Dụng cụ đo nhanh khẩu độ vi MADlink 100

Dụng cụ đo nhanh khẩu độ vi MADlink 100Nó là một dụng cụ quang học đặc biệt được áp dụng để đo nhanh đường kính lỗ nhỏ trên tấm mỏng. Nó giải quyết hiệu quả các vấn đề kỹ thuật của việc sử dụng công nghệ xử lý hình ảnh vi mô bằng phương pháp truyền thống và kính hiển vi điện tử không thể đạt được kiểm tra đầy đủ khẩu độ lỗ nhỏ trên tấm mỏng. Nó được đặc trưng bởi chỉ một lần chụp tất cả các lỗ nhỏ trong phạm vi toàn diện của mảnh (diện tích tối đa 5,0x4,5mm) để xuất ra các đặc điểm khẩu độ, phân bố khẩu độ và bản đồ phân bố vị trí vi mô của tất cả các lỗ nhỏ trên mảnh.

Hình 1: Bản vẽ mẫu microporous

Khẩu độ vi mô là đường kính của các lỗ nhỏ có kích thước lên tới micron hoặc thậm chí dưới micron trên tấm phẳng.

Kính hiển vi quang học thông thường bị hạn chế bởi hiện tượng nhiễu xạ quang học, độ phân giải cao nhất chỉ có thể đạt khoảng 0,5 μm, do đó, kính hiển vi quang học thông thường đo khoảng 1 μm, lỗi rõ ràng là quá lớn; Hơn nữa lúc này chỉ có thể dùng kính hiển vi 40 lần trở lên, kích thước trường nhìn chỉ có thể đạt tới 0,2 mm hoặc nhỏ hơn. Đối với các vi lỗ được tạo ra trên các tấm phim, phạm vi phân bố vị trí đạt mấy mm, không thể chụp một lần trên toàn khu vực. Mặc dù thông qua phân khu quét đo lường có lẽ hao phí rất nhiều thời gian, hơn nữa khó tránh khỏi xuất hiện vấn đề kiểm tra rò rỉ. Nếu sử dụng kính hiển vi thấp để đo toàn bộ phạm vi, chẳng hạn như 2x, do khẩu độ số của vật kính thấp (khẩu độ số của vật kính 2x chỉ 0,06), giới hạn khẩu độ gây ra bởi các đốm nhiễu xạ (đốm Eri) đường kính có thể đạt khoảng 10μm, với ống kính như vậy để xem hàng chục micron kích thước của micropores, sẽ tạo ra mờ đáng kể, và đối với micropores của kích thước 1μm, hình ảnh của kính hiển vi quang học thông thường đã không thể phản ánh kích thước của lỗ. Do đó, các hệ thống đo lường dựa trên công nghệ khuếch đại vi quang học và xử lý hình ảnh kỹ thuật số rất khó thực hiện các phép đo nhanh trên toàn khu vực của loại khẩu độ vi mô này. Kính hiển vi điện tử, mặc dù có độ sâu trường ảnh và độ phân giải tốt hơn, có trường nhìn nhỏ hơn và tốn kém để sử dụng cho một phép đo duy nhất, không phù hợp cho các phép đo nhanh được sử dụng rộng rãi trong các khẩu độ vi mô mỏng.

Hình 2: Sơ đồ nguyên tắc làm việc

Dụng cụ đo nhanh khẩu độ vi MADlink 100Sử dụng phương pháp đo khẩu độ vi thông lượng ánh sáng do nhóm quang học Chân lý nghiên cứu phát triển, sử dụng thông lượng ánh sáng xuyên qua lỗ siêu nhỏ tỷ lệ thuận với diện tích lỗ, như minh họa dưới đây, điều này đã tránh hiệu quả sự hạn chế về độ chính xác đo kích thước lỗ siêu nhỏ của nhiễu xạ quang học (ống kính hình ảnh) trong phương pháp hình ảnh hiển vi quang học.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Theo cảm biến hình ảnh phát hiện giá trị thông lượng ánh sáng của mỗi lỗ để tính toán khẩu độ vi mô, đồng thời hiệu chỉnh sự mất năng lượng ánh sáng do nhiễu xạ quang học của chính lỗ vi mô, để đạt được toàn bộ khu vực của đường kính vi mô một lần chụp có thể nhanh chóng hoàn thành việc đo toàn bộ khẩu độ vi mô trong khu vực, đầu ra cuối cùng của đường cong phân bố khẩu độ vi mô và bản đồ phân bố vị trí không gian.

Hình 4: Báo cáo kiểm tra phân tích điển hình