-
Thông tin E-mail
frank.yang@acuitik.com
-
Điện thoại
13817395811
-
Địa chỉ
Tầng 4, 298 Xiangke Road, Pudong Xinqu, Thượng Hải
Danh mục sản phẩm
Tô Châu Xizheng Công nghệ Công ty TNHH
Máy đo độ dày màng giao thoa ánh sáng trắng
Có thể đàm phánCập nhật vào02/09
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
KneadTech NS-30UV là một thiết bị đo độ dày màng giao thoa ánh sáng trắng trong nước được sản xuất bởi Suzhou KneadTech Co., Ltd. Nó có thể thay thế máy đo độ dày màng giao thoa ánh sáng trắng KLA. Nó sử dụng nguyên tắc giao thoa quang học để đạt được phép đo không tiếp xúc của độ dày màng nano đến micron.
Chi tiết sản phẩm
Máy đo độ dày màng NS-30UV là một máy đo độ dày màng giao thoa ánh sáng trắng trong nước được sản xuất bởi Suzhou Xizheng Technology Co., Ltd. Nó sử dụng nguyên tắc giao thoa quang học để đạt được phép đo không tiếp xúc của độ dày màng từ nano đến micron.
I. Thông số kỹ thuật:
1, Thông số lõi NS-30UV
- Phạm vi bước sóng: 190-1700 nm
- Phạm vi đo: 1 nm - 250 μm
- Độ chính xác đo: 1 nm hoặc 0,2%
- Độ chính xác lặp lại: 0,02 nm
- Thời gian đo: dưới 1 giây
- Độ ổn định: 0,05 nm
- Kích thước điểm: 0,5 mm
2, cùng một loạt các mô hình thông số kỹ thuật
II. Nguyên tắc làm việc
NS-30 sử dụng nguyên lý giao thoa quang học của ánh sáng dải rộng ổn định cao tới thẳng đứng để thực hiện các phép đo độ dày, độ phản xạ và chỉ số khúc xạ của lớp màng trong suốt hoặc mờ ở mức nano đến micron. Ánh sáng dải rộng ổn định cao tới thẳng đứng đến bề mặt mẫu, tạo ra hiện tượng giao thoa quang học giữa các lớp màng, và ánh sáng phản xạ có thể tính toán độ dày của các lớp màng thông qua phân tích quang phổ cũng như thuật toán hồi quy.
III. Tính năng sản phẩm
1. Lợi thế cốt lõi:
- Nội địa hóa phần cứng và phần mềm: 100% tự nghiên cứu, 100% tự kiểm soát
- Đo không tiếp xúc: có thể đo các mẫu vật liệu cứng, mềm hoặc bề mặt dễ bị tổn thương
- Độ chính xác cao và độ ổn định cao: Độ chính xác đo độ dày subnanomet, độ ổn định tĩnh lên đến 0,02 nanomet
- Khả năng đo màng nhiều lớp: có thể đo độ dày của từng lớp màng composite nhiều lớp
- Thuật toán thông minh: thuật toán lõi, đo độ dày màng nhịp dài bằng một cú nhấp chuột
2. Đặc điểm chức năng:
- Đo mẫu tự động, kích thước nền tảng 100mm~450mm tùy chọn
- Phần mềm tự động tạo phân phối điểm đo theo yêu cầu
- Hiệu ứng bản đồ 2D và 3D với thông tin như độ dày/chiết suất/phản xạ
- Đo căng thẳng phim và uốn bề mặt (Stress/Bow)
- Tốc độ đo: 5 điểm - 5 giây (wafer 200mm), 25 điểm - 14 giây
Hiển thị kết quả kiểm tra thực tế
IV. Lĩnh vực ứng dụng
1. Máy đo độ dày màng NS-30 được sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực công nghệ cao:
- Sản xuất chất bán dẫn: đo độ dày màng lắng đọng/khắc, kiểm tra độ phẳng bề mặt quy trình CMP, phân tích chiều cao các bước chống ăn mòn
- PV và bảng hiển thị: độ dày màng phủ năng lượng mặt trời, vi cấu trúc màn hình AMOLED, đo dấu vết đồng của bảng điều khiển cảm ứng
- Lớp phủ quang học: Đo độ dày màng của lớp chống phản xạ AR, lớp phủ chống chói AG, bộ lọc, kính và các thành phần quang học khác
- Khoa học điện tử và vật liệu: đo độ dày màng của các thiết bị như chip bán dẫn, màn hình LCD, phân tích ứng suất bề mặt vật liệu
- Y sinh học: kiểm tra độ dày của vật liệu màng như Parylene Perrin, polymer, màng sinh học, thiết bị y tế, v.v.
2. Bảo trì bảo dưỡng:
- Giữ máy sạch sẽ, thời gian không kiểm tra để che vải bụi
- Tránh từ trường điện từ can thiệp vào công việc của dụng cụ
- Hiệu chuẩn và bảo trì thường xuyên
Sê-ri NS-30 là hệ thống phân tích đo lường độ dày màng tự động loại máy tính để bàn, trên cơ sở đo độ dày màng, lặp lại bảng đo mẫu tự động, có thể thực hiện đo lường tự động các điểm được thiết lập tốt, và tiếp tục tạo ra bản đồ phân phối dữ liệu 2D và 3D, đặc biệt thích hợp cho các tình huống ứng dụng chính xác như đo độ dày màng wafer.
Sản phẩm tương tự Khuyến nghị
