Máy tính để bàn Hệ thống phân tích đo độ dày màng tự động

Có thể đàm phánCập nhật vào02/09

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Chi tiết sản phẩm

Wafer wafer mở rộng giám sát độ dày màng trực tuyến là một công nghệ quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, chủ yếu sử dụng các phương pháp đo quang học không tiếp xúc để đạt được giám sát và kiểm soát độ dày thời gian thực trong quá trình tăng trưởng mở rộng.

Sê-ri NS-30 là hệ thống phân tích đo lường độ dày màng tự động trên máy tính để bàn được sản xuất bởi Suzhou Xizheng Technology Co., Ltd. chuyên giám sát độ dày màng trực tuyến Wafer Wafer wafer Extended. Thiết bị này sử dụng công nghệ đo quang học tiên tiến, có độ chính xác cao, độ ổn định cao và các tính năng thông minh, đóng một vai trò quan trọng trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn.

　　I. Nguyên tắc công nghệ cốt lõi

Máy đo độ dày màng NS-30 Series được đo dựa trên nguyên tắc giao thoa ánh sáng trắng. Thiết bị chiếu ánh sáng dải rộng ổn định cao theo chiều dọc vào màng trên bề mặt wafer được đo, ánh sáng tới phản xạ trên bề mặt trên của màng, một phần khác truyền vào màng và phản xạ ở giao diện giữa màng và chất nền. Hai chùm ánh sáng phản xạ này giao thoa với nhau để tạo thành một bản đồ giao thoa, thông qua phân tích quang phổ và thuật toán hồi quy, các thông số như độ dày, chiết suất và phản xạ của các lớp màng mỏng có thể được tính toán.

　　II. Thông số kỹ thuật chính
主要技术参数

　　III. Đặc điểm chức năng cốt lõi

1, Khả năng đo lường chính xác cao

- Độ chính xác subnanomet: độ chính xác đo có thể đạt tới 0,02nm, đạt được phép đo độ dày màng nano;

- Độ lặp lại cao: độ chính xác lặp lại 0,02nm, đảm bảo tính nhất quán và độ tin cậy của kết quả đo;

- Phạm vi đo rộng: bao gồm phạm vi đo độ dày 1nm-250μm, đáp ứng các nhu cầu ứng dụng khác nhau;

2, Chức năng đo tự động

- Bảng đo mẫu tự động: kích thước nền tảng 100mm-450mm tùy chọn, hỗ trợ đo wafer kích thước lớn;

- Phân phối điểm thông minh: Phần mềm tự động tạo phân phối điểm đo theo yêu cầu, hỗ trợ đo tự động đa điểm;

- Lập bản đồ 2D/3D: tạo bản đồ phân phối 2D và 3D cho các thông số như độ dày, chiết suất, phản xạ;

3, đo không phá hủy tiếp xúc

- Không tiếp xúc quang học: sử dụng phép đo không tiếp xúc để tránh thiệt hại cho bề mặt wafer;

- Đo màng nhiều lớp: có thể đo độ dày và các thông số quang học của từng lớp màng composite nhiều lớp;

- Khả năng thích ứng vật liệu: thích hợp cho lớp màng trong suốt hoặc mờ, bao gồm các vật liệu như oxit, nitride, quang điện trở;

　　IV. Ứng dụng trong giám sát mở rộng Wafer wafer

1. Lợi thế kiểm soát quá trình

Dòng NS-30 đóng một vai trò quan trọng trong quá trình mở rộng wafer Wafer:

- Giám sát thời gian thực: đo tại chỗ trực tuyến có thể được thực hiện trong các quy trình như lắng đọng lớp nguyên tử ALD, lắng đọng pha khí hóa học CVD, v.v.

- Tối ưu hóa quy trình: đạt được điều chỉnh thời gian thực và tối ưu hóa các thông số quy trình thông qua phản hồi dữ liệu độ dày màng chính xác

- Đảm bảo chất lượng: đảm bảo tính đồng nhất của độ dày mở rộng, cải thiện hiệu suất và độ tin cậy của thiết bị bán dẫn

2, nâng cao hiệu quả đo lường

- Đo tốc độ cao: thời gian đo đơn dưới 1 giây, hỗ trợ phát hiện hàng loạt nhanh

- Xử lý hàng loạt: Hỗ trợ truyền tải tự động của hộp tinh thể 8 inch, nâng cao đáng kể hiệu quả đo lường

- Phân tích thông minh: Được trang bị phần mềm phân tích mạnh mẽ để tự động phân tích thống kê SPC và quản lý dữ liệu

3, Mở rộng lĩnh vực ứng dụng

Ngoài giám sát mở rộng Wafer wafer, dòng NS-30 được sử dụng rộng rãi trong:

- Sản xuất chất bán dẫn: Đo SiO? 、 SiNx、 lớp màng quan trọng như polycrystalline silicon

- Pin PV: Al? O của TOPCon? /SiNx Lamination Film, TCO Transparent Conductive Film cho HJT

- Lớp phủ quang học: lớp chống phản xạ AR, lớp phủ chống chói AG, bộ lọc, v.v.

- Bảng hiển thị: OLED, TFT, ITO và các phép đo độ dày lớp màng khác

Máy đo độ dày màng tự động loại máy tính để bàn NS-30 Series cung cấp một giải pháp đáng tin cậy để giám sát độ dày màng trực tuyến Wafer wafer mở rộng nhờ độ chính xác cao, độ ổn định cao và các tính năng thông minh, đóng một vai trò quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, quang điện, hiển thị và các lĩnh vực công nghệ cao khác.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị