Kính hiển vi quang học Zeiss Axio Imager Vario

Phát hiện các mẫu có kích thước lớn - có hệ thống lấy nét tự động và đáp ứng các yêu cầu về cấp độ phòng siêu sạch

Phân tích từ các cảm biến MEMS nhỏ nhất đến các wafer XXL quá khổ hoặc thậm chí cả các vi mô phẳng nguyên khối mà không làm hỏng mẫu. Với khoảng cách di chuyển ngang tối đa 300 mm và độ sâu dọc tối đa 254 mm, bạn có thể phát hiện một số lượng lớn các mẫu với Axio Imager Vario. Thiết kế cột máy tích hợp đảm bảo sự ổn định. Trong các ứng dụng phát hiện wafer trong nhà siêu sạch – Axio Imager Vario đã được chứng nhận theo tiêu chuẩn DIN EN ISO 14644-1 và đáp ứng các yêu cầu của Clean Ultra Clean Room Class 5. Sử dụng động cơ điện điều khiển trục Z và phần cứng lấy nét tự động để đảm bảo điều chỉnh tự động đến vị trí lấy nét tốt hơn.

Kính hiển vi quang học Zeiss Axio Imager VarioTính năng:

Hai hướng dẫn sử dụng và một cột động cơ điện (được trang bị ba nút điều khiển chế độ phù hợp với tiêu chuẩn công nghiệp) để lựa chọn, tận dụng tối đa khoảng cách di chuyển ngang và dọc tối đa 300 mm của kính hiển vi và chiều sâu dọc tối đa 254 mm.
Axio Imager Vario có thể lấy nét mẫu bằng cách di chuyển lên xuống của bàn xoay vật kính. Điều này có nghĩa là ngay cả các mẫu nặng hơn cũng có thể đạt được độ chính xác lấy nét cao và khả năng lặp lại.
Với phần cứng tự động lấy nét, bạn có thể lấy nét chính xác và nhanh chóng các mẫu phản chiếu có độ tương phản thấp.
Axio Imager Vario được kết hợp với LSM 700 để phân tích các mẫu nhạy cảm ở độ phân giải cao mà không cần tiếp xúc.
Axio Imager Vario đã được chứng nhận theo tiêu chuẩn DIN EN ISO 14644-1 và đáp ứng các yêu cầu về phòng sạch và siêu sạch Cấp 5.

Phòng siêu sạch:

Sản xuất chất bán dẫn và phát hiện wafer cần được thực hiện trong phòng siêu sạch. Nó được chia thành các lớp khác nhau theo số lượng và kích thước hạt trên mỗi mét khối theo tiêu chuẩn DIN EN ISO 14644-1. Trong các ứng dụng phòng siêu sạch, Axio Imager Vario đã được chứng nhận theo tiêu chuẩn này và đáp ứng các yêu cầu về phòng siêu sạch Cấp 5. Phòng siêu sạch ISO 5 tương đương với Class 100 của tiêu chuẩn FED STD 209E (1992). Trong bộ dụng cụ siêu sạch bao gồm một bàn xoay vật kính 7 lỗ, một vòng bảo vệ hạt và một vòng bảo vệ chống hắt hơi.

Kính hiển vi quang học Zeiss Axio Imager VarioPhần cứng tập trung tự động:

Axio Imager Vario, được tích hợp với hệ thống phần cứng Auto Focus Auto Focus, cho phép lấy nét nhanh và chính xác trong phạm vi chụp tiêu điểm lên đến 12.000 µm. Trong các ứng dụng phát hiện sản xuất và nghiên cứu công nghiệp, bạn cần một hệ thống lấy nét có độ chính xác cao với độ chính xác cao gấp 0,3 lần độ sâu trường ảnh của vật kính. Phần cứng thu thập tự động này phù hợp cho các ứng dụng sử dụng ánh sáng phản xạ, ánh sáng truyền qua, trường sáng, trường tối, phân cực, chênh lệch giao thoa vi phân và phương pháp quan sát ánh sáng xiên.