- Thông tin E-mail
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Số 19 đường Thục Cương Tây, huyện Hàn Giang, thành phố Dương Châu, tỉnh Giang Tô
Danh mục sản phẩm
Công ty cổ phần công nghệ bán dẫn Giang Tô Shenzhou
MKS ASTRON2L RPS bán dẫn nguồn plasma từ xa
Có thể đàm phánCập nhật vào05/15
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
MKS ASTRON2L RPS Semiconductor Remote Plasma Source là một thành phần phụ đóng vai trò quan trọng trong quá trình làm sạch buồng lắng đọng và khắc dây chuyền sản xuất bán dẫn, có thể loại bỏ sự tích tụ các sản phẩm phụ của quá trình từ tường buồng, tăng tuổi thọ của các công cụ xử lý và giảm nguồn ô nhiễm màng.
Chi tiết sản phẩm
MKS ASTRON2L RPS bán dẫn nguồn plasma từ xaNó là một nguồn plasma từ xa hiệu suất cao với hiệu suất tuyệt vời và độ tin cậy cao đã được chứng minh trong một thời gian dài. Nó là một thành phần phụ quan trọng của quá trình làm sạch buồng lắng đọng và khắc, loại bỏ sự tích tụ các sản phẩm phụ của quá trình từ tường buồng, tăng tuổi thọ của các công cụ xử lý và giảm nguồn ô nhiễm màng.ASTRON Series RPS được sử dụng rộng rãi trong các liên kết làm sạch của tất cả các quy trình sản xuất chất bán dẫn,Nó có thể được cài đặt trong một loạt các cấu hình khác nhau trên một wafer silicon hoặc một phòng xử lý bề mặt lớn. ASTRON Series RPS hoạt động tốt và kinh tế đáng tin cậy hơn, cung cấp làm sạch buồng CVD, FPD (màn hình phẳng) cần thiết để làm sạch buồng khí phản ứng, làm sạch buồng năng lượng mặt trời, tro photoxelate, oxy hóa, nitriding và khử hóa chất.
MKS ASTRON2L RPS bán dẫn nguồn plasma từ xaThông số kỹ thuật
Mô hình thiết bị: Astron AX7657-85,P/N 0190-41326W
Đầu vào AC: 208V~, 3 pha~, 50/60Hz, 30A
Phương pháp tản nhiệt: tản nhiệt bằng nước
Áp suất nước làm mát: 100 psig (Max.)
Giao diện RS-232/Cust I/O
