- Thông tin E-mail
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Công nghệ địa tâm Vô Tích
Vô Tích Địa Tâm Công nghệ Công ty TNHH
Công nghệ địa tâm Vô Tích
Bàn thể thao tùy chỉnhLà nền tảng định vị chính xác tích hợp 4 trục XYZT, XYZ sử dụng động cơ tuyến tính để điều khiển, chọn hướng dẫn con lăn chéo chính xác, có hiệu suất và độ chính xác định vị rất tuyệt vời, tần số cắt không tải của trục XY có thể đạt trên 120Hz và có độ ổn định tốc độ tốt, sử dụng tần số lấy mẫu của giao thoa kế 5K trên mặt bàn chồng chất 4 trục để kiểm tra lỗi vị trí đoạn đồng đều CUBE-4, mỗi vị trí 0,5mm theo dõi động sai lệch tiêu chuẩn STD nhỏ hơn 50nm. Tần số cắt không tải của trục Z có thể đạt trên 200Hz. Trục Theta sử dụng động cơ dẫn động trực tiếp quay, được trang bị đường ray dẫn hướng tròn và lưới, kết hợp tốc độ quay cao và độ chính xác cao. Ngoài ra, trục Theta sử dụng thiết kế chìm, làm cho chiều cao tổng thể của CUBE-4 thấp hơn và giảm điểm làm việc có lợi cho việc cải thiện độ chính xác vị trí trong các ứng dụng thực tế.
Ngoài ra, trục Z có thể bước 100μm trong 30ms, được điều chỉnh đến ± 50nm. CUBE-4 là một điểm đến điểm độ chính xác tĩnh, đồng thời có độ chính xác động rất nổi bật, có thể thích ứng với các yêu cầu nghiêm ngặt về lỗi động của sinh học hoặc ứng dụng quét phát hiện wafer, trục Z có thể được điều chỉnh tốc độ cao theo chiều cao khoảng cách làm việc của cảm biến trong thời gian thực, giải quyết các vấn đề kiểm soát chuyển động của khách hàng.
Kiểm tra hiệu suất động của nền tảng bốn trục CUBE-4 Series

Kiểm tra động tần số lấy mẫu giao thoa 5k: XY vị trí phân đoạn đồng đều theo dõi lỗi, độ lệch tiêu chuẩn STD nhỏ hơn 50nm mỗi 0,5mm
Thử nghiệm bước nhỏ nhất của nền tảng bốn trục CUBE-4 Series

Bước trục Z 100μm, chỉnh sửa đến ± 50nm trong vòng 30ms

Bàn thể thao tùy chỉnhGhi chú
(1) Đo song song hoặc vuông góc với hướng nêm;
(2) Kiểm tra không tải;
c) Chịu lực dọc theo trục;
(4) Phù hợp - AS phản hồi, cấu hình bộ khuếch đại tuyến tính;
(5) Vị trí điểm kiểm tra mặc định là 25 mm trên mặt bàn, chỉ số trục đơn, chỉ số hiệu suất của hệ thống đa trục liên quan đến tải trọng thực tế và vị trí điểm làm việc;
(6) Hành trình khác có thể được tùy chỉnh.