Máy quét FR-AIO-Mic-XY300

Có thể đàm phánCập nhật vào12/23

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 là một hệ thống lập bản đồ độ dày màng tự động tích hợp để đo độ dày lớp phủ đơn và đa lớp trên một wafer hoàn toàn tự động. Bàn vận chuyển X-Y chạy bằng điện cung cấp hành trình có kích thước 300mm x 300mm áp dụng để đo chính xác bằng chân không khi cố định trên bàn vận chuyển. Tùy thuộc vào nhu cầu ứng dụng độ dày và bước sóng đo được, các cấu hình quang học khác nhau có thể được cung cấp trong dải phổ 200-1700nm

Chi tiết sản phẩm

Giới thiệu sản phẩm:

Hệ thống lập bản đồ độ dày mô-đun FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300 tích hợp các mô-đun quang học, điện tử và cơ học có thể được sử dụng đồng thời để thực hiện các phép đo chính xác của các bộ phim không có đồ họa và đồ họa (ví dụ: bề mặt vi đồ họa, bề mặt gồ ghề).

Các wafer được đặt trên một cốc hút chân không (kích thước wafer có đường kính ≤300mm) và được trang bị bộ phận tiêu chuẩn phản xạ. Các phép đo được thực hiện bởi các mô-đun quang học mạnh mẽ với kích thước điểm nhỏ như vài micron. Nền tảng điện cung cấp hành trình 300 mm theo hướng XY với hiệu suất tuyệt vời về tốc độ, độ chính xác và khả năng lặp lại

Máy quét FR-AIO-Mic-XY300Cung cấp:

o Đo phổ phản xạ thời gian thực

o Độ dày màng, đặc điểm quang học, đo không đồng nhất, lập bản đồ độ dày

o Sử dụng máy ảnh màu chất lượng cao tích hợp, kết nối USB để chụp ảnh

o Thông số đo rộng số liệu thống kê

o Chức năng căn chỉnh mẫu bán tự động để đo các khu vực đồ họa định kỳ

hoặcKhông giống nhauCác tính năng phần mềm, ví dụ: Click2Move (màn hình nhấp vào để xác định vị trí), tỷ lệ

Phụ kiện:

FR-AutoFocus: Trục dài 100mm để lấy nét tự động với hai chế độ hoạt động: lấy nét hình ảnh (độ tương phản)/cường độ phản xạ
Rotation Module: Nền tảng điện mô-đun xoay cung cấp độ phân giải và độ chính xác cao
FR-FilterWheel: Mô-đun bánh xe lọc điện với khe chứa 12 bộ lọc được điều khiển tự động bằng máy tính: Kích thước bộ lọc: Đường kính 0,5 inch, tối đa 6 bộ lọc (1 inch)
FR-AutoTurret: Tháp pháo tự động được điều khiển bằng máy tính để chứa 4 mục tiêu: tốc độ chuyển đổi ống kính khoảng 1,0-3,0 giây
Lenses: Ống kính VIS/NIR dài: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
Ống kính UV/NIR phản chiếu: 10X, 15X, 25X, 40X
Pump: Bơm chân không tiếng ồn thấp, 2.5L/phút, chân không -60kPa.
Chuck: Mâm cặp mặt nạ ánh sáng 6 inch với vùng tham chiếu, mâm cặp đa wafer (100-300 mm và hình dạng không đều), bao gồm vùng tham chiếu và vùng tối để tự động chuẩn

Thông số kỹ thuật:

屏幕截图 2024-03-25 104700.png

Bản vẽ độ dày hai chiều:

FR-Scanner XY-300_1.jpg

Bản vẽ độ dày 3D:

FR-Scanner XY-300_2.jpg

Nguyên tắc đo lường: 屏幕截图 2024-03-25 105726.png

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị