PEALD

Có thể đàm phánCập nhật vào01/29

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Hệ thống PEALD plasma chân không cao buồng đôi là sự mở rộng của công nghệ ALD, thông qua sự ra đời của plasma, tạo ra một số lượng lớn các gốc tự do hoạt động, tăng cường hoạt động phản ứng của vật liệu tiền thân, do đó mở rộng phạm vi lựa chọn và yêu cầu ứng dụng của ALD đối với nguồn tiền thân, rút ngắn thời gian chu kỳ phản ứng, đồng thời giảm yêu cầu về nhiệt độ lắng đọng mẫu, có thể đạt được sự lắng đọng nhiệt độ thấp hoặc thậm chí bình thường, đặc biệt thích hợp cho việc lắng đọng màng trên vật liệu nhạy cảm với nhiệt độ và vật liệu linh hoạt.

Chi tiết sản phẩm

Một,Phòng đôi Plasma chân không caoPEALDhệ thốngThông số cốt lõi:

Phạm vi giá: 1 triệu - 2 triệu

Danh mục xuất xứ: Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử trong nước (ALD)

Kích thước lót: Ф200mm

Nhiệt độ quá trình: RT-500 ± 1ºC

Số tiền tố Tối đa có thể bao gồm 3 nhóm khí phản ứng plasma 4 nhóm tiền tố phản ứng lỏng hoặc rắn

Trọng lượng: 300kg

Kích thước (WxHxD): 1400 * 1000 * 1900mm

Tính đồng nhất: Đồng nhất<1%

Hai,Hệ thống ALD Plasma chân không cao hai buồngPhân tích nguyên tắc ứng dụng:

Sự lắng đọng lớp nguyên tử (Atomiclayerdeposition) là một kỹ thuật tạo thành một màng lắng đọng bằng cách luân phiên truyền các xung tiền chất hơi vào trong khoang phản ứng và hấp phụ hóa học và phản ứng trên ma trận lắng đọng, tự giới hạn và tự bão hòa. Ứng dụng chính của kỹ thuật lắng đọng lớp nguyên tử là lắng đọng các màng nano có độ chính xác cao, không có lỗ kim, phù hợp cao trên các chất nền có kích thước và hình dạng khác nhau.

Sự lắng đọng lớp nguyên tử tăng cường plasma (PlasmaEnhanced AtomicLayer Deposition)PEALD) là sự mở rộng của công nghệ ALD, thông qua sự ra đời của plasma, tạo ra một số lượng lớn các gốc tự do hoạt động, tăng cường hoạt động phản ứng của vật liệu tiền thân, do đó mở rộng phạm vi lựa chọn và yêu cầu ứng dụng của ALD đối với nguồn tiền thân, rút ngắn thời gian chu kỳ phản ứng, đồng thời giảm yêu cầu về nhiệt độ lắng đọng mẫu, có thể đạt được sự lắng đọng nhiệt độ thấp hoặc thậm chí bình thường, đặc biệt thích hợp cho các vật liệu nhạy cảm với nhiệt độ và lắng đọng màng trên vật liệu linh hoạt.

III. Hạ Môn Uẩn Mậu Công nghệ Công ty TNHH cung cấp cho bạn thông số, giá cả, mô hình, nguyên tắc và các thông tin khác, nơi xuất xứ là Phúc Kiến, thương hiệu là Uẩn Mậu, mô hình là QBT-A, giá là 1 triệu-2 triệu RMB, thêm thông tin liên quan có thể được tư vấn, dịch vụ khách hàng của công ty gọi điện thoại 7 * 24 giờ để phục vụ bạn.

IV. Thông số kỹ thuật chính:

Năm, kết quả kiểm tra cho thấy:

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị