- Thông tin E-mail
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Số 93 đường Guoshun, thị trấn Nanqiao, quận Fengxian, Thượng Hải
Danh mục sản phẩm
Thượng Hải Maoshu Máy móc&Thiết bị Công ty TNHH
Van chân không Thụy Sĩ VAT 01034-KE01-0002
Có thể đàm phánCập nhật vào05/18
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
Van chân không Thụy Sĩ VAT 01034-KE01-0002 $r$n Độ phân giải mô hình (Quy tắc đặt tên VAT) $r$n Ý nghĩa đoạn mã $r$n01034 Series: Van góc chân không cỡ nhỏ $r$nKE01 Loại mặt bích: ISO-KF16 (DN16) $r$n0002 Mã cấu hình: Với bộ truyền động khí nén+Cảm biến vị trí
Chi tiết sản phẩm
Van chân không Thụy Sĩ VAT 01034-KE01-0002
1. Độ phân giải mô hình (Quy tắc đặt tên VAT)
| Đoạn mã | ý nghĩa |
|---|---|
| 01034 | Loạt: Van góc chân không cao cỡ nòng nhỏ |
| KE01 | Loại mặt bích: ISO-KF16 (DN16) |
| 0002 | Mã cấu hình: Với bộ truyền động khí nén+cảm biến vị trí |
2. Thông số cốt lõi
| tham số | quy cách |
|---|---|
| Phạm vi chân không | 10⁻⁹ ~ 1000 mbar |
| Tỷ lệ rò rỉ | ≤1 × 10 ⁻⁹mbar · L/s (con dấu kim loại) |
| Vật liệu cơ thể | Thép không gỉ 316L (EP đánh bóng) |
| Tùy chọn niêm phong | Con dấu kim loại đầy đủ/FFKM Elastomer |
| Phương pháp lái xe | Khí nén tác động kép (4~6 bar) |
| Thời gian đáp ứng | ≤0,3 giây (bật/tắt) |
| Phạm vi nhiệt độ | -200 ℃~250 ℃ (Loại tiêu chuẩn) |
3. Đặc điểm cấu trúc
Thiết kế không rò rỉ：
Kim loại Bellows Drive (không có nguy cơ rò rỉ niêm phong động)
Con dấu chỗ ngồi côn (con dấu lớp 10⁻⁹ mbar)
Phản hồi thông minh：
Tích hợp cảm biến vị trí từ tính (đầu ra PNP)
Đèn báo trạng thái LED (hai màu đỏ/xanh lá cây)
4. Ứng dụng điển hình
Dụng cụ phân tích：
Hệ thống lấy mẫu khối phổ
Phòng mẫu kính hiển vi điện tử
Chất bán dẫn：
Mô-đun truyền dẫn wafer (EFEM)
Thiết bị khắc Gas Pathway Control
5. Đặc điểm kỹ thuật cài đặt
Kết nối mặt bích：
Giới hạn mô-men xoắn: 5 Nm (kẹp ISO-KF16)
Vòng đệm: Máy giặt đồng không oxy (P/N: VAT-CU16)
Yêu cầu đường dẫn khí：
Khí lái: Nitơ hoặc Argon (độ tinh khiết ≥99,999%)
Lọc dòng: Bộ lọc 0,1μm
6. Giao diện điện
| đầu nối | chức năng |
|---|---|
| 1 (màu nâu) | 24V DC + |
| 2 (Xanh dương) | 0V |
| 3 (màu đen) | Tín hiệu mở van (PNP) |
| 4 (trắng) | Tín hiệu đóng van (PNP) |
7. Bảo trì chu kỳ
| dự án | thao tác | Chu kỳ |
|---|---|---|
| Kiểm tra bề mặt niêm phong | Phát hiện giao thoa kế ánh sáng trắng | 1 năm/10⁵ chu kỳ |
| Cuộc sống Bellows | Kiểm tra rò rỉ Helium | 5 năm hoặc 10 ⁶ chu kỳ |
| Hiệu chuẩn cảm biến vị trí | Điều chỉnh phản hồi vị trí van | 2 năm |
8. Chẩn đoán sự cố
| Mã số | ý nghĩa | Giải pháp xử lý |
|---|---|---|
| E01 | Mất tín hiệu cảm biến | Kiểm tra căn chỉnh khớp nối từ |
| E03 | Không đủ áp suất không khí | Xác nhận áp suất ổ ≥4 bar |
| E05 | Báo động quá nhiệt | Kiểm tra xem nhiệt độ môi trường có vượt quá tiêu chuẩn không |
9. Các lựa chọn thay thế
| Thương hiệu/Mô hình | Điểm khác biệt |
|---|---|
| VAT 01034-KE01-0001 | Không có cảm biến vị trí |
| Pfeiffer EVR 116 | Thiết bị truyền động điện, phản ứng chậm hơn |
| NorCal UHV-16 | Giá thấp hơn 25%, tỷ lệ rò rỉ cao hơn một chút |
Thời gian dẫn tiêu chuẩn 12 tuần cho mô hình này. Nếu cầnPhiên bản chân không cực cao (10⁻¹mbar)hoặcPhiên bản Magnetic FreeCần thêm 6 tuần tùy chỉnh. Đề nghị sử dụng VATDòng 52XNhóm van điện từ thực hiện điều khiển tự động.
Van chân không Thụy Sĩ VAT 01034-KE01-0002
Sản phẩm tương tự Khuyến nghị
