Chuyển wafer

Chuyển waferTương ứng với FOUP (cổng tải) và FOSB có thể được sử dụng, phù hợp để kiểm tra sau với chi phí thấp. Thiết kế an toàn và công thái học đảm bảo hiệu quả và an toàn cho người vận hành khi chuyển các tấm wafer, bao gồm cả các tấm mỏng và bị biến dạng.

Thiết kế Ergonomic, dễ vận hành

• Chế độ kiểm tra có thể được thiết lập tự do, có tính đến khả năng vận hành trong dự án backtrack trong thiết kế, đặc biệt chú trọng đến tính dễ vận hành của thiết bị.

Tương ứng với hai mô hình FOUP (Load Port) và FOSB.

Chuyển waferVận chuyển mạnh mẽ, đáng tin cậy và an toàn

• Duy trì độ bền, độ tin cậy và an toàn của các mô hình thế hệ trước, cho phép truyền tải wafer 300 mm một cách an toàn và đáng tin cậy.

• Tấm mỏng, wafer Warped có thể được chuyển đi an toàn.

• Việc * hóa các vị trí quan sát vĩ mô và sắp xếp tập trung các đơn vị vận hành giúp cải thiện sự thoải mái vận hành của thiết bị.

Cung cấp một cách lý tưởng để phát hiện các vật lạ, vết sẹo, mảng màng, mất tập trung

Sự kết hợp giữa nguồn sáng halogen kim loại có độ sáng cao và ánh sáng sợi quang đã đạt được sự chiếu xạ toàn diện của nguồn sáng lạnh của wafer 300 mm.