Hệ thống tiền gửi vật lý Angstrom

1 Tổng quan sản phẩm:

-Hiển thị manipulator (PVDMột nền tảng là một thiết bị khí hóa bề mặt của một nguồn vật liệu rắn hoặc lỏng thành một nguyên tử khí, phân tử hoặc ion bằng phương pháp vật lý trong môi trường chân không và lắng đọng trên bề mặt ma trận để tạo thành một bộ phim với các chức năng cụ thể.PVDNền tảng thường bao gồm các bộ phận như hệ thống chân không, hệ thống sưởi ấm, hệ thống điều khiển khí, buồng lắng đọng, hỗ trợ ma trận và hệ thống lái xe.AENền tảng lắng đọng hơi vật lý có thể tích hợp các thành phần kỹ thuật quan trọng này để cung cấp một giải pháp lắng đọng màng chính xác, hiệu quả.

2 Sử dụng thiết bị:

AECác ứng dụng chính của nền tảng lắng đọng hơi vật lý bao gồm:

1. Sửa đổi bề mặt: Cải thiện hiệu suất bề mặt của vật liệu ma trận bằng cách lắng đọng màng chống mài mòn, chống ăn mòn, dẫn điện, cách nhiệt, bôi trơn và các đặc tính khác.

2. Chuẩn bị phim chức năng: Chuẩn bị phim với các chức năng như dẫn ánh sáng, áp điện, từ tính, siêu dẫn, v.v., được áp dụng trong lĩnh vực điện tử, quang học, cảm biến, v.v.

3. Trang trí và bảo vệ: Các bộ phim kim loại hoặc hợp kim lắng đọng trên các bề mặt như đồng hồ cao cấp, đồ trang sức, vật liệu xây dựng, v.v., cung cấp bảo vệ thẩm mỹ và chống ăn mòn.

4. Xử lý vi nạp: Trong các lĩnh vực vi điện tử, chất bán dẫn, công nghệ nano, v.v., chuẩn bị cấu trúc màng có độ chính xác cao và chất lượng cao.

3 Tính năng thiết bị

Độ chính xác cao và tính đồng nhất: Đạt được độ chính xác cao và tính đồng nhất của bộ phim bằng cách kiểm soát chính xác các thông số lắng đọng, chẳng hạn như nhiệt độ, áp suất, lưu lượng khí, v.v.

Tính linh hoạt: Hỗ trợ nhiều loạiPVDCông nghệ, chẳng hạn như lớp phủ bay hơi chân không, lớp phủ phún xạ chân không, lớp phủ ion chân không, v.v., đáp ứng nhu cầu ứng dụng khác nhau.

Thân thiện với môi trường và tiết kiệm năng lượng: lắng đọng trong môi trường chân không và giảm ô nhiễm môi trường; Sử dụng công nghệ sử dụng năng lượng hiệu quả cao để giảm tiêu thụ năng lượng.

Tự động hóa và thông minh hóa: Tích hợp hệ thống điều khiển máy tính để thực hiện hoạt động tự động và giám sát thông minh, nâng cao hiệu quả sản xuất và chất lượng sản phẩm.

Kỹ thuật AngstromcủaTrong số PVDNền tảng là một hệ thống lắng đọng hơi vật lý, dưới đây là một số tính năng kỹ thuật và ứng dụng của nó:
Thông số kỹ thuật và tính năng:

Mô hình khác nhauỐng PVD NexdepCác thiết bị có thể khác nhau về các chỉ số kỹ thuật cụ thể, nếu bạn muốn biết thêm chi tiết, hãy tham khảo hướng dẫn sử dụng sản phẩm có liên quan hoặc liên hệ trực tiếpKỹ thuật AngstromCông ty. Ngoài ra, mặt bằng quản lý thiết bị quy mô lớn của Đại học Thiên Tân và một số thông báo mua sắm cũng có.Ống PVD NexdepThông tin tham số cụ thể của thiết bị, ví dụ:

1,Kích thước buồng là400mm(dài)x 400mm(Rộng)x 500mm(Cao), với lớp lót bằng thép không gỉ có thể tháo rời; Cửa trước là cửa dịch chuyển, cửa sau là cấu trúc bản lề, áp dụngONiêm phong vòng tròn; Cửa phòng tích hợp cửa sổ quan sát và có thiết bị chống trầm tích.

2,Về mặt hệ thống chân không, bơm giai đoạn trước sử dụng bơm dầu, tốc độ bơm không thấp hơn9cfm; Bơm chính sử dụng bơm phân tử, tốc độ bơm không thấp hơn685L / giây; Được trang bịSản phẩm Inficon MPG400Máy đo chân không, phạm vi đo từ3.75e-9torrvào khí quyển; Trong môi trường sạch, khô, hút chân không giới hạn là tốt hơn5e-7torr。

3,Hệ thống hấp mạ được trang bị 1 Bộ nguồn bay hơi kim loại chịu nhiệt và 1 Bộ điều khiển nguồn bốc hơi riêng lẻ, công suất nguồn bốc hơi nhiệt có thể đạt được2,5 kWÁp dụng bộ điều khiển nguồn silicon có thể điều khiển.

4,Hệ thống kiểm tra độ dày màng được trang bị 1 Đầu dò phát hiện độ dày màng, với chức năng làm mát bằng nước để nâng cao độ chính xác phát hiện, đầu dò được lắp đặt trên giá đỡ cứng nhắc để ngăn ngừa va chạm ảnh hưởng đến độ chính xác.

5,Bảng mẫu có thể tải đường kính là150mmMẫu, tương thích với mẫu kích thước nhỏ, với chức năng xoay, tốc độ quay10-30rpmĐiều chỉnh; Hệ thống được trang bị vách ngăn nguồn bay hơi với chế độ điều khiển tự động và vách ngăn bảng mẫu mở.