Đĩa sưởi wafer/Module (tùy chỉnh)

Có thể đàm phánCập nhật vào01/31

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Đĩa gia nhiệt wafer, mô-đun gia nhiệt wafer (tùy chỉnh) rất quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong một số quy trình quan trọng, chẳng hạn như ủ wafer, liên kết, keo đồng nhất, khắc, lắng đọng pha khí, vv, nó có thể cung cấp môi trường nhiệt độ ổn định và nhiệt độ đồng đều của bề mặt đĩa chính xác, đảm bảo yêu cầu sưởi ấm của wafer trong các vùng nhiệt độ khác nhau, do đó nhận ra sản xuất và nghiên cứu phát triển thiết bị bán dẫn.

Chi tiết sản phẩm

Các sản phẩm liên quan đến công nghệ điều khiển nhiệt độ, công nghệ cơ học tại chỗ, chẳng hạn như hệ thống sưởi wafer, lò ủ nhanh, buồng thử nghiệm nhiệt độ cao và thấp, v.v., có thể cung cấp tùy chỉnh cá nhân cho khách hàng.

Trái cây cụ wafer mô-đun sưởi ấm:Nó rất quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong một số quy trình quan trọng, chẳng hạn như ủ wafer, liên kết, keo đồng nhất, khắc, lắng đọng pha khí, vv, nó có thể cung cấp môi trường nhiệt độ ổn định và nhiệt độ đồng đều của bề mặt đĩa chính xác, để đảm bảo các yêu cầu sưởi ấm của wafer trong các vùng nhiệt độ khác nhau, do đó nhận ra sản xuất và nghiên cứu phát triển thiết bị bán dẫn.

晶圆加热盘/模组（定制）

Mô-đun sưởi wafer (tùy chỉnh)Tính năng:

• Phạm vi nhiệt độ: RT~600 ℃

• Ổn định nhiệt độ: ± 0,1 ℃

• Chất liệu: Hợp kim nhôm, thép không gỉ, hợp kim Invar, v.v.

• Kiểm soát nhiệt độ chính xác cao

• Phần mềm kiểm soát nhiệt độ chuyên nghiệp

• Hỗ trợ tùy chỉnh

Tham số:

model	Mô-đun sưởi wafer (tùy chỉnh)
kích thước	2/4/6/8/10/12 inch
Phạm vi nhiệt độ	RT ~ 600 ℃
Ổn định nhiệt độ	±0.1℃
chất liệu	Hợp kim nhôm, thép không gỉ, hợp kim Invar, vv
Độ phẳng	≤10um， Có thể lên đến 3um, liên quan đến vật liệu
Môi trường áp dụng	Khí quyển/Chân không
Hệ thống làm mát	Tùy chọn: làm mát bằng nước, làm mát bằng không khí, vv
Áp lực liên kết	Tùy chọn: 0~100kN

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị