Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử plasma chân không cao hai buồng

Có thể đàm phánCập nhật vào01/29

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử plasma chân không cao hai buồng là một kỹ thuật tạo thành màng lắng đọng bằng cách luân phiên truyền các xung tiền chất pha khí vào trong khoang phản ứng và hấp phụ hóa học và phản ứng trên ma trận lắng đọng, tự giới hạn và tự bão hòa. Ứng dụng chính của kỹ thuật lắng đọng lớp nguyên tử là lắng đọng các màng nano có độ chính xác cao, không có lỗ kim, phù hợp cao trên các chất nền có kích thước và hình dạng khác nhau.

Chi tiết sản phẩm

I. Thông số cốt lõi:

Loại xuất xứ:Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử (ALD)

Kích thước nền: 6 inch

Nhiệt độ quá trình: RT-300 ℃

Số lượng tiền chất Tối đa có thể bao gồm 3 nhóm khí phản ứng plasma, 8 nhóm tiền chất phản ứng lỏng hoặc rắn

Trọng lượng: 300kg

Kích thước (WxHxD): 1400 * 1000 * 1900mm

Độ đồng nhất: 99%

Hai,Trầm tích lớp nguyên tử (Atomiclayerdeposition)Là một kỹ thuật tạo thành màng lắng đọng bằng cách luân phiên truyền các xung tiền chất pha khí vào khoang phản ứng và hấp phụ hóa học và phản ứng trên ma trận lắng đọng, tự giới hạn và tự bão hòa. Ứng dụng chính của kỹ thuật lắng đọng lớp nguyên tử là lắng đọng các màng nano có độ chính xác cao, không có lỗ kim, phù hợp cao trên các chất nền có kích thước và hình dạng khác nhau.

III. Mô tả sản phẩm:

Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử plasma chân không cao hai khoang (QBT-T) của Công ty Khoa học và Công nghệ Yimao Hạ Môn, thiết bị được thiết kế với hai khoang, điều khiển độc lập có thể đạt được giữa các khoang và sản lượng gấp đôi. Buồng là buồng PEALD, buồng bột ALD. Do thiết kế chức năng kép của buồng đôi, làm cho thiết bị có thể nhận ra quá trình tăng trưởng của plasma ALD cũng như quá trình phủ bột ALD trên tấm phẳng, thiết bị được trang bị hệ thống buồng phản ứng sưởi ấm hoàn chỉnh 300 ℃ được kiểm soát độc lập để đảm bảo nhiệt độ quá trình đồng đều. Hệ thống này có thùng mẫu bột, đĩa mang wafer, điều khiển nhiệt độ hoàn toàn tự động, xi lanh nguồn ALD, van điều khiển nhiệt độ tự động, điều khiển an toàn cấp công nghiệp, cũng như các tùy chọn thiết kế như RGA tại chỗ, QCM, máy phát ozone, hộp găng tay, giá đỡ tấm cực, v.v. Là một trong những công cụ nghiên cứu và phát triển tốt nhất cho nghiên cứu và ứng dụng trong lĩnh vực bán dẫn, vật liệu năng lượng, chất xúc tác, vật liệu nano mới.

Thứ tư, Hạ Môn Uẩn Mậu Công nghệ Công ty TNHH cung cấp cho bạn thông số, giá cả, mô hình, nguyên tắc và các thông tin khác về hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử plasma chân không cao hai buồng QBT-T, QBT-T xuất xứ Phúc Kiến, thương hiệu Uẩn Mậu, mô hình QBT-T, giá 1 triệu-2 triệu RMB, nhiều thông tin liên quan có thể được tư vấn, điện thoại dịch vụ khách hàng của công ty 7 * 24 giờ để phục vụ bạn.

V. Thông số kỹ thuật:

国产原子层沉积系统（ALD）

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị