Thụy Sĩ VAT 54 Series khí nén cao chân không vách ngăn van

Thụy Sĩ VAT 54 Series khí nén cao chân không vách ngăn van

I. 54 loạt sản phẩm định vị

• loại sản phẩmVan chân không cao (Pneumatic Gate Valve)

• Chức năng cốt lõi：

• Buồng chân không cách ly nhanh (thời gian bật/tắt<1 giây)

• Thích hợp cho chất bán dẫn, quang điện, thiết bị nghiên cứu khoa họcHệ thống chân không siêu cao (UHV)

• lợi thế cốt lõi：

• Tỷ lệ rò rỉ thấp như<1×10 ⁻⁹ mbar · L / s(Phiên bản kim loại kín lên đến 10 ⁻¹mbar · L/s)

• Thiết kế không rò rỉ, tương thíchKhí ăn mòn(như Cl₂, SF₆ trong quy trình CVD)

II. Quy tắc đặt tên mô hình (lấy VAT 54152-AA làm ví dụ)

Thứ ba, thị trường Trung Quốc thường sử dụng mô hình phụ so sánh

IV. Thông số kỹ thuật cốt lõi

1. 真空性能：

• Tỷ lệ rò rỉ: phiên bản Viton<1 × 10 ⁻mbar · L/s, phiên bản niêm phong kim loại<1 × 10 ⁻mbar · L/s

• Chênh lệch áp suất: phiên bản tiêu chuẩn 10⁻⁹ mbar đến atm (tùy chọn áp suất hai chiều)

2. Đặc tính cơ học：

• Phương pháp lái xe: khí nén tác động kép (cần khí nén 0,5~0,7MPa)

• Thời gian mở và đóng ≤0,5 giây dưới DN63, DN200 ≤1,5 giây

• Vòng đời:>500.000 lần (phiên bản kim loại kín)

3. Khả năng tương thích vật liệu：

• Fluororubber (AA): Chi phí thấp và không chịu được plasma

• Con dấu kim loại (MM): Chống ăn mòn, chịu nhiệt độ cao, giá cao 30%~50%

• Vật liệu cơ thể: Thép không gỉ 316L (lớp EP đánh bóng điện phân tùy chọn)

• Tùy chọn niêm phong:

V. Lựa chọn các bước quan trọng

1. Xác định đường kính: Chọn DN40/DN63/DN160/DN200 theo lưu lượng đường ống

2. Chọn con dấu：

• Quy trình thông thường: Viton (AA)

• Khắc/Tiêm ion: Con dấu kim loại (MM)

3. Phù hợp với mặt bích：

• Mặt bích ISO-K: dòng chảy lớn (như thiết bị phủ)

• Mặt bích CF: chân không siêu cao (ví dụ như buồng bán dẫn)

4. Nhu cầu đặc biệt：

• Khí ăn mòn: Tùy chọnCơ thể mạ nikenhoặcHastelloy niêm phong

• Môi trường nhiệt độ cao: con dấu kim loại+van điện từ nhiệt độ cao (như Festo MS6 Series)

VI. Cài đặt và bảo trì các điểm chính

• Thông số cài đặt：

• Thân van cần được lắp đặt ngang hoặc dọc (tránh nghiêng)

• Bu lông mặt bích cần được siết chặt theo thứ tự đường chéo (mô-men xoắn tham khảo hướng dẫn sử dụng VAT)

• Tư vấn bảo trì：

• Kiểm tra độ mòn bề mặt niêm phong mỗi 6 tháng (phiên bản niêm phong kim loại có thể được nghiền thường xuyên)

• Vòng đệm Viton cần để yên 12 giờ sau khi tiếp xúc với không khí trước khi hút chân không

VII. Xử lý sự cố điển hình

8.Lựa chọn thay thế cho thị trường Trung Quốc

1. Thay thế nội địa：

• Thẩm Dương Khoa NghiGDC loạt Baffle Van(DN40~DN250, tỷ lệ rò rỉ<5 × 10 ⁻mbar · L/s)

2. Thương hiệu Nhật Bản：

• SMCDòng VZH(Chân không trung bình thấp, tỷ lệ tình dục cao)

• Thời gian dẫn：

• Mô hình tiêu chuẩn: 4-6 tuần

• Phiên bản tùy chỉnh (ví dụ: thân mạ niken): 8-12 tuần

Thụy Sĩ VAT 54 Series khí nén cao chân không vách ngăn van