa hai đầu dò. KLA đã phát triển công nghệ chế độ kép trên máy đo điện trở bốn đầu dò R54, cho phép đo điện áp trên đầu dò khoảng cách và được cấu hình với hiệu chỉnh động hiệu ứng ranh giới và chức năng bù lỗi khoảng cách đầu dò. KLA cung cấp một loạt các loại đầu dò để áp dụng và tối ưu hóa các phép đo đặc tính đặc trưng của các vật liệu bề mặt khác nhau và có thể được sử dụng trong hầu hết mọi màng dẫn điện hoặc lớp tiêm ion.

Dòng điện xoáy (EC) là công nghệ đo màng dẫn điện không tiếp xúc. Dòng điện thay đổi theo thời gian được áp dụng thông qua cuộn dây để tạo ra từ trường thay đổi theo thời gian, trong đó dòng điện thay đổi theo thời gian cảm ứng (xoáy) được tạo ra khi nó ở gần bề mặt dẫn điện. Các xoáy điện này lần lượt tạo ra từ trường biến đổi theo thời gian của riêng chúng, kết hợp với cuộn dây đầu dò để tạo ra sự thay đổi tín hiệu tỷ lệ thuận với điện trở của mẫu. Công nghệ EC đặc biệt của KLA, một đầu dò duy nhất nằm trên đỉnh mẫu, có thể tự động điều chỉnh chiều cao đầu dò của mỗi điểm đo, điều này rất quan trọng đối với độ chính xác và độ lặp lại của phép đo. Phương pháp EC không bị ảnh hưởng bởi kích thước đầu dò hoặc quá trình oxy hóa bề mặt và lý tưởng cho các mẫu mềm hơn hoặc các mẫu khác không phù hợp để đo bằng phương pháp tiếp xúc 4PP.

Ứng dụng công nghiệp:

Ứng dụng sản phẩm:

I. Tính đồng nhất của phim kim loại

Tính đồng nhất điện trở của màng kim loại là khá quan trọng để đảm bảo hiệu suất của các yếu tố và hầu hết các màng kim loại có thể được đo bằng 4PP và EC. EC khuyến cáo sử dụng màng kim loại dày hơn, dẫn điện cao hơn, 4PP phù hợp với màng kim loại mỏng hơn (>10Ω/sq), nhưng dù sao, 4PP/EC cho thấy mối tương quan cao, do đó kết quả chính xác có thể đạt được bằng cách sử dụng cả hai phương pháp. Bản đồ phân bố điện trở của máy đo điện trở bốn đầu dò KLA R54 có thể mô tả tính đồng nhất của màng, chất lượng lắng đọng và các biến động quy trình khác.

II. Đặc tính tiêm ion

Phương pháp 4PP là kỹ thuật đo lường tiêu chuẩn để đo lường quá trình phun ion. Bằng cách kiểm tra phân phối tiêm ion sau khi ủ nhiệt có thể xác định điểm nóng và điểm lạnh do lỗi đèn, tiếp xúc wafer/nền tảng kém hoặc thay đổi liều tiêm. Đối với lớp phun ion silic, quá trình ủ nhiệt là cần thiết để kích hoạt các ion doping.

III. Độ dày màng/điện trở/điện trở màng

Với dữ liệu wafer thu thập được, máy đo điện trở bốn đầu dò KLA R54 có thể vẽ bản đồ điện trở màng, độ dày màng hoặc phân phối điện trở. Bằng cách nhập điện trở suất của vật liệu, phân phối độ dày màng có thể được tính toán và hiển thị; Hoặc bằng cách nhập dữ liệu độ dày màng, phân phối điện trở suất có thể được tính toán.

IV. Thu thập dữ liệu và trực quan hóa

Phần mềm RSMapper của thiết bị đo điện trở bốn đầu dò KLA R54 kết hợp các chức năng thu thập và phân tích dữ liệu với giao diện trực quan, tức là có thể được sử dụng trên chính thiết bị hoặc ngoại tuyến. Các công cụ bố trí tọa độ khác nhau đi kèm với phần mềm có thể giúp người dùng dễ dàng thiết lập các điểm đo dữ liệu.

Thông số sản phẩm:

Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò KLABiểu đồ đo lường: