Cung cấp năng lượng AE RF Paramount MF 15002 15KW

Có thể đàm phánCập nhật vào05/15

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

AE RF Power Paramount MF 15002 15KW 1.8-2.17MHz RF Generator là máy phát RF đã được chứng minh trong lĩnh vực lâu dài với hiệu suất tuyệt vời và ổn định đầu ra.

Chi tiết sản phẩm

Cung cấp năng lượng AE RF Paramount MF 15002 15KWMáy phát RF 1.8-2.17MHzNó là một nguồn cung cấp tần số vô tuyến hiệu suất cao với khả năng đầu ra ổn định và khả năng điều khiển đã được chứng minh trong một thời gian dài trên trang web. Nó cho thấy sự ổn định tuyệt vời của quá trình hoạt động thực tế. AE Paramount loạt RF cung cấp điện có khả năng tạo màng tuyệt vời, được sử dụng rộng rãi trong quá trình màng bán dẫn, loại này RF cung cấp điện tạo màng nhanh và hiệu quả cao, có thể cải thiện hiệu quả dây chuyền sản xuất và tỷ lệ sản phẩm ở một mức độ nhất định. Nguồn điện tần số vô tuyến MF 15002 có thể thực hiện kiểm soát chính xác đầu ra tần số vô tuyến, phún xạ trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, CVD、PECVD、 Có nhiều ứng dụng và hiệu suất tốt trong quá trình khắc.

Cung cấp năng lượng AE RF Paramount MF 15002 15KWThông số kỹ thuật

Thương hiệu: AE (Advanced Energy)

Mô hình thiết bị: Paramount MF 15002

Đầu vào nguồn AC: 3 pha~PE, 200~208V, 50/60Hz, 70A

Đầu ra RF: 15KW, 1.8~2.17MHz,<1000Vrms

通讯接口： Đồng bộ hóa In / Out, CEX In / Out, Match, User, Serial, ENET

Thiết bị tản nhiệt: tản nhiệt làm mát bằng nước

Yêu cầu nước làm mát: Max Áp suất nước 6.9Bar/690kPa

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị