Máy đo độ dày phân cực hình bầu dục toàn phổ SE950

Ưu điểm:

1, Chức năng điểm yếu: Cấu hình tiêu chuẩn điểm yếu kích thước điểm 80x120 micron. Thiết kế quang học đặc biệt kết hợp với trục Z có độ chính xác cao có thể tự động loại bỏ phản xạ mặt sau của nền trong suốt. Vị trí lấy nét của lớp màng có thể được xác định tự động trong quá trình lấy nét và vượt qua phản xạ phía sau lớp lót trong suốt bằng khe quang học

2, sử dụng tín hiệu tự động lấy nét, tín hiệu đo lường và tín hiệu lấy nét là cùng một tín hiệu có hiệu quả tránh sai số vị trí đo lường.

3, theo dõi tự động của bộ kiểm tra độ lệch: cải thiện đáng kể độ chính xác đo độ lệch elliptical, đặc biệt có lợi cho phân tích vật liệu của lớp màng cực mỏng và độ chính xác của ψ và Δ

4, điện tự động điều chỉnh suy giảm tấm: mức độ bão hòa của tín hiệu mẫu khác nhau có thể được điều chỉnh tự động hoặc thủ công (100%~0,1%), và có thể được thiết lập theo từng phần của tín hiệu UV và cường độ tín hiệu ánh sáng nhìn thấy để có được tín hiệu đo lường tốt nhất

5, phần mềm tự động phân tích phù hợp: cung cấp chức năng phân tích trước chỉ số khúc xạ độ dày màng, khả năng so sánh cơ sở dữ liệu của vật liệu không xác định, phân tích tự động phần mềm để đơn giản hóa hoạt động, khắc phục những khó khăn về đo lường do hoạt động của Elliptical luôn được mang lại bởi các chuyên gia.

6, điều khiển từ xa: để phá vỡ các giới hạn của dịch vụ hiện trường và đào tạo, nâng cao đáng kể hiệu quả của dịch vụ sau bán hàng

7, Máy quang phổ DUV chất lượng cao: Phạm vi phổ 220nm-1100nm, (tùy chọn đến 1700nm) Độ phân giải<1nm Tự làm lạnh chất bán dẫn, tỷ lệ động cao, tỷ lệ nhiễu giảm ảnh hưởng tiếng ồn càng nhiều càng tốt

Tự động tạo bản đồ 2D hoặc 3D và phân tích dữ liệu tự động, lưu phổ tự động, dữ liệu có thể được tổng hợp và tải lên

Thời gian thử nghiệm để thiết lập recipe giảm đáng kể xuống còn 1-3 giây, nâng cao hiệu quả thử nghiệm.

10. Cấu trúc sợi kép chống thụ động UV được sử dụng trong thiết kế, chức năng ngắt kết nối tiên tiến, cải thiện đáng kể sự ổn định phổ và độ tin cậy của việc sử dụng lâu dài.

11, Độ ổn định cao Tiêu chuẩn Độ dày màng Độ chính xác lặp lại<0,5A, Độ chính xác lặp lại chỉ số khúc xạ<0,0005

12, Phạm vi kiểm tra độ dày màng 1nm-20 micron có thể được kiểm tra chống lại lớp lót trong suốt hoặc mờ đục

13, Mô hình miễn phí

Thông số kỹ thuật:

Nguyên tắc quang học:

Sóng ánh sáng đi từ tiếp xúc với bề mặt của thành phần quang học đến một khoảng thời gian ngắn rời khỏi bề mặt của thành phần quang học.Trạng thái (polarization state) có thể thay đổi. Máy phân cực hình bầu dục, vừa là một loại dùng để đo sóng ánh sáng.Dụng cụ xuyên qua các thành phần quang học, hoặc phản xạ từ bề mặt của các thành phần quang học để thay đổi tình hình ở trạng thái phân cực trước và sau. bởiSự thay đổi trạng thái thiên cực này là kết quả của sự tương tác giữa sóng ánh sáng và vật liệu thành phần quang học.Điều này có thể được thực hiện bằng cách thay đổi trạng thái thiên cực, đảo ngược các đặc tính vật lý của bề mặt của các thành phần quang học. Nơi đây.Bề mặt của thành phần quang học có thể là bề mặt của thành phần quang học, cũng có thể là màng đơn hoặc nhiều lớp.Ngăn xếp màng, cũng có thể là lớp ô nhiễm trên bề mặt thành phần quang học.
Ánh sáng được phản xạ bởi các góc tới khác 0 đến bề mặt mẫu, do độ dày của mẫu và phản ứng với ánh sáng.(Hấp thụ hoặc trong suốt...) tạo ra sự thay đổi trạng thái phân cực (tạo ra sự thay đổi pha và biên độ), đo lườngCách chúng tôi gọi là đo lường hình bầu dục. Đối với mỗi bước sóng, chúng ta có hai tham số riêng biệt.Số Ψ và△