Máy đo độ dày màng quang tự động Filmetrics

Có thể đàm phánCập nhật vào01/05

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Máy đo độ dày màng quang tự động Filmetrics có thể đo độ dày màng của mẫu 200 x 200mm một cách nhanh chóng và dễ dàng với hệ thống phản xạ quang phổ của F54-XYT-300. Bàn XY điện tự động di chuyển đến các điểm đo đã chọn và cung cấp các phép đo độ dày nhanh với tốc độ lên đến hai điểm mỗi giây.

Chi tiết sản phẩm

Máy đo độ dày màng quang tự động FilmetricsGiới thiệu:

Máy đo độ dày màng quang tự động Filmetrics F54-XYT-300 cho phép đo độ dày màng của mẫu 200 x 200mm một cách nhanh chóng và dễ dàng với hệ thống phản xạ quang phổ của F54-XYT-300. Bàn XY điện tự động di chuyển đến các điểm đo đã chọn và cung cấp các phép đo độ dày nhanh với tốc độ lên đến hai điểm mỗi giây.

Ưu điểm tính năng:

Hệ thống vẽ độ dày màng tự động, định vị nhanh, thu được kết quả trong thời gian thực;
Lớp màng mẫu có thể đo được: về cơ bản là mịn. Phim phi kim loại đều có thể đo được;
Kết quả vẽ có thể hiển thị 2D hoặc 3D, thuận tiện cho người dùng kiểm tra từ các góc độ khác nhau;

Nguyên tắc đo lường:

Khi ánh sáng tới xuyên qua giao diện của các vật chất khác nhau sẽ có một phần ánh sáng bị phản xạ, do tính biến động của ánh sáng dẫn đến ánh sáng phản xạ từ nhiều giao diện giao thoa với nhau, do đó làm cho phổ đa bước sóng của ánh sáng phản xạ sinh ra hiện tượng chấn động. Từ tần số chấn động của quang phổ, bạn có thể đánh giá khoảng cách của các giao diện khác nhau để có được độ dày của vật liệu (càng nhiều chấn động đại diện cho độ dày lớn hơn), nhưng cũng có thể có được các đặc tính vật liệu khác như chiết suất và độ nhám.

Ứng dụng và mô hình màng:

Lớp màng bán dẫn	Công nghệ hiển thị	Điện tử tiêu dùng	Việt
Sơn mài	Sản phẩm OLED	Lớp phủ chống thấm	Sản phẩm điện tử/Bảng mạch
Lớp điện môi	ITO và TCO	Nhận dạng RF	Vật liệu từ tính
Name	Độ dày hộp không khí	Pin mặt trời	Dụng cụ y tế
Hệ thống Micro-Mechanical	PVD và CVD	Nhôm nhà ở anode phim	Cao su silicone

Ứng dụng công nghiệp phổ biến:

Sản xuất Semiconductor	Màn hình LCD LCD	Mạ quang	Hệ thống vi điện MEMS
Sơn mài	Name	Lớp phủ cứng	Sơn mài
oxit/nitride/SOI	ITO phim dẫn điện trong suốt	Lớp phủ chống phản xạ	Lớp màng silicon
Mài mặt sau wafer

Thông số sản phẩm:

Phạm vi bước sóng:	190nm-1700nm	Nguồn sáng:	Đèn halogen vonfram, đèn deuterium
Đo độ dày nk Yêu cầu 1 *:	50nm	Độ chính xác đo 2:	0,02nm
Độ chính xác *: Lấy cái lớn hơn	1nm hoặc 0,2%	Ổn định 3:	0,05 nm
Kích thước mẫu:	≤ Đường kính 300 mm	Tốc độ (bao gồm nền tảng chân không):	5 chấm - 8 giây 25 điểm - 21 giây 56 chấm - 43 giây

kích thước vết sáng	Khẩu độ 500 micron tiêu chuẩn	Tùy chọn khẩu độ 250 micron	Chọn khẩu độ 100 micron
Mục tiêu 5X	100μm	50μm	20μm
Mục tiêu 10X	50μm	25μm	10μm
Mục tiêu 15X	30μm	17μm	7μm
Mục tiêu 50X	10μm	5μm	2μm

Máy đo độ dày màng quang tự động FilmetricsBiểu đồ đo lường:

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị