Cao chân không Magnetron Sputter Ion

Có thể đàm phánCập nhật vào01/27

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

GVC-2000TD chân không cao Magnetron Sputter có thể chuẩn bị tất cả các loại kim loại, đơn chất, vô cơ phim phi kim loại; Không phá vỡ chân không, có thể thực hiện chuẩn bị màng composite nhiều lớp.

Chi tiết sản phẩm

高真空磁控离子溅射仪

I. Ưu điểm sản phẩm của GVC-2000TD High Vacuum Magnetron Sputtering Machine:

1, tất cả các loại kim loại, đơn chất, vô cơ phim phi kim loại có thể được chuẩn bị;

2, mà không phá vỡ chân không, nó có thể đạt được nhiều lớp màng composite chuẩn bị;

3, hoạt động một phím, điều khiển hoàn toàn tự động, mức độ thông minh cao;

4. Tính nhất quán, tính lặp lại tốt;

5. Các thông số làm việc của nhiều mục tiêu tích hợp, không cần phải mò mẫm quá trình mạ;

6, kích thước nhỏ, cấu trúc nhỏ gọn, rất tiết kiệm không gian.

　　II. Thông số sản phẩm của GVC-2000TD chân không cao Magnetron Sputtering Meter:

Kích thước tổng thể (Máy chính)	424 (L) × 345 (D) × 420 (H)	Nguồn điện đầu vào	220V / 50Hz 1000W
Mục tiêu phún xạ 1	DC magnetron phún xạ	Mục tiêu có sẵn	Mục tiêu kim loại
Mục tiêu phún xạ 2	RF magnetron phún xạ	Mục tiêu có sẵn	Mục tiêu phi kim loại vô cơ
Hệ thống hút chân không	Bơm phân tử Turbo+Vít tấm bơm chân không	Tốc độ bơm	90L / giây + 1.1L / giây
Đo chân không	Loại hợp chất Vacuum Gauge	Phạm vi phạm vi	1E-3 ~ 1E5Pa
Phòng hút chân không	φ 200 × 130mm Thủy tinh Borosilic cao	Lời bài hát: Pump The Beat	10 phút (≤5E-3Pa）
Kích thước bảng mẫu	φ 90 mm	Chuyển đổi bảng mẫu	Điều khiển tự động
Kích thước mục tiêu phún xạ	φ 50mm(Độ dày 0,1-2 mm）	Làm việc chân không	0,1-2Pa
Giao diện thao tác	7 Kích thước TFT Màn hình LCD cảm ứng	Ngôn ngữ hoạt động	Trung Quốc (tùy chọn ngôn ngữ khác)
máy làm lạnh nước	Máy làm lạnh bảng nhỏ	Công suất làm lạnh nước	180W
Pre-sputtering vách ngăn	Tiêu chuẩn điều khiển hoàn toàn tự động Pre-Sputtering Baffle
Máy đo độ dày (tùy chọn)	Có thể hiển thị độ dày của lớp phủ trong thời gian thực và kiểm soát quá trình sơn bằng cách cài đặt, đo lường độ chính xác 0,01 nmThiết lập độ chính xác 0.1nmPhạm vi thiết lập một lần 1-999nm
Máy đo độ dày (tùy chọn)
Các thành phần điều khiển nhiệt độ (tùy chọn)	Mô-đun sưởi bảng mẫu 300℃/500℃
Linh kiện xoay (tùy chọn)	Xoay nghiêng, xoay hành tinh, vv
Xe nhỏ (tùy chọn)	Lắp ráp máy chính, nguồn RF, máy làm lạnh nước, vv với nhau, tính toàn vẹn tốt
Môi trường cài đặt	220V / 10A Ổ cắm ba lỗ Một, độ tinh khiết 4N Argon có độ tinh khiết cao (áp suất đầu ra) và ở trên 0,12 MPa）

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị