Bộ điều khiển lưu lượng khí

HORIBABộ điều khiển lưu lượng khíTổng quan về sản phẩm:

Dòng sản phẩm điều khiển lưu lượng chất lượng HORIBA chủ yếu hướng đến đo lưu lượng chính xác và kiểm soát vòng kín của khí và chất lỏng, bao gồm các loại sốBộ điều khiển lưu lượng khíBộ điều khiển lưu lượng không nhạy cảm áp lực, bộ điều khiển lưu lượng chung, cũng như máy đo lưu lượng chất lượng dịch, v. v., áp dụng cho sản xuất bán dẫn, phòng thí nghiệm nghiên cứu khoa học và nhiều cảnh điều khiển chất lượng công nghiệp. Các sản phẩm liên quan của nó từ lâu đã được cung cấp bởi hệ thống HORIBASTEC, với các dòng chính bao gồm SEC-Z500X, SEC-N100, SEC-Z700X, SEC-E và LF-F/LV-F, v.v.

Vai trò cốt lõi của bộ điều khiển lưu lượng khối là tự động điều chỉnh lưu lượng chất lỏng theo tín hiệu cài đặt bên ngoài và thực hiện đo lường thời gian thực và kiểm soát phản hồi thông qua cảm biến, cấu trúc bỏ qua, van điều khiển và mạch điều khiển. So với kiểm soát lưu lượng khối lượng đơn giản, kiểm soát lưu lượng chất lượng phù hợp hơn cho các quy trình công nghệ đòi hỏi độ ổn định cao và độ lặp lại cao, và do đó được sử dụng rộng rãi trong dây chuyền sản xuất tự động và hệ thống thử nghiệm chính xác.

Dòng sản phẩm

Bộ điều khiển lưu lượng số SEC-Z500X Series

Sê-ri SEC-Z500X thuộc bộ điều khiển lưu lượng số hiệu suất cao và là một trong những dòng đại diện của HORIBA theo hướng này. Loạt sản phẩm này hỗ trợ chức năng Multi-Gas/Multi-Range, có thể thay đổi loại khí và lưu lượng phạm vi đầy đủ tại hiện trường, giúp giảm các loại phụ tùng và nâng cao tính linh hoạt của thiết bị; Với độ chính xác ± 1,0% SP, van truyền động áp điện, phản ứng khoảng 1 giây và cấu trúc hoàn toàn bằng kim loại, nó có thể được sử dụng trong các dịp kiểm soát khí có yêu cầu cao về tính ổn định, tốc độ đáp ứng và tính nhất quán của quy trình. Về phương thức truyền thông, các giao diện như Digital/Analog, DeviceNet và EtherCAT có thể được cung cấp.

Bộ điều khiển lưu lượng số SEC-N100 Series

Sê-ri SEC-N100 tập trung nhiều hơn vào phạm vi phủ sóng rộng và khả năng phù hợp đa ngành, phạm vi kiểm soát dòng chảy có thể mở rộng từ 10SCCM đến 1000SLM, phù hợp với các điều kiện làm việc khác nhau từ lưu lượng nhỏ đến lưu lượng lớn. Dòng sản phẩm này cũng hỗ trợ các tính năng Multi-Gas/Multi-Range và cung cấp nhiều phương thức truyền thông khác nhau như Digital/Analog, DeviceNet, CC-Link, PROFIBUS, EtherCAT, v.v., kết hợp tính linh hoạt tích hợp hệ thống với các yêu cầu điều khiển kỹ thuật số. Độ chính xác danh nghĩa của nó có thể đạt ± 1,0% SP và có phản ứng tốc độ cao khoảng 1 giây, phù hợp cho sản xuất thiết bị, phát triển quy trình và kiểm soát quá trình khí đa ngành.

Bộ điều khiển lưu lượng khối không nhạy áp suất SEC-Z700X Series

Sê-ri SEC-Z700X phù hợp với các hệ thống có yêu cầu cao hơn về tính ổn định của nguồn cung cấp không khí và có biến động áp suất rõ rệt ở thượng nguồn hoặc hạ nguồn. Loạt tích hợp khả năng đo áp suất đầu vào và áp dụng ý tưởng điều khiển không nhạy cảm áp suất, có thể làm giảm nhu cầu cấu hình của bộ điều chỉnh áp suất, cảm biến áp suất và bộ lọc trong hệ thống cung cấp không khí truyền thống ở một mức độ nhất định, do đó giúp đơn giản hóa cấu trúc đường dẫn không khí và giảm độ phức tạp của hệ thống. Dòng sản phẩm này cũng hỗ trợ Multi-Gas/Multi-Range, phản ứng khoảng 1 giây và độ chính xác ± 1,0% setpoint, đồng thời cung cấp thông tin liên quan đến lưu lượng, nhiệt độ và áp suất.

Bộ điều khiển lưu lượng khối loại chung SEC-E Series

Sê-ri SEC-E thuộc bộ điều khiển lưu lượng khối đa năng, sử dụng cảm biến nhiệt và cấu trúc van điện từ, phù hợp với các nhiệm vụ kiểm soát lưu lượng khí thông thường trong phòng thí nghiệm và hệ thống công nghiệp. Phạm vi dòng chảy này bao gồm 10SCCM đến 200SLM, có thể được sử dụng trong cả hệ thống sản xuất LCD, quang điện, chất bán dẫn điện, lớp phủ và các ứng dụng khác, cũng như kiểm soát khí đốt, kiểm soát khí môi trường, phối hợp khí hỗn hợp, đo khối lượng thông gió, lấy mẫu trong phòng thí nghiệm cũng như thử nghiệm R&D. Sê-ri SEC-E có tính tương đồng cao đối với các tình huống cần tính đến sự ổn định, phạm vi áp dụng và hiệu quả chi phí.

LF-F/LV-F Dòng chất lỏng Flow Meter&Controller

Loạt LF-F/LV-F được sử dụng để đo và kiểm soát lưu lượng chất lỏng, thích hợp cho việc vận chuyển chính xác các chất lỏng có điểm sôi thấp, chất lỏng có độ nhớt cao và các chất lỏng lưu lượng nhỏ. Loạt bài này sử dụng nguyên tắc đo loại làm mát Peltier để phát hiện sự thay đổi dòng chảy bằng cách làm mát thay vì sưởi ấm, có thể làm giảm nguy cơ bay hơi của chất lỏng có điểm sôi thấp trong quá trình phát hiện và cải thiện độ ổn định đo lường. Khả năng điều khiển của nó bao gồm từ vi nâng cấp đến phạm vi lưu lượng cực thấp, trong đó LF-F là đồng hồ đo lưu lượng chất lỏng, LV-F trên cơ sở nguyên tắc đo tương tự để tăng van áp điện và mạch điều khiển so sánh nội bộ, để đạt được kiểm soát lưu lượng chất lỏng vòng kín, phù hợp với việc cung cấp chất lỏng chính xác, cung cấp chất lỏng bay hơi và hệ thống quá trình chất lỏng liên quan.

Tính năng sản phẩm

Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng HORIBA được đặc trưng bởi sự phân cấp rõ ràng của loạt, cả loạt chữ số phù hợp với quy trình bán dẫn có độ chính xác cao và loạt phổ quát phạm vi rộng phù hợp với các ứng dụng đa ngành, đồng thời bao gồm đo lường và kiểm soát lưu lượng chất lỏng. Các sản phẩm bên khí nhấn mạnh độ chính xác cao, phản ứng nhanh, chuyển đổi đa dải khí và phương pháp truyền thông phong phú; Các sản phẩm bên chất lỏng nhấn mạnh sự phù hợp chất lỏng điểm sôi thấp, kiểm soát dòng chảy cực thấp và khả năng kiểm soát phản hồi vòng kín ổn định.

Về tích hợp hệ thống, bộ điều khiển lưu lượng chất lượng HORIBA có thể cung cấp mô phỏng và nhiều giao diện truyền thông bus công nghiệp, phù hợp để truy cập vào nền tảng điều khiển tự động hóa, thiết bị bán dẫn, hệ thống kiểm tra nghiên cứu khoa học và hệ thống điều khiển chất lỏng khí công nghiệp. Cấu hình giao diện đa khí, đa dải và đa truyền thông có giá trị thực tế cao đối với các kịch bản ứng dụng đòi hỏi phải cải thiện độ lặp lại của quy trình, rút ngắn thời gian chuyển đổi thiết bị, giảm loại phụ tùng và nâng cao khả năng quản lý kỹ thuật số.

Ứng dụng tiêu biểu

Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng HORIBA của Nhật Bản có thể được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn, sản xuất quang điện, sản xuất hiển thị, sản xuất sợi quang, phòng thí nghiệm nghiên cứu khoa học, hệ thống phát sinh khí thử nghiệm, hệ thống đốt và phân phối khí, kiểm soát khí môi trường, quy trình thực phẩm và đồ uống và kiểm soát bay hơi và vận chuyển chất lỏng. Trong số đó, MFC khí phù hợp hơn cho việc cung cấp không khí chính xác và các ứng dụng hỗn hợp, và bộ điều khiển lưu lượng chất lỏng phù hợp hơn cho việc cung cấp chất lỏng chính xác, vận chuyển hóa chất điểm sôi thấp và kiểm soát quá trình chất lỏng liên quan.