TMC ho?t ??ng Air Damper

Có thể đàm phánCập nhật vào01/09

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

TMC ho?t ??ng kh?ng khí gi?m xóc, Electro-Damp ?ay là h? th?ng cách ly rung tích c?c th??ng m?i ??u tiên ???c thi?t k? ??c bi?t ?? c?i thi?n th?ng l??ng, ?? phan gi?i và s?n l??ng trong các ?ng d?ng s?n xu?t ch?t bán d?n. Electro-Damp II là m?t thi?t k? l?i hoàn toàn * c?a h? th?ng ban ??u, b? sung tính m?-?un, ?i?u khi?n k? thu?t s?, chuy?n ti?p, thi?t b? truy?n ??ng l?c cao/gi?i phóng m?t b?ng cao và m?t s? giao di?n ng??i dùng k? thu?t s? ???c thi?t k? ??c bi?t cho các ?ng d?ng OEM nh? microlithography, c?ng c? phát hi?n và ?o l??ng.

Chi tiết sản phẩm

TMCHoạt động khử rung không khíkhíĐiện ẩm II

Electro-Damp ® Đây là hệ thống cách ly rung tích cực thương mại đầu tiên được thiết kế đặc biệt để cải thiện thông lượng, độ phân giải và sản lượng trong các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn. Electro-Damp II là một thiết kế lại hoàn toàn của hệ thống ban đầu, bổ sung tính mô-đun, điều khiển kỹ thuật số, chuyển tiếp, thiết bị truyền động lực cao/giải phóng mặt bằng cao và một số giao diện người dùng kỹ thuật số được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng OEM như microlithography, công cụ phát hiện và đo lường.

Các công cụ sản xuất chất bán dẫn đặt ra các yêu cầu mâu thuẫn đối với hệ thống cách ly rung động của chúng. Để đối phó với tiếng ồn mặt đất, hệ thống phải đủ mềm để lọc rung động mặt đất một cách hiệu quả, ngăn nó tiếp cận bề mặt cách ly rung động. Đồng thời, hệ thống phải đủ cứng để đối phó với lực của bàn làm việc để chuyển động của bàn làm cho bề mặt cách ly rung tạo ra sự dịch chuyển tối thiểu và có thể nhanh chóng ổn định.

TMC主动空气消振器

Ngoài việc áp dụng quán tính, phản hồi chủ động,Electro-Damp II cũng sử dụng nguồn cấp dữ liệu thông tin để cải thiện hơn nữa phản ứng của hệ thống. Feed lấy thông tin về vị trí và gia tốc của bàn từ bộ điều khiển bàn và sau đó xử lý dữ liệu này để cung cấp lực đẩy cho trọng tải, do đó giảm đáng kể chuyển động của trọng tải gây ra bởi bàn. Hệ thống có thể đọc thông tin nguồn cấp dữ liệu kỹ thuật số dưới dạng tín hiệu analog lưỡng cực hoặc bằng cách đọc đầu ra của bộ mã hóa trực giao. Bộ điều khiển kỹ thuật số DC-2000 cũng có thể tự động điều chỉnh các thông số cần thiết cho feed bằng cách sử dụng chế độ kiểm tra bảng. Điều này cho phép thiết lập nhanh chóng và dễ dàng trong quá trình cài đặt ban đầu hoặc sau khi thay đổi trọng tải.

Thiết kế mô-đun của Electro-Damp II cho phép hệ thống được sử dụng một mình với van servo điện tử (cho các ứng dụng nặng, gia tốc thấp như CMM), chỉ với ổ điện từ (cho các bàn làm việc nhẹ hơn sử dụng gia tốc cao) hoặc kết hợp với cả hai (cho các ứng dụng đòi hỏi khắt khe).

TMCHoạt động khử rung không khíkhíĐiện ẩm IITính năng

● Hệ thống giảm rung tích cực sáu độ tự do

● Kiểm soát chiều cao điện tử không tiếp xúc

● Bộ điều khiển kỹ thuật số

● Đầu vào nguồn cấp dữ liệu điều chỉnh chuyển động tải trọng gây ra bởi bàn làm việc

● Thiết bị truyền động điện từ lực cao có thể được cung cấp riêng lẻ hoặc tích hợp trong hệ thống

● Thời gian ổn định để giảm chuyển động tải trọng và chuyển động gây ra bởi bàn làm việc

● Cải thiện thông lượng, độ phân giải và sản lượng

● Thiết kế mô-đun cho phép người dùng * xác định một đơn vị hoặc thành phần hoàn chỉnh đểTích hợp OEM

● Tự động điều chỉnh các thông số feed để giảm cài đặt

quy cách

Phổ thông
Thời gian ổn định	0,2 giây **
Mức độ tự do chủ động	6
Kiểm soát độ chính xác cao	< 10 µm tạicảm biến>
Thiết bị truyền động tuyến tính (ngang và dọc)
Điện trở DC	5 Ω
Hằng số lực	Lên đến 12 lbs/amp \| 55 bò/amp
Lực liên tục tối đa	25 lbs \| 110 gia súc
Lực đỉnh @ 7 A	87 lb \| 385 bò
Hằng số thời gian điện	2,6 ms
Hành trình	0,25 inch \| 6,4 mm
Giải phóng mặt bằng	0,09 inch \| 2,3 mm
Trang chủ	< 1 G @ 2trong.d>
Kích thước (W x D x H)	2,8 x 6,8 x 4,5 inch 71 x 173 x 114 mm
Van (chỉ hoạt động)
Loại van	Tỷ lệ E/V Servo
Loại điều khiển	Áp suất hoặc luồng không khí
Lưu lượng tối đa	1.5 SCFM
Tiêu thụ không khí (4 bộ cách ly rung)	< 2 SCFM (không có chuyển động sân khấu) d>
- Phản hồi 3 dB	≤10 Hz (điển hình).
Cảm biến điều khiển chiều cao
đầu vào	Cảm ứng không tiếp xúc (dòng xoáy)
Cấu hình điện tử	Name Đường kính ba dây 30 hoặc 18 mm
phạm vi	Danh nghĩa 15 mm cho dây 30 mm Danh nghĩa 6 mm cho dây 18mm
Độ phân giải	< 1 μm
Ghế lắp khí nén thụ động
Khả năng chịu tải tiêu chuẩn	1,000 2,500 3,300 5,700 lb @ 80 PSI
Giảm xóc (10: 1)	< 3Sd>
Bộ điều khiển kỹ thuật số DC-2020
Bộ xử lý	Nhân đôi: DSP @ 150 MHz và Cortex M3 @ 75 MHz
Mô phỏng I/O	32/24 kênh (16/16 bit)
Tỷ lệ mẫu	Giá trị danh nghĩa 5 kHz
Mặt trước Panel	Công tắc nguồn Đèn báo trạng thái 3 màu Cổng Ethernet RJ-45 Khe cắm thẻ MicroSD 2 ổ cắm BNC (mỗi có thể hoạt động như đầu vào hoặc đầu ra) 2 cổng USB 2.0 (Loại B và Micro Loại B) Nút nâng cấp FW
Bảng điều khiển phía sau	Đầu vào nguồn Ổ cắm I/O tương tự Cổng khí nén Cổng Ethernet RJ-45 1 cái USB 2.0 Sản phẩm RS-232 DB 9 Rơ le ổ cắm
Giao diện người dùng	GUI qua USB hoặc Ethernet
nguồn điện	90-240 VAC，50-60 Hz， Tối đa 100 W
Kích thước (W x D x H)	16,8 x 9,0 x 1,75 inch 427 x 229 x 45 mm 1 x Đơn vị RETMA tiêu chuẩn
Bộ khuếch đại công suất
通道	8
Tối đa hiện tại trên mỗi kênh	7 A
đầu vào	Tuyến tính
Công suất đỉnh	Tổng cộng 700 watt
làm nguội	Môi trường, thông gió cưỡng bức
bảo vệ	Cầu chì có thể đặt lại, bảo vệ nhiệt điện tử, quá dòng, dưới điện áp
thao tác	Điều khiển từ xa hoặc bằng tay
kích thước	1 RETMA Rack Unit Chiều cao x 15 "(381 mm) D

Hướng dẫn ứng dụng

Điện Damp®

ởcông nghệ PrecitechMáy siêu chính xác Freeform L sử dụng PEPS II-VX để đo 3 trục (XYZ)

TMC主动空气消振器

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị