Máy đo độ dày không tiếp xúc màng bán dẫn NS-30 là một thiết bị đo lường có độ chính xác cao dựa trên nguyên tắc giao thoa ánh sáng trắng, đặc biệt thích hợp cho các tình huống yêu cầu đo tự động và phân tích phân bố độ dày chính xác.
Máy đo độ dày không tiếp xúc màng bán dẫn NS-30 là một thiết bị đo lường có độ chính xác cao dựa trên nguyên tắc giao thoa ánh sáng trắng, đặc biệt thích hợp cho các tình huống yêu cầu đo tự động và phân tích phân bố độ dày chính xác.
1, Nguyên tắc cốt lõi
Ánh sáng dải rộng ổn định cao tới thẳng đứng đến bề mặt mẫu, tạo ra hiện tượng giao thoa quang học giữa các lớp màng, và ánh sáng phản xạ có thể tính toán độ dày của các lớp màng thông qua phân tích quang phổ cũng như thuật toán hồi quy. Thích hợp để đo độ dày, độ phản xạ, chỉ số khúc xạ và các thông số khác của lớp màng trong suốt hoặc mờ từ cấp nano đến cấp micron.
2, Thông số cụ thể
- Nguyên tắc cốt lõi: Công nghệ giao thoa ánh sáng trắng băng tần rộng tới thẳng đứng
- Phạm vi đo: 1 nm đến 250 μm
- Phạm vi bước sóng (model NIP): 950 nm - 1700 nm (dải hồng ngoại gần)
- Độ chính xác: 3 nm hoặc 0,4%
- Độ chính xác lặp lại: 0,1 nm
- Tốc độ đo:<1 giây/điểm duy nhất
- Kích thước điểm: 1,5 mm
- Tính năng cốt lõi: bảng vận chuyển mẫu tự động, có thể đặt trước vị trí điểm để đo tự động và tạo bản đồ phân phối 2D/3D về độ dày, chỉ số khúc xạ, độ phản xạ
- Kích thước bảng mẫu: 100mm đến 450mm tùy chọn
- Khả năng đo: có thể đo độ dày, chỉ số khúc xạ (n) và phản xạ của các lớp màng composite đa lớp
3, Chức năng cốt lõi
4, Hiển thị kết quả thực tế