TMC phòng sạch thử nghiệm Bench

TMC phòng sạch thử nghiệm băng ghế dự bị, tất cả thép không gỉ TMC ClassOne Máy trạm là một bảng cách ly rung khí nén hiệu suất cao, được thiết kế để lắp đặt trên mặt đất, có thể đạt được khả năng tương thích phòng sạch * lớn. Cách ly rung được thực hiện bởi Gimbal Piston Các thành phần được cung cấp, nó cũng có thể cung cấp * hiệu suất cách ly rung cho nền tảng quang học, kính hiển vi điện tử, cân bằng chính xác và kính hiển vi đường hầm quét.

TMCPhòng sạchBảng thử nghiệm63-635

Tất cả thép không gỉTMCLớp One™ Máy trạm là một bàn làm việc cách ly rung khí nén hiệu suất cao được thiết kế để lắp đặt trên mặt đất để đạt được khả năng tương thích phòng sạch tối đa. Cách ly rung động bởi Gimbal Piston ™ Các thành phần được cung cấp, nó cũng có thể cung cấp * hiệu suất cách ly rung cho nền tảng quang học, kính hiển vi điện tử, cân bằng chính xác và kính hiển vi đường hầm quét.

TMCPhòng sạchBảng thử nghiệm63-635

Lớp OneCác trạm làm việc được lau bằng một miếng vải không có cồn ướt và bọc hai lớp bằng nhựa trước khi rời khỏi nhà máy.

Máy cách ly rung Gimbal Piston

Tất cảCả hai bàn làm việc CleanBench đều sử dụng bộ cách ly rung không khí Gimbal Piston của TMC làm tiêu chuẩn. Gimbal Piston luôn vượt trội so với những người khác trong thử nghiệm song songMáy cách ly rung không khí. Nó có cách ly rung tần số thấp tuyệt vời trên tất cả các trục và duy trì thông số kỹ thuật hiệu suất của nó ngay cả ở mức độ khuyến khích đầu vào rất thấp. Công nghệ giảm rung độc quyền cho phép Gimbal Piston ổn định tải trọng lên và xuống và nhanh chóng loại bỏ sự can thiệp từ mặt bàn cách ly rung.

Ưu điểm

từCách ly rung dọc và ngang bắt đầu ở 2 Hz

ởĐộ rung giảm hơn 95% ở 10 Hz

Hầu như không có ma sát, tránh quá trình chuyển đổi ma sát cuộn sang ma sát tĩnh

Điều chỉnh dịch chuyển ngang bằng cách hoạt động như một gimbal

Ngay cả mức nhập thấp,Gimbal Piston ® Bộ cách ly rung không khí cũng cung cấp khả năng cách ly rung tuyệt vời theo mọi hướng. Nó có đặc tính giảm xóc nhẹ và có khả năng đáp ứng cao với rung động mặt đất điển hình của môi trường biên độ thấp, trong khi cho phép giảm rung rất tốt đối với các nhiễu thoáng qua nghiêm trọng (chẳng hạn như thay đổi tải đột ngột hoặc tác động của tấm trên). Kết quả cho thấy bộ cách ly Gimbal Piston cung cấp hiệu ứng cách ly rung động cao hơn, loại bỏ bất kỳ sự xáo trộn nghiêm trọng nào chỉ trong vài giây. Nó cũng có thể ổn định hệ thống cách ly rung động với trọng tâm tương đối cao,Mà không ảnh hưởng đến hiệu quả cách chấn.

Phản hồi đầu vào biên độ thấp

Thách thức lớn nhất gặp phải khi thiết kế bộ cách ly rung hiệu quả là duy trì hiệu suất tốt với đầu vào biên độ rung thấp điển hình của rung động mặt đất trong các tòa nhà xung quanh. Thông số kỹ thuật của bộ cách ly rung thường dựa trên các phép đo được thực hiện bằng cách đặt bộ cách ly rung trên một "bàn rung" có mức đầu vào biên độ rất cao. Thử nghiệm này với biên độ đầu vào khoảng milimet dẫn đến ước tính hiệu suất không thực tế và gây hiểu lầm vì kết quả không phản ánh hiệu suất trong sử dụng thực tế.

Thiết kế của Gimbal Piston Vibration Isolator được đặc trưng bởi khả năng duy trì tần số cộng hưởng quy định và mức độ suy giảm cao ngay cả trong môi trường mặt đất yên tĩnh, thực tế nhất. Hiệu suất này có mối quan hệ tuyến tính với biên độ thấp như vậy, vì thiết kế có ít ma sát và do đó có thể tránh ma sát cuộn sang quá trình chuyển đổi ma sát tĩnh.

Tất cả các hệ thống khác mà chúng tôi đã thử nghiệm ở mức rung mặt đất điển hình hoặc có tần số cộng hưởng cao hơn so với yêu cầu hoặc tăng đáng kể thông qua truyền dẫn của giá đỡ cách ly.

Chúng tôi nhấn mạnh tầm quan trọng của các thông số kỹ thuật hiệu suất ở mức đầu vào thấp vì chúng tôi đã quan sát nhiều lần trong các thử nghiệm của riêng mình và trong nhiều thiết bị đã qua sử dụng để đạt được hiệu suất tốt hơn dễ dàng hơn ở biên độ lớn hơn và tần số cao hơn.

Đầu vào ngang và dọc

Bộ cách ly rung sáng tạo của chúng tôi có thể hoạt động như một gimbal, cho phép màng niêm phong cuộn mỏng thích nghi với sự dịch chuyển ngang.Thay vì sử dụng hệ thống treo con lắc cáp, bộ cách ly rung Gimbal Piston đặt tải trọng lên một tấm trên cùng riêng biệt có một thanh cứng kéo xuống bên trong giếng piston chính. Phần dưới của thanh có một đầu hình cầu được hỗ trợ trên một cơ sở phẳng, cứng. Bởi vì quả bóng lắc rất nhẹ trên cơ sở (không trượt hoặc lăn), khớp nối linh hoạt vốn có có thể được uốn cong theo chiều ngang trong bộ cách ly rung. Ngay cả khi đầu vào di chuyển trong viDưới inchngang, phương pháp này cũng rất hiệu quả vì ma sát tĩnh gần giống như ma sát cuộn. Chuyển động ngang chỉ đơn giản là chuyển đổi thành uốn màng dọc thông thường, nhưngkhôngHomophase: Một bên của piston lên và bên kia xuống, chuyển động theo kiểu gimbal.

Hạn chế của các loại cách ly rung khác

Màng cao su dày.Hầu hết các thiết bị cách ly rung thương mại sử dụng màng cao su dày, giá rẻ trong piston để đạt được cách ly rung thẳng đứng. Do sự tương đối của các yếu tố nàykhôngTính linh hoạt, tính năng cách chấn biên độ thấp không lý tưởng lắm. Mặc dù hệ thống này cảm thấy "mềm mại" hơn bằng tay, cao su hoạt động giống như một khớp nối cứng hơn là một bộ cách ly rung động linh hoạt cho rung động mặt đất cấp thấp điển hình.

Niêm phong bộ cách ly rung động khí nén (thụ động).Bộ cách ly rung không khí kín không tự động điều chỉnh theo sự thay đổi tải. Hạn chế chính của các hệ thống như vậy là chúng quá cứng để cách ly rung hiệu quả. Ví dụ, một người thực sựBộ cách ly rung động thụ động với tần số cộng hưởng 1,5 Hz trôi theo chiều dọc vài inch khi có những thay đổi nhỏ về tải, nhiệt độ hoặc áp suất và yêu cầu điều chỉnh thủ công liên tục. Do đó, bộ cách ly rung kín thực tế không có tần số cộng hưởng thấp như thiết kế này.

Vòng bi trượt ván.Về lý thuyết, tấm trượt mang có thể đạt được cách ly rung ngang bằng hiệu ứng tách rời của nó. Trên thực tế, nếu bạn muốn thiết kế này hoạt động ở biên độ thấp, bạn sẽ cần một vòng bi cứng với dung sai nhỏ và được mài chính xác. Các phiên bản thương mại hiện tại không thể vượt qua ma sát tĩnh ở biên độ thấp để làm cho vòng bi lăn. Ngoài ra, tất cả các hệ thống này ban đầu rất khó căn chỉnh và dễ dàng đi chệch khỏi phạm vi hiệu chuẩn.

Tự lắp ráp. Hệ thống cách ly rung động tự chế - thường là tấm thép hoặc tấm đá granit được đặt trên thảm cao su, quả bóng tennis hoặc túi khí - chỉ hoạt động nếu tần số rung động gây nhiễu cao và yêu cầu cách ly rung tối thiểu. Mặc dù tất cả các bộ cách ly rung sử dụng nguyên tắc đặt khối lượng trên lò xo giảm xóc, hiệu suất của chúng được phân biệt chủ yếu bởi độ cứng của lò xo: lò xo càng cứng, tần số cộng hưởng càng cao. Do đó, các giải pháp tự chế bị giới hạn bởi tần số cộng hưởng cao của chúng.

VớiGimbal Piston ở tần số cộng hưởng dọc 1,5 Hz ™ Bộ cách ly rung bắt đầu cách ly rung ở 2 Hz và có thể giảm rung hơn 95% ở 10 Hz. Một quả bóng tennis dưới một tấm thép có tần số cộng hưởng 7 Hz bắt đầu cách ly rung động trên 10 Hz và giảm 90% rung động ở 30 Hz. Nhưng hầu hết các tòa nhà cho thấy sự dịch chuyển rung động cao nhất từ 5 đến 30 Hz, vì vậy một quả bóng tennis hoặc thảm cao su thực sự có thể làm cho vấn đề tồi tệ hơn bằng cách khuếch đại tần số môi trường từ 5 đến 10 Hz.

quy cách

Bảng đặt hàng

mangGimbal Piston Cách ly rungLớp OneMáy trạm

Phụ kiện- Tất cả các kích thước bàn làm việc

Phụ kiện- Phụ thuộc vào kích thước

* Cần thiết khi đặt kệ