- Thông tin E-mail
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Công nghệ địa tâm Vô Tích
Danh mục sản phẩm
Vô Tích Địa Tâm Công nghệ Công ty TNHH
ZTT-V2 loạt nghiêng bảng chuyển động tùy chỉnh hệ thống
Có thể đàm phánCập nhật vào05/06
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
Hệ thống chuyển động tùy chỉnh ZTT-V2 Series là nền tảng định vị chính xác tích hợp ba trục nâng thẳng đứng và san lấp mặt bằng ngang. Nó sử dụng động cơ tuyến tính để điều khiển và khớp nối bản lề hình cầu chính xác. Nó có độ chính xác vi động và hiệu suất động rất tốt. Chiều cao tổng thể nhỏ, kích thước tinh tế, độ cứng cao, khả năng tải lên đến 10kg, tương thích với việc sử dụng môi trường phòng sạch. $r$n$r$nZTT-V2, cùng với độ chính xác định vị tĩnh từ điểm đến điểm, cũng có độ chính xác động rất nổi bật, có thể thích ứng với các ứng dụng như phát hiện wafer, căn chỉnh quang học, phát hiện bảng điều khiển hoặc in thạch bản không mặt nạ yêu cầu nghiêm ngặt về vi động và lỗi theo dõi động.
Chi tiết sản phẩm
ZTT-V2 loạt nghiêng bảng chuyển động tùy chỉnh hệ thốngNó là một nền tảng định vị chính xác tích hợp ba trục nâng thẳng đứng và san lấp mặt bằng ngang. Nó sử dụng động cơ tuyến tính để điều khiển và sử dụng khớp nối bản lề hình cầu chính xác. Nó có độ chính xác vi động và hiệu suất động rất tốt. Chiều cao tổng thể nhỏ, kích thước tinh tế, độ cứng cao, khả năng tải lên đến 10kg, tương thích với việc sử dụng môi trường phòng sạch.
ZTT-V2 loạt nghiêng bảng chuyển động tùy chỉnh hệ thốngTrong khi có độ chính xác định vị tĩnh từ điểm đến điểm, nó cũng có độ chính xác động rất nổi bật, có thể thích ứng với các yêu cầu sai số theo dõi động và động để phát hiện wafer nghiêm ngặt, căn chỉnh quang học, phát hiện bảng điều khiển hoặc in thạch bản không mặt nạ và các ứng dụng khác, theo chiều cao tập trung của cảm biến trong thời gian thực để điều chỉnh chiều cao và thái độ góc, giải quyết vấn đề kiểm soát chuyển động của khách hàng theo nhiều hướng.
Bước nhỏ nhất của nền tảng ZTT-V2kiểm tra
Bước Z đến 20nm
Ổn định tại chỗ của mỗi trục
| Tên trục | Z | ThX | Thy |
| Hành trình hiệu quả Travel | 5 mm | 2° | 2° |
| Độ chính xác Accuracy | ± 0,3 μm | NA | NA |
| Lặp lại độ chính xác Bi-Repeatability | ± 0,1 μm | ± 0,1 arcsec | ± 0,1 arcsec |
| Tốc độ tối đa Maximum Speed (1) | 20 mm / giây | NA | NA |
| Gia tốc tối đa Maximum Acceleration (1) | 2 g | NA | NA |
| Bước nhỏ nhất Bước nhỏ nhất (2) | 20nm | 0,05 arcsec | 0,05arcsec |
| Tải tối đa Load Capacity | 10 kg | ||
| Trọng lượng: Stage Mass | 8 kg | ||
| Tài liệu Material | Nhôm | ||
Ghi chú:
(1) Không tải, cần cấu hình bộ khuếch đại công suất tương ứng;
(2) Vị trí điểm kiểm tra mặc định là 25 mm trên mặt bàn.
Ghi chú:
(1) Đơn vị: mm;
(2) Đầu nối cáp không được hiển thị;
(3) Bản vẽ 3D đầy đủ có thể tải xuống.
Tùy chọn cấu hình sản phẩm
| Dòng sản phẩm | Kích thước bàn | phản hồi |
| ZTT-V2 | -200 | - AS |
Tùy chọn phản hồi
| - AS | Đầu vào tương tự sin 1 volt VPP |
