Hệ thống phún xạ magnetron chân không cực cao buồng đôi

Có thể đàm phánCập nhật vào01/29

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Hệ thống phún xạ magnetron chân không cực cao đôi buồng QBT-P được trang bị buồng lấy mẫu và buồng phún xạ, buồng phún xạ được trang bị chức năng khắc ion, buồng được trang bị truyền chân không cực cao, độ chân không của thiết bị ≤3E-9Torre, sưởi ấm bề mặt 900 ℃, có thể chuẩn bị màng siêu dẫn Ta/TiN/NbN/Al/Nb, v.v.

Chi tiết sản phẩm

Một,Hệ thống phún xạ magnetron chân không cực cao buồng đôiThông số cốt lõi:

Loại dụng cụ: phún xạ magnetron

Danh mục xuất xứ: Trong nước

ứng dụng: Microelectronics

Kích thước tấm cơ sở: 4 inch (có thể tùy chỉnh)

Mục tiêu: Tantali

Phạm vi nhiệt độ của tấm cơ sở: RT-900ºC

Độ đồng nhất của độ dày của màng: Độ đồng nhất của bề mặt<3%

Chân không cực đại: UltimatePressure<3E-9Torre

Thứ hai, nguyên tắc công nghệ phún xạ magnetron:

Một trường điện từ trực giao hình thành trên bề mặt của mục tiêu cathode. Khi các electron thứ cấp được tạo ra bởi sự phún xạ được tăng tốc thành các electron năng lượng cao trong vùng giảm cathode, nó không bay trực tiếp đến cực dương, mà là chuyển động gần đúng của cycloid dao động qua lại dưới tác động của trường điện từ trực giao. Các electron năng lượng cao liên tục va chạm với các phân tử khí và chuyển năng lượng sang phân tử sau, ion hóa chúng và biến chúng thành các electron năng lượng thấp. Các electron năng lượng thấp này cuối cùng được hấp thụ bằng cách trôi dọc theo các đường từ tính đến cực dương phụ gần cathode, tránh bắn phá mạnh vào các tấm bởi các electron năng lượng cao và loại bỏ thiệt hại do các tấm bị bắn phá làm nóng và bị chiếu xạ bởi các electron trong quá trình phún xạ thứ cấp, thể hiện đặc điểm của "nhiệt độ thấp" của các tấm trong quá trình phún xạ magnetron. Do sự hiện diện của từ trường cộng thêm, chuyển động phức tạp của các electron làm tăng tốc độ ion hóa, cho phép phún xạ tốc độ cao.

Ba,Hệ thống phún xạ magnetron chân không cực cao buồng đôiĐặc điểm kỹ thuật:

Tốc độ tạo màng cao, nhiệt độ tấm nền thấp, độ bám dính tốt của màng

IV. Dịch vụ sau bán hàng:

Bảo hành: 1 năm

Cho dù bảo hành có thể được mở rộng: Không

Tư vấn kỹ thuật: Có

Đào tạo miễn phí: 1. Trước khi thiết bị rời khỏi nhà máy, cung cấp đào tạo nhà máy ban đầu cho ít nhất 2 người trong một tuần. 2. Thiết bị hoàn thành cài đặt và gỡ lỗi tại chỗ

Bảo dưỡng thiết bị miễn phí: có thể sắp xếp

Cam kết bảo hành sửa chữa: trong thời gian bảo hành (ngoại trừ thiệt hại do thiên tai và con người gây ra) các bộ phận, chi phí linh kiện, chi phí đi lại do bộ phận của chúng tôi chịu

Cam kết sửa chữa: Khi xảy ra sự cố trong thời gian bảo hành chất lượng, Cục chúng tôi sẽ phản hồi kịp thời và cử nhân viên kỹ thuật đến hiện trường giải quyết sự cố trong vòng 8 giờ;

V. Thông số kỹ thuật:

VI. Trình bày công nghệ:

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị