- Thông tin E-mail
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Số 93 đường Guoshun, thị trấn Nanqiao, quận Fengxian, Thượng Hải
Danh mục sản phẩm
Thượng Hải Maoshu Máy móc&Thiết bị Công ty TNHH
Van chân không Thụy Sĩ VAT 59024-GE01-0003
Có thể đàm phánCập nhật vào05/18
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
Van chân không Thụy Sĩ VAT 59024-GE01-0003 $r$n Độ phân giải mô hình (Quy tắc đặt tên VAT) $r$n Ý nghĩa đoạn mã $r$n59024 Series: Van góc chân không cao $r$nGE01 Loại mặt bích: ISO-KF40$r$n0003 Mã cấu hình: Với bộ truyền động khí nén
Chi tiết sản phẩm
Van chân không Thụy Sĩ VAT 59024-GE01-0003
1. Độ phân giải mô hình (Quy tắc đặt tên VAT)
| Đoạn mã | ý nghĩa |
|---|---|
| 59024 | Loạt: Van góc chân không cao |
| GE01 | Loại mặt bích: ISO-KF40 |
| 0003 | Mã cấu hình: Với bộ truyền động khí nén |
2. Thông số cốt lõi
| tham số | quy cách |
|---|---|
| Phạm vi chân không | 10⁻⁶ ~ 1000 mbar |
| Tỷ lệ rò rỉ | ≤1 × 10 ⁻⁹ mbar · L/s (kiểm tra helium) |
| Mặt bích tiêu chuẩn | ISO-KF40 (DN40) |
| Vật liệu cơ thể | Thép không gỉ 316L (EP đánh bóng) |
| Vật liệu niêm phong | Viton (FKM)/Con dấu kim loại đầy đủ tùy chọn |
| Phương pháp lái xe | Khí nén (áp suất làm việc 4~6 bar) |
| Thời gian đáp ứng | ≤0,5 giây (bật/tắt) |
| Phạm vi nhiệt độ | -20 ℃~150 ℃ (Loại tiêu chuẩn) |
3. Đặc điểm cấu trúc
Thiết kế chân không siêu cao：
Con dấu kim loại Bellows (không rò rỉ)
Tấm van được làm bằng con dấu côn (niêm phong lớp 10⁻⁹ mbar)
Thiết bị truyền động khí nén：
Xi lanh hành động kép (cần điều khiển van điện từ)
Với chỉ báo vị trí cơ khí
4. Ứng dụng điển hình
Thiết bị bán dẫn：
Cách ly khoang truyền wafer
CVD/PVD quá trình khoang
Thiết bị nghiên cứu khoa học：
Dòng tia bức xạ synchrotron
Máy gia tốc hạt Hệ thống chân không
5. Yêu cầu cài đặt
Lắp đặt mặt bích：
Giới hạn mô-men xoắn: 10 Nm (kẹp ISO-KF40)
Cần sử dụng vòng đệm đồng không oxy (P/N: VAT-CU40)
Kết nối đường dẫn khí：
Cổng không khí ổ đĩa: G1/8'(đề nghị thổi khí argon)
6. Giao diện điện (cần có van điện từ)
| Tín hiệu | yêu cầu |
|---|---|
| Tín hiệu van mở | 24V DC (điều khiển van điện từ) |
| Tắt tín hiệu van | Đặt lại mùa xuân (tắt van tự động) |
7. Điểm bảo trì
| dự án | Chu kỳ | thao tác |
|---|---|---|
| Thay thế vòng đệm | 2 năm hoặc 10 ⁶ chu kỳ | Cần loại bỏ vật cố định đặc biệt |
| Kiểm tra Bellows | 1 năm | Kiểm tra phổ khối Helium |
| Lái xe bôi trơn xi lanh | 6 tháng | Sử dụng mỡ chân không PFE |
8. So sánh mô hình thay thế
| Thương hiệu/Mô hình | Điểm khác biệt |
|---|---|
| VAT 59024-GE01-0004 | Phiên bản thiết bị truyền động điện |
| Pfeiffer VAT 58500 | Thông qua van, dòng chảy lớn hơn |
| NorCal UHV-40 | Giá thấp hơn 20%, tỷ lệ rò rỉ cao hơn một chút |
Thời gian dẫn tiêu chuẩn cho mô hình này là 8-12 tuần. Nếu cầnPhiên bản nhiệt độ cực cao (300 ℃)hoặcPhiên bản Magnetic FreeCần thêm 6 tuần tùy chỉnh. Đề nghị sử dụng VATDòng 52XNhóm van điện từ thực hiện điều khiển tự động.
Van chân không Thụy Sĩ VAT 59024-GE01-0003
Sản phẩm tương tự Khuyến nghị
