Máy làm sạch plasma khô

I. Thiết bị làm việc ban đầuLý lẽ

Plasma là một trạng thái tồn tại của vật chất trong đó các chất sau đây tồn tại: các electron ở trạng thái chuyển động tốc độ cao; Nguyên tử trung tính, phân tử, nhóm nguyên tử (gốc tự do) ở trạng thái kích hoạt; ion hóa các nguyên tử, phân tử; Các phân tử, nguyên tử không phản ứng, v.v., nhưng vật chất nói chung vẫn ở trạng thái trung tính điện.

Trymax NEO Series là bằng cách sử dụng các tính chất của các thành phần hoạt động này để xử lý bề mặt mẫu, tạo ra plasma mất trật tự năng lượng cao trong một điều kiện chân không nhất định thông qua nguồn điện RF/vi sóng, bắn phá bề mặt sản phẩm được làm sạch bằng plasma, do đó đạt được mục đích làm sạch, sửa đổi, vôi hóa photoxelate, v.v.

Hai,Trimax NEO Dòng Phảidùng

Phía trước nói:Ánh sáng khắc; Descum dải; PR Ashing； Sau khi tiêm ion, sau khi in thạch bản, trước khi mạ và các quá trình công nghệ khác; Đường sau/Gói nâng cao/3D IC: Descum Bumping; MEMS; Plasma Điều trị; Chiếc Wafer Cleaning và như vậy.

Sản phẩm DispenseMate®Công nghệ kiểm soát pha chế được cung cấp bởi hệ thống dựa trênBắc AsymtekHệ thống pha chế trực tuyến tiên tiến bao gồm điều khiển vòng kínDCHệ thống điều khiển chuyển động servo,Jet-on-the-Fly (bằng tiếng Anh)Chức năng pha chế phun cũng như lập trình trực quan cho khách hàngFluidmove ®Phần mềm.

Các cấu hình tiêu chuẩn khác bao gồm một máy dò chiều cao cơ học tích hợp và một hệ thống nhận dạng hoàn toàn tự động với các nguồn sáng điều khiển theo chương trình. Ngoài ra, cấu hình tiêu chuẩn bao gồm một vòi phun vòng kín có thể lập trình và điều khiển sưởi ấm kim được thiết lập theo chương trình để theo dõi nhiệt độ và ghi dữ liệu. Đồng thời còn bao gồm điều khiển phát keo động có thể thực hiện điều khiển phát keo nhỏ.

ngoại tuyến MFC / CPJlàD-593Tính năng tiêu chuẩn của loại hình này, Bằng cách cân mẫu và nhập thủ công các phép đo trong phạm vi giá trị số của người dùng đểSản phẩm FluidmoveThực hiện tính toán lưu lượng tự động.

Sản phẩm FluidmoveCác chương trình lập trình có thể tương thích và dễ dàng chuyển sang các chương trình khác.Công ty Nordson ASYMTEKHệ thống online, bao gồmPhổ II^TMvàQuãng tử®Nền tảng pha chế keo.

Hơn nữa,Sản phẩm FluidmovePhần mềm cung cấpSPCGhi dữ liệu để truy xuất quá trình và tùy chọnHệ thống CADNhập khẩu.

Từ sản xuất hàng loạt đến sản xuất hàng loạt, người dùng sẽ luôn nhận đượcCông ty Nordson ASYMTEKHỗ trợ mạng lưới kỹ thuật, phát triển ứng dụng và dịch vụ kỹ thuật có kinh nghiệm trên toàn thế giới.

TrimaxNâng cao Plasma Ash và EtchingNEO300A / NEO200ADòng nền tảng

Sản phẩm NEO300ASeries Platform làTrimaxCông nghiệp thiết bị bán dẫn củaNEOMột loạt các sản phẩm tẩy và khắc plasma tiên tiến Một trong những thành viên mới.

Nó là một hệ thống phòng đơn hoàn toàn tự động cấu hình bất kỳ hiện cóTrimax NEOmô-đun quá trình và lên đến đường kính300mmCơ bản tương thích. Dấu chân nhỏSản phẩm NEO300ACấu hình với một cổng gắn kết duy nhất.

• Tính năng

- to300Kích thước wafer mm/Kích thước cơ sở

-Khả năng công cụ cầu200-300mm

-Độc thânSMIFĐang tải cổng

-3Xử lý robot cánh tay trục

-4Các module xử lý khác nhau:

Hạt chia organic (2,45 GHz）

-Hiển thị manipulator (13,56 MHz）

• Nguồn kép (lò vi sóng, thiên vị RF)

•DCP（RFB5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

-Tính đồng nhất tuyệt vời và khả năng lặp lại

-Thông lượng cơ học> 100wph

-Dấu chân nhỏ gọn

-Chi phí sở hữu rất thấp

- điều khiển kỹ thuật số,Thiết bị DevicenetMạng Ethernet

-Máy tính công nghiệp dựa trên cửa sổ

• Ứng dụng

-Dải chặn

-Descumxử lý

-Loại bỏ polymer

-Bưu điện liều cao Implant Belt

-Ứng dụng khắc silicon nitride

- MEMSứng dụng

-Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (PR，PI，BCB，PBO）

Sản phẩm NEO200ASeries Platform làTrimaxCông nghiệp thiết bị bán dẫn củaNEOMột loạt các sản phẩm xám và khắc tiên tiến Thành viên mới.

Nó là một hệ thống phòng đơn hoàn toàn tự động cấu hình bất kỳ hiện cóTrimax NEOmô-đun quá trình và lên đến đường kính200mmCơ bản tương thích. Dấu chân nhỏSản phẩm NEO200ACấu hình với băng cassette kép.

• Tính năng

- to200 mmKích thước wafer/Kích thước cơ sở

-Nền tảng hộp đôi

-3Xử lý robot cánh tay trục

-4Các module xử lý khác nhau:

Hạt chia organic (2,45 GHz）

-Hiển thị manipulator (13,56 MHz）

• Nguồn kép (lò vi sóng, thiên vị RF)

•DCP（RFB5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

-Tính đồng nhất tuyệt vời và khả năng lặp lại

-Thông lượng cơ học> 100wph

-Dấu chân nhỏ gọn

-Chi phí sở hữu rất thấp

- điều khiển kỹ thuật số,Thiết bị DevicenetMạng Ethernet

-Máy tính công nghiệp dựa trên cửa sổ

• Ứng dụng

-Dải chặn

-Descumxử lý

-Loại bỏ polymer

-Bưu điện liều cao Implant Belt

-Ứng dụng khắc silicon nitride

- MEMSứng dụng

-Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (PR，PI，BCB，PBO）

Thiết bị bán dẫn TrymaxcủaNEO200Dòng sản phẩm Advanced Plasma Grey/Hệ thống khắc Vâng Thiết bị khắc và khắc mới với giá tuyệt vời Tính năng. Dành riêng cho to200 mmỨng dụng nền tảng và thiết kế.

Nó được trang bị một trạm tải linh hoạt có thể được cấu hình để xử lý to200 mmTất cả các kích cỡ khác nhau.

NEO200Loạt tích hợp tất cả các yêu cầu của thiết kế nhỏ gọn của nhà sản xuất thiết bị và nghiên cứu, có thể đạt được Chi phí sở hữu thấp.

• Tính năng

- to200 mmKích thước wafer/Kích thước cơ sở

-Một nền tảng tải duy nhất cho truyền wafer bán tự động.

-4Các module xử lý khác nhau:

Hạt chia organic (2,45 GHz）

-Hiển thị manipulator (13,56 MHz）

• Nguồn kép (lò vi sóng, thiên vị RF)

•DCP（RFB5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

-Tính đồng nhất tuyệt vời và khả năng lặp lại

-Dấu chân nhỏ gọn

-Chi phí sở hữu rất thấp

- điều khiển kỹ thuật số,Thiết bị DevicenetMạng Ethernet

-Máy tính công nghiệp dựa trên cửa sổ

• Ứng dụng

-Dải chặn

-Descumxử lý

-Loại bỏ polymer

-Bưu điện liều cao Implant Belt

-Ứng dụng khắc silicon nitride

- MEMSứng dụng

-Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (PR，PI，BCB，PBO）