Máy quang phổ huỳnh quang tia X phân tán bước sóng

Máy quang phổ huỳnh quang tia X phân tán bước sóng WDA-3650Được sử dụng để đánh giá phim, đồng thời phân tích không phá hủy, không tiếp xúc về độ dày và thành phần của các bộ phim khác nhau.

Đây là máy quang phổ huỳnh quang X phân tán bước sóng (WD-XRF) có thể phân tích đồng thời độ dày và thành phần của các màng khác nhau trên các tấm wafer có kích thước lên đến~200mm, theo cách không phá hủy và không tiếp xúc. Bàn mẫu ổ đĩa XY θ Z (phương pháp) có thể phân tích chính xác các màng kim loại khác nhau và tránh ảnh hưởng của tia nhiễu xạ. Ống tia X công suất cao 4kW cho phép phân tích chính xác các yếu tố siêu nhẹ, chẳng hạn như đo lường nguyên tố dấu vết và phân tích boron của màng BPSG. Robot vận chuyển C-to-C (tùy chọn) cũng được hỗ trợ. Nó được trang bị tính năng hiệu chuẩn tự động (kiểm tra hàng ngày hoàn toàn tự động và hiệu chỉnh cường độ).

◆ Hỗ trợ phân tích nồng độ và thành phần của các nguyên tố vi lượng

Thích hợp cho mọi thứ từ nhẹ đến nặng: 4 Có~92U

◆Độ nhạy cao Boron Detector AD-Boron

Chúng tôi liên tục phát triển các hệ thống quang học mới, chẳng hạn như cải thiện khả năng phân tích boron để cải thiện độ chính xác và ổn định của phân tích. Ngoài ra, cơ chế làm mát và cơ chế ổn định chân không là thiết bị tiêu chuẩn ổn định.

◆Giai đoạn lái xe X-Y-Theta

Bảng mẫu ổ đĩa XY-Theta và chương trình thiết lập hướng đo có thể đo chính xác độ dày màng và phân bố thành phần trên toàn bộ wafer. Màng sắt điện cũng không bị ảnh hưởng bởi chùm tia nhiễu xạ.

◆Ứng dụng:

・Thiết bị bán dẫn BPSG, SiO2 Quad 3N4

Polysilicon pha tạp (B, P, N, AS), WSIX

・ Al-Cu, TiW, TiN, TaN, PZT, BST, SBT

・MRAM

・金属膜 W, Mo, Ti, Co, Ni, Al, Cu, Ir, Pt, Ru

・磁盘 CoCrTa, CoCrPt và DLC

・NiP

Đĩa từ Tb-FeCo

Đầu từ GMR, TMR

◆Dòng sản phẩm rộng rãi của máy đo góc cố định

Chúng tôi cung cấp máy đo góc cố định phù hợp nhất theo độ dày màng và cấu trúc màng. Chúng tôi cũng đang chuẩn bị một hệ thống quang học chuyên dụng có thể phân tích màng Wsix trên một tấm wafer silicon.

◆Chức năng quản lý hàng ngày hoàn toàn tự động Hiệu chỉnh tự động

Để có được giá trị phân tích chính xác, thiết bị phải được hiệu chuẩn chính xác. Để làm được điều này, các wafer kiểm tra đo lường và các wafer điều chỉnh PHA phải được đo định kỳ như các wafer quản lý để duy trì sức khỏe của thiết bị. Công việc hiệu chuẩn thông thường này được tự động hóa và giảm khối lượng công việc của người vận hành. Đó là chức năng của AutoCal.

◆Tương thích với C-to-C Automatic Delivery

Ngoài hộp tối mở, SMIF POD cũng được hỗ trợ. Tương thích với wafer dưới 200mm. Ngoài ra, có thể giao tiếp SECS với máy chủ và hỗ trợ các định dạng CIM/FA khác nhau.

◆Thiết kế tiết kiệm năng lượng nhỏ gọn

Thiết kế nhỏ gọn dưới dấu chân chính 1m2. Việc sử dụng máy biến áp không dầu cũng làm cho thiết bị phụ trợ nhỏ gọn hơn và tiết kiệm năng lượng.

• Đánh giá độ dày và thành phần màng cùng một lúc

• Thích hợp cho tất cả các loại phim

• Hỗ trợ wafer và đĩa media dưới 200mm

• Hiệu suất phân tích cao, độ chính xác và ổn định

• Bảng mẫu ổ đĩa XY θZ thu được cho kết quả XRF chính xác

• Phân tích Boron có độ nhạy cao (với kênh boron AD)

• Hiệu chuẩn tự động với bộ nạp tự động C đến C tùy chọn

• Máy phát điện X-quang không dầu

• Tiêu thụ điện năng thấp hơn 23% so với các mô hình trước đó

Thông số kỹ thuật sản phẩm: