H? th?ng cách ly rung kh?ng khí ho?t ??ng TMC

Có thể đàm phánCập nhật vào01/09

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

TMC Active Air Vibration Isolation San l?p m?t b?ng h? th?ng, PEPS II ???c xay d?ng và c?i ti?n trên * LIPEPS (Precision Electronic Positioning System) c?a TMC. V?i vi?c b? sung b? ?i?u khi?n k? thu?t s? m?i, PEPS II d? s? d?ng h?n, cung c?p nhi?u tính n?ng h?n và có giao di?n ng??i dùng ???c c?i thi?n.

Chi tiết sản phẩm

Hệ thống cách ly rung không khí hoạt động TMCPEPS II

PEPS II được xây dựng và cải tiến dựa trên * LIPEPS (Precision Electronic Positioning System) của TMC. Với việc bổ sung bộ điều khiển kỹ thuật số mới, PEPS II dễ sử dụng hơn, cung cấp nhiều tính năng hơn và có giao diện người dùng được cải thiện. PEPS II là một hệ thống điều khiển chiều cao không tiếp xúc kỹ thuật số cho hệ thống cách ly rung khí nén TMC. Các hệ thống như vậy thường bao gồm van chiều cao cơ học và liên kết cảm biến chiều cao cơ học. Các ứng dụng của nó bao gồm thiết bị sản xuất chất bán dẫn cần cải thiện thời gian ổn định và tăng sản lượng cũng như môi trường phòng thí nghiệm chính xác đòi hỏi hiệu suất tiếng ồn tối ưu và sự ổn định của nền tảng.

TMC主动空气隔振调平系统

Hệ thống cách ly rung không khí hoạt động TMCPEPS IITính năng

● Điều khiển kỹ thuật số, thân thiện với người dùngGiao diện LCD

● Đối vớiĐiều khiển chiều cao khí nén điện không tiếp xúc Hệ thống cách ly rung Gimbal Piston CSP MaxDamp

●Khả năng tái tạo vị trí trục Z: 10 micron

● Cải thiện hiệu quả cách ly rung nhờ loại bỏ các điểm tiếp xúc đòn bẩy của hệ thống điều khiển chiều cao cơ học truyền thống

● Chức năng nạp khí nén giảm thiểuPhản ứng của trục Z đối với chuyển động nền tảng X-Y

● Có thể được điều chỉnh để nhanh chóng và ổn định bởiPhong trào gây ra bởi nền tảng X-Y

● Tùy chọn "Chức năng VX tích hợp cảm biến quán tính để cộng hưởng cách ly rung dọc hoạt động

● Tương thích với "trạm trạm mềm". Cho phép tải mà không cần cài đặt chuyển động/Gỡ bỏ wafer

● Van điện tử tương xứng. "Công tắc" hoặc van điện tử truyền thống không tạo ra tiếng ồn xung

● Ống xả để xử lý sạch khí thải

● Điều khiển và trạng thái neo logic

quy cách

Kích thước vật lý	Bộ điều khiển PEPS II 1,72 "(43,7mm) H x 8,0"(203mm) W x 9,4 "(240 mm) D
trọng lượng	Bộ điều khiển PEPS II: Khoảng 3,0 lb (1,2 kg)
môi trường (Xem EN 61010-1:1993) Tiêu chuẩn EN 61010-1/A2: 1995)	Chỉ sử dụng trong nhà ở độ cao 2.000 m (6.560 ft) Phạm vi nhiệt độ cho phép tối đa: 5 ° C đến 35 ° C Độ ẩm tối đa cho phép: 80% ở dưới 31 ° C, tuyến tính giảm xuống 50% RH ở 40 ° C Dung sai điện áp nguồn chính: 85 VAC - 240 VAC Loại quá áp: 2 Mức độ ô nhiễm (IEC 664): 2 Yêu cầu thông gió: giải phóng mặt bằng 25 mm, giải phóng mặt bằng 0 mm
Yêu cầu nguồn điện	Phạm vi điện áp đầu vào nguồn: 90-230 VAC Dải tần số đầu vào: 50-60 Hz
PEPSII Giao diện người dùng (Bảng mặt trước)	Công tắc nguồn 4 nút menu Màn hình LCD 20 x 2 ký tự 2 ổ cắm chẩn đoán (loại BNC) Đèn báo trạng thái ba màu Cổng USB
PEPSII Giao diện (Bảng điều khiển phía sau)	Đầu vào nguồn AC với bộ lọc EMI 1 cổng cắm đầu vào không khí cho đường ống OD 1/4 inch 1 cổng cắm không khí (xả) cho đường ống OD 1/4 inch 4 cổng cắm không khí cho đường ống OD 1/4 inch (một cho mỗi bộ cách ly rung) Đầu vào nam DB-25 - Đầu ra và ổ cắm feed 1 x Phoenix 0,2 inch pitch 6 chân màu xanh lá cây khớp (cảm biến tiệm cận dọc) 1 x Phoenix 3,5 mm Pitch 6 chân màu đen (cảm biến tiệm cận ngang) Ground Thread Stud (# 10-32 chủ đề) Ổ cắm DB-25 F: 1 đầu vào kỹ thuật số, 3 giao diện cảm biến geophone địa chấn ("-VX" tùy chọn) Ổ cắm DB-25 F: 1 đầu vào kỹ thuật số, 3 cảm biến tiệm cận đầu ra hiện tại (tùy chọn)
PEPS II Thông số kỹ thuật hiệu suất	Đầu vào analog (đơn cực): 8 x 12 bit (16 bit được lấy mẫu), 0. ..3.0 V phạm vi đầy đủ Đầu vào analog (feed): 5 x 12 bit (16 bit sử dụng quá mẫu), ± 9 V đầy đủ phạm vi Đầu vào analog (đơn cực) Bảo vệ:+5 volt, -0,5 V Giới hạn Đầu vào analog (feed) Bảo vệ: ± 15 volt giới hạn Đầu ra analog: 4 x 12 bit (16 bit sử dụng mẫu), 0. ..3.0 V phạm vi đầy đủ Đầu ra analog (tùy chọn): 8 x 16 bit, 0. ..3.0 V phạm vi đầy đủ Bảo vệ đầu ra analog: Bảo vệ ngắn mạch không giới hạn,+5 volt giới hạn Đánh giá điện áp đầu vào kỹ thuật số: 0. ..+3,3 V,+5 V Dung sai (+5 volt Giới hạn) Đánh giá đầu ra kỹ thuật số: 0. .. + 3.3 V， Tối đa 20 mA Bảo vệ I/O kỹ thuật số:+5 volt, -0,5 volt giới hạn Nguồn điện sẵn có bên ngoài:+5 VDC, tối đa 2.0 A;+15 VDC, tối đa 1.0 A (tối đa 20 watt) Cổng giao tiếp: USB, được hiển thị dưới dạng RS-232 trên PC Bộ xử lý: ARM7TDMI/41.78 MHz Tốc độ vòng điều khiển: 100 Hz - 2.0 KHz Cảm biến tiệm cận: 3 dòng xoáy dọc, (3 tùy chọn ngang), đầu ra NAMUR 0-20 mA Cảm biến tốc độ - geophone địa chấn ("-VX" tùy chọn): 3 dọc, đầu ra hiện tại
Thông số kỹ thuật khí nén	Độ ổn định cao dài hạn: ± 50 micron Độ ổn định nghiêng dài hạn: ± 50 Microradian Van servo: Van servo tỷ lệ 4 x hai chiều biến đổi van điều tiết Công nghệ van: Pure A Áp suất đầu vào tối đa: 120 PSI hoặc 8,3 bar hoặc 830 KPa Tiêu thụ không khí danh nghĩa: 60 lít tiêu chuẩn/phút (2 feet khối tiêu chuẩn/phút) Yêu cầu không khí: Không khí sạch, khô, lọc đến 20 micron trở lên Không an toàn: Bộ cách ly rung sẽ xì hơi trong trường hợp mất điện hoặc mất điện Khớp nối khí nén: "One Touch" Khớp nối nhanh cho ống OD 1/4 inch

Hiệu suất

TMC主动空气隔振调平系统

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị