Thụy Sĩ VAT 590 Series điện High True điều hòa không khí phần Van

Thụy Sĩ VAT 590 Series điện High True điều hòa không khí phần Van

I. Định vị sản phẩm 590 Series

• loại sản phẩmVan điều khiển bằng điện (Proportional Control Valve)

• Chức năng cốt lõi：

• Điều chỉnh áp suất chính xác(Phạm vi 10 ⁻³~10 ⁻⁹ mbar)

• Kiểm soát lưu lượng động (áp dụng cho CVD, PVD, khắc vv)

• lợi thế cốt lõi：

• Độ phân giải0,1% phạm vi đầy đủThời gian đáp ứng<50ms

• Con dấu kim loại đầy đủ (tỷ lệ rò rỉ<1 × 10 ⁻¹mbar · L/s)

• ủng hộSố lượng tương tự (0-10V/4-20mA)VàTruyền thông kỹ thuật số (RS485/Profibus)kiểm soát

II. Quy tắc đặt tên mô hình (lấy VAT 590.12-AA làm ví dụ)

Thứ ba, thị trường Trung Quốc thường sử dụng mô hình phụ so sánh

IV. Thông số kỹ thuật cốt lõi

1. Hiệu suất điều chỉnh：

• Tuyến tính: ± 0,5% phạm vi đầy đủ

• Lặp lại chính xác：±0.2%

• Hệ số dòng chảy (Cv)：0.02（DN25）~0.15（DN63）

2. Tính năng điện：

• Cung cấp điện áp: 24V DC ± 10%

• Công suất tiêu thụ:<15W (Standby<5W)

• Phản hồi vị trí: Bộ mã hóa giá trị tuyệt đối 0-10V hoặc SSI tùy chọn

3. Thích ứng môi trường：

• Con dấu Viton: -20 ° C~+150 ° C

• Con dấu kim loại: -200 ° C~+250 ° C (điều kiện nướng)

• Phạm vi nhiệt độ:

• Khả năng chống ăn mòn: tương thích với Cl₂, NF₃ và các khí quá trình khác (yêu cầu cơ thể mạ niken tùy chọn)

V. Lựa chọn các bước quan trọng

1. Xác định đường kính：

• Chọn DN25/DN40/DN63 theo nhu cầu lưu lượng

• Công thức tính toán:$𝑄={𝐶}_{𝑣}\cdot \sqrt{\mathrm{\Delta }𝑃\cdot 𝜌}$
  (Q: dòng chảy, ΔP: chênh lệch áp suất, ρ: mật độ khí)

2. Chọn chế độ điều khiển：

• Kiểm soát khối lượng analog: Thích hợp cho điều khiển trực tiếp PLC

• Truyền thông kỹ thuật số: Thích hợp để tích hợp vào hệ thống quản lý chân không thông minh

3. Vật liệu niêm phong：

• Cao su florua (AA): Chi phí thấp, phù hợp với chân không chung (≤10 ⁻mbar)

• Con dấu kim loại (MM): Chân không siêu cao (≤10⁻¹mbar), chống plasma

4. Tùy chọn đặc biệt：

• Phiên bản sưởi ấm: Ngăn chặn ngưng tụ khí (ví dụ: quá trình SiH₄)

• Chứng nhận ATEX Explosion Proof: Sử dụng trong môi trường nguy hiểm

VI. Cài đặt và gỡ lỗi các điểm chính

• Lắp đặt cơ khí：

• Hướng van phải phù hợp với luồng không khí (nhận dạng mũi tên)

• Tránh nguồn rung (đề nghị lắp đặt giá đỡ giảm xóc)

• Kết nối điện：

• Dây cáp được che chắn (ngăn chặn nhiễu điện từ)

• Điện trở mặt đất<1Ω

• Hiệu chuẩn tham số：

1. Đặt số không (0% mở) thông qua HMI hoặc phần mềm

2. Phạm vi đầy đủ định mức (100% mở tương ứng với 10V/20mA)

3. Phản ứng bước thử nghiệm (mục tiêu vượt quá<5%)

VII. Xử lý sự cố điển hình

Thụy Sĩ VAT 590 Series điện High True điều hòa không khí phần Van