Bộ nguồn RF AE RFG 3001 13.56MHz 3KW

Có thể đàm phánCập nhật vào05/15

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

AE RF Power Supply RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator là nguồn cung cấp RF hiệu suất cao với sự ổn định và khả năng kiểm soát quá trình tuyệt vời đã được chứng minh trong lĩnh vực này trong một thời gian dài. Nó được sử dụng rộng rãi trong quá trình sản xuất màng bán dẫn.

Chi tiết sản phẩm

Bộ nguồn RF AE RFG 3001 13.56MHz 3KWMáy phát RFNó là một nguồn cung cấp RF hiệu suất cao với sự ổn định quá trình tuyệt vời và khả năng kiểm soát đã được chứng minh trong một thời gian dài. Nó có thể đạt được sự kiểm soát chính xác của đầu ra RF. Nó có hiệu suất tuyệt vời trong quá trình sản xuất như phún xạ bán dẫn, khắc, CVD, PECVD, v.v.Với sự ổn định quy trình tuyệt vời và khả năng điều khiển tần số vô tuyến, bộ nguồn RF Series AE RFG cho phép kiểm soát chính xác đầu ra RF. RFG loạt RF cung cấp điện có khả năng tạo màng tốt, tốc độ tạo màng nhanh, hiệu quả cao, trong quá trình sản xuất màng bán dẫn có ứng dụng rộng rãi, có thể cải thiện hiệu quả dây chuyền sản xuất và tỷ lệ sản phẩm ở một mức độ nhất định. Nguồn điện tần số vô tuyến này áp dụng thiết kế nhỏ gọn, khéo léo tiện lợi, có thể giảm chi phí sử dụng của khách hàng.

Bộ nguồn RF AE RFG 3001 13.56MHz 3KWMáy phát RFThông số kỹ thuật

Thương hiệu: AE (Advanced Energy)

Mô hình thiết bị: RFG 3001

Đầu vào nguồn AC: 3 pha~,~208V/PE, 50/60Hz

Đầu ra RF: 13.56MHz, 3000W, 387V~

Giao tiếp: Control, CEX

Thiết bị tản nhiệt: tản nhiệt làm mát bằng nước

Yêu cầu nước làm mát: Max Áp suất nước 6.9Bar/690kPa

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị