Cung cấp năng lượng MKS RF RD5060Z 60MHz 2000W

Có thể đàm phánCập nhật vào05/15

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

MKS RF Power Supply RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator là nguồn cung cấp RF hiệu suất cao đã được chứng minh tại hiện trường với sự ổn định và khả năng điều khiển quy trình tuyệt vời.

Chi tiết sản phẩm

Cung cấp năng lượng MKS RF RD5060Z 60MHz 2000WMáy phát RFNó là một máy phát tần số vô tuyến tuyệt vời với hiệu suất đáng tin cậy và khả năng đầu ra ổn định đã được chứng minh tại chỗ. Nó thể hiện sự ổn định quá trình tuyệt vời và khả năng kiểm soát đầu ra trong xác minh máy thực. Nguồn điện tần số vô tuyến này có thể thực hiện kiểm soát chính xác đầu ra tần số vô tuyến, ứng dụng rộng rãi trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, CVD、PECVD、 Trong các công nghệ khắc và có biểu hiện xuất sắc. RD5060Z RF Power Supply có khả năng tạo màng tuyệt vời. Trong quá trình tạo màng bán dẫn, nó có ưu điểm là tốc độ tạo màng nhanh, hiệu quả cao và chất lượng tốt. Ở một mức độ nhất định, nó có thể nâng cao hiệu quả dây chuyền sản xuất và tỷ lệ hoàn thành. Nó có rất nhiều ứng dụng.

Cung cấp năng lượng MKS RF RD5060Z 60MHz 2000WMáy phát RFThông số kỹ thuật

Thương hiệu thiết bị: MKS

Mô hình thiết bị: RD5060Z

Đầu vào nguồn AC: 3 pha~480V, 15A

Đầu ra RF: DUAL 2.0KW, 60MHz

通讯接口： CEX In / Out, Profibus, EtherNet, Đồng bộ In / Out, Đặt trữ, RS-232C

Thiết bị tản nhiệt: tản nhiệt làm mát bằng nước

Trọng lượng thiết bị: 445kg, 98lbs

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị