HORIBA GR-312/312F Hệ thống làm mát mặt sau wafer RS-485 Bộ điều khiển áp suất làm mát mặt sau

Giới thiệu sản phẩm

Horiba GR-312/312F Bộ điều khiển áp suất làm mát ngượcThuộc hệ thống làm mát mặt sau wafer GR-300 series, chủ yếu được sử dụng để kiểm soát áp suất khí làm mát mặt sau khi hút tĩnh điện cố định wafer. Mô hình nhóm này phù hợp với các tình huống hỗ trợ thiết bị bán dẫn yêu cầu giao tiếp RS-485 F-Net và có thể được sử dụng trong các ứng dụng điều khiển làm mát ngược liên quan đến khí như He, Ar, N2. Trong đó GR-312 là mô hình kiểm soát áp suất, GR-312F trên cơ sở kiểm soát áp suất đã tăng khả năng giám sát dòng chảy, phù hợp hơn với phương án thiết bị có yêu cầu giám sát trạng thái quá trình cao hơn.

Tính năng sản phẩm

Horiba GR-312/312F Bộ điều khiển áp suất làm mát ngượcCó khả năng điều khiển áp suất làm mát ổn định sau wafer, thích hợp cho việc điều chỉnh khí làm mát ở khu vực trung tâm wafer hoặc khu vực rìa. Phạm vi kiểm soát áp suất của nhóm sản phẩm này là 1-100% FS, độ chính xác áp suất ± 0,5% FS, thời gian đáp ứng trong vòng 1 giây, phù hợp với điều kiện làm việc có yêu cầu cao về độ ổn định và tính nhất quán của điều khiển làm mát ngược trong thiết bị bán dẫn.

Một tính năng khác của GR-312/312F là phù hợp hơn để truy cập vào các hệ thống điều khiển thiết bị giữ lại kiến trúc RS-485. Mô hình nhóm này sử dụng nguồn điện ± 15V, phương thức truyền thông RS-485 F-Net Protocol; Trong khi đó, sản lượng áp suất của GR-312/312F là 0-10VDC. Đối với các thiết bị yêu cầu đầu ra analog kết hợp với việc thu thập hệ thống phía trên, nhóm mô hình này dễ tích hợp hơn.

Nếu khách hàng cần theo dõi đồng thời lưu lượng khí làm mát ngược, GR-312F được khuyến nghị ưu tiên. Theo dữ liệu HORIBA, GR-312F cung cấp các tùy chọn đầy đủ lưu lượng 20, 50, 100 SCCM, phạm vi đo lưu lượng từ 0-100% FS và đầu ra lưu lượng từ 0-5VDC.

Thông số kỹ thuật

Mẫu số: GR-312/GR-312F
Loại sản phẩm: Bộ điều khiển áp suất khí làm mát mặt sau wafer
Giao thức truyền thông: RS-485 F-Net Protocol
Nguồn cung cấp ổ đĩa:+15V ± 5%/150mA, -15V ± 5%/150mA
Loại van: Thường đóng (Normally Close/NC)
Khí áp dụng: He, Ar, N2 (loại F được liệt kê rõ ràng)
Áp suất toàn dải: 13,33 kPa (A)
Phạm vi kiểm soát áp suất: 1-100% FS
Độ chính xác áp suất: ± 0,5% FS
Thời gian đáp ứng: ≤1 giây
Áp suất làm việc: 250 kPa (A)
Chịu áp lực: 300 kPa (A)
Tỷ lệ rò rỉ bên ngoài: ≤5 × 10 ^ -12 Pa · m³/s (He)
Áp suất đầu ra: 0-10VDC
Đầu nối tiêu chuẩn: 1/4 inch VCR tương đương
Hướng lắp đặt: Miễn phí
Phạm vi lưu lượng GR-312F: 20/50/100 SCCM
Phạm vi đo lưu lượng GR-312F: 0-100% FS
Đầu ra lưu lượng GR-312F: 0-5VDC.

Ứng dụng tiêu biểu

GR-312/312F phù hợp để sử dụng trong các thiết bị bán dẫn yêu cầu giao tiếp RS-485 cho các đơn vị điều khiển làm mát phía sau, chẳng hạn như plasma CVD, khắc, điều chỉnh áp suất vòng lặp làm mát phía sau và một số cảnh điều khiển áp suất chính xác buồng. GR-312F phù hợp hơn cho các ứng dụng yêu cầu điều chỉnh áp suất lạnh và giám sát dòng chảy.