Annealsys chân không nhanh ủ lò ở Pháp

Xuất xứ: AnnealSys, Pháp

Số mô hình: AS-One100/AS-One150

AS-ONE Vertical Fast Annealer được sản xuất bởi công ty AS của Pháp và được chia thành ba mô hình AS-ONE 100, 150 và 200, tương ứng với các sản phẩm 4 inch, 6 inch và 8 inch chân không Fast Annealer.

Ứng dụng:

- RTA ủ nhiệt nhanh;

- RTO oxy hóa nhiệt nhanh;

- khuếch tán, ủ tiếp xúc;

- Hợp chất bán dẫn ủ;

- Nitơ hóa, silic hóa;

- Selenization, lưu hóa;

- lắng đọng graphene, phát triển ống nano carbon;

- Tinh thể hóa, dày đặc;

Thông số kỹ thuật:

quy cách

Sản phẩm AS-ONE 100

Sản phẩm AS-ONE 150

Đường kính cơ sở mẫu tối đa

100mm (4 inch)

150mm (6 inch)

Kích thước buồng

Đường kính 130mm x 25mm

Đường kính 200mm x 25mm

Số lượng đèn hồng ngoại/Công suất tối đa

12 chiếc/30KW

18 chiếc/34KW

Cách làm mát đèn hồng ngoại

quạt

quạt

Phạm vi nhiệt độ tiêu chuẩn

Nhiệt độ phòng~1250 ° C

Nhiệt độ phòng~1200 ° C

Phạm vi phiên bản nhiệt độ cao tùy chọn

Nhiệt độ phòng~1500 ° C

Nhiệt độ phòng~1300 ° C

Tốc độ nóng lên

0.1°C ~ 200°C/s

0.1°C ~ 150°C/s

Kiểm soát nhiệt độ

Bộ điều khiển PID kỹ thuật số nhanh

Bộ điều khiển PID kỹ thuật số nhanh

cặp nhiệt điện

Loại K

Loại K

Nhiệt kế cao

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

Tiêm khí

Dưới cửa sổ thạch anh

Dưới cửa sổ thạch anh

Làm sạch đường khí

Cấu hình tiêu chuẩn

Cấu hình tiêu chuẩn

Quy trình Đường khí Chế độ/Số lượng

MFC/5 cách

MFC/5 cách

Hệ thống hút chân không

干泵 (10-2Torr)

Bơm phân tử (10-6Torre)

干泵 (10-2Torr)

Bơm phân tử (10-6Torre)

Kích thước/Trọng lượng

510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg

510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg

Tham khảo khách hàng:

Đại học Thanh Hoa, Đại học Bắc Kinh, Đại học Fudan, Đại học Công nghệ Nam Trung Quốc, 18 trường CNC Thiên Tân, 55 trường CNC Nam Kinh, Trung tâm Nghiên cứu và Phát triển Thượng Hải GE, Đại học Khoa học và Công nghệ Nam Trung Quốc, Đại học Thâm Quyến, v.v.

Kích thước lớn mẫu nhanh ủ lò

Lò ủ nhanh (RTP/RTA) là một thiết bị xử lý thường được sử dụng cho các vật liệu và thiết bị bán dẫn. Lò ủ nhanh có thể được sử dụng trong chân không, bầu không khí trơ, môi trường khí quá trình khác nhau.

Tính năng dụng cụ:

- Xử lý nhiệt nhanh, ủ nhiệt nhanh RTP/RTA;

- Có thể sử dụng trong môi trường chân không, thậm chí là môi trường chân không cao;

- Được sử dụng rộng rãi trong quá trình ủ nhanh của tấm pin mặt trời, chẳng hạn như tấm pin 156mm X 156mm, tấm pin 300mm X 300mm, v.v.