Hệ thống lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp LPCVD

1 Tổng quan sản phẩm:

Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (LPCVD) là một kỹ thuật cho phép các hợp chất khí phản ứng trên bề mặt tấm cơ sở và lắng đọng để tạo thành một màng rắn ổn định trong điều kiện áp suất thấp bằng cách nung nóng. Hệ thống này sản xuất chất bán dẫn, điện tử công suất, quang điện tử vàSản phẩm MEMSCác lĩnh vực như ứng dụng rộng rãi.LPCVDBằng cách kiểm soát chính xác các thông số như nhiệt độ, áp suất và lưu lượng khí, hệ thống có thể tạo thành một bộ phim đồng nhất tốt trên bề mặt của tấm cơ sở, đáp ứng các yêu cầu công nghệ khác nhau.

2 Sử dụng thiết bị:

LPCVDCác ứng dụng chính của hệ thống bao gồm:

1. tiền gửi phim: được sử dụng để tinh chỉnh nhiều loại vật liệu phim, chẳng hạn nhưSản phẩm Poly-Si(silicon đa tinh),Si3N4(silicon nitride),SiO2(silica), thủy tinh silic phốt pho, thủy tinh silic borophosphate, silic vô định hình và silica kim loại chịu lửa, v.v. Những màng này được tìm thấy trong các thiết bị bán dẫn, thiết bị điện tử công suất, thiết bị quang điện tử vàSản phẩm MEMSNó đóng một vai trò quan trọng trong cấu trúc.

2. Sản xuất chất bán dẫn: Trong quá trình sản xuất mạch tích hợp bán dẫn,LPCVDHệ thống được sử dụng để hình thành các cấu trúc quan trọng như oxit cổng, lớp thụ động bề mặt, lớp đệm ứng suất nitride, lớp oxit hy sinh và lớp oxit chặn.

3. Ứng dụng quang điện tử: Trong lĩnh vực quang điện tử,LPCVDHệ thống được sử dụng để chuẩn bị các bộ phim quang học như hướng dẫn sóng ánh sáng, lớp chiết suất biến đổi và lớp chống phản xạ, nâng cao hiệu suất của thiết bị.

3 Tính năng thiết bị

LPCVDHệ thống có các tính năng sau:

1. Môi trường áp suất thấp: lắng đọng được thực hiện trong điều kiện áp suất thấp, giúp giảm va chạm và tán xạ các phân tử khí, cải thiện tính đồng nhất và khối lượng của màng.

2. Kiểm soát độ chính xác cao: Hệ thống sử dụng công nghệ điều khiển nhiệt độ, áp suất và lưu lượng khí tiên tiến, có thể kiểm soát chính xác các thông số trong quá trình lắng đọng, đảm bảo tính chính xác và nhất quán của bộ phim.

3. Tính linh hoạt: Có khả năng lắng đọng nhiều loại vật liệu màng, đáp ứng các yêu cầu công nghệ khác nhau, có khả năng ứng dụng rộng rãi.

4. Hiệu quả cao: Do áp suất làm việc thấp, phạm vi tự do trung bình và hệ số khuếch tán của các phân tử khí lớn, có thể sử dụng phương pháp đóng gói chuyên sâu để tăng năng suất.

4 Thông số kỹ thuật và tính năng:

1. Đáp ứng các yêu cầu về nhiệt độ cao và làm mát nhanh cho nghiên cứu ống nano graphene và carbon

2. đường kính200Phòng thạch anh mm

3. Thiết kế ống thạch anh bên trong để dễ dàng tháo rời và làm sạch

4. Kích thước tấm cơ sở Đường kính lên đến150mm

5. lò điện trở ba vùng,150Vùng nhiệt độ đồng nhất cho mm

6. Nhiệt độ cao có thể đạt được1000°C

7. Sử dụng loại Throttlethuế VATÁp suất hạ lưu của van bướm được kiểm soát trong50 mTorrđến500 mTorrgiữa

8. 8Khối chân/Phân chiaEbara ESA25-DBơm chân không khô-Hai chân không khô