VTC-600GC-AM liên tục đa buồng Magnetron Sputtering Coating System

Có thể đàm phánCập nhật vào12/13

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

VTC-600GC-AM liên tục đa buồng magnetron phún xạ hệ thống sơn là mới độc lập phát triển và phát triển thiết bị phủ, chủ yếu bao gồm hai phần của buồng truyền và buồng phủ phún xạ, khung tấm cơ sở có thể đạt được chuyển động qua lại trong buồng truyền và buồng phún xạ, được điều khiển bởi động cơ FM, hoạt động đồng bộ tự động, và vị trí qua lại và tốc độ chuyển động đều có thể được thiết lập, cả hai buồng đều có chức năng định vị, có thể đạt được thiết lập lại nguồn. Nó có thể được sử dụng để chuẩn bị màng sắt điện đơn hoặc nhiều lớp, màng dẫn điện, màng hợp kim, màng bán dẫn, màng gốm, màng trung bình, màng quang học, màng oxit, màng cứng, màng Teflon, v.v.

Chi tiết sản phẩm

Giới thiệu sản phẩm VTC-600GC-AM连续式多腔室磁控溅射镀膜系统

VTC-600GC-AM liên tục đa buồng Magnetron Sputtering Coating SystemNó là thiết bị phủ mới được phát triển độc lập và phát triển. Nó chủ yếu bao gồm hai phần của buồng truyền và buồng phủ phún xạ. Khung tấm cơ sở có thể thực hiện chuyển động qua lại trong buồng truyền và buồng phún xạ. Nó được điều khiển bởi động cơ FM, hoạt động đồng bộ tự động và vị trí qua lại và tốc độ chuyển động có thể được thiết lập. Cả hai buồng đều có chức năng định vị, có thể đạt được thiết lập lại nguồn gốc. Nó có thể được sử dụng để chuẩn bị màng sắt điện đơn hoặc nhiều lớp, màng dẫn điện, màng hợp kim, màng bán dẫn, màng gốm, màng trung bình, màng quang học, màng oxit, màng cứng, màng Teflon, v.v.VTC-600GC-AM liên tục đa buồng Magnetron Sputtering Coating SystemNhiều súng mục tiêu có thể được tùy chọn, hỗ trợ cung cấp điện RF cho lớp phủ phún xạ của các mục tiêu không dẫn điện, hỗ trợ cung cấp điện DC cho lớp phủ phún xạ của vật liệu dẫn điện. So với các thiết bị tương tự, nó không chỉ được sử dụng rộng rãi, mà còn có lợi thế về khối lượng nước tiểu để vận hành, nó là một thiết bị lý tưởng để chuẩn bị màng vật liệu trong phòng thí nghiệm, đặc biệt thích hợp để nghiên cứu chất điện phân trạng thái rắn và OLED trong phòng thí nghiệm.

Các tính năng chính VTC-600GC-AM连续式多腔室磁控溅射镀膜系统

Bao gồm hai phần lớn của buồng truyền và buồng phủ phún xạ, có thể đạt được lớp phủ phún xạ nhanh chóng và liên tục.
Nhiều súng mục tiêu có thể được tùy chọn, hỗ trợ cung cấp điện RF cho lớp phủ phún xạ của mục tiêu không dẫn điện, hỗ trợ cung cấp điện DC cho lớp phủ phún xạ của vật liệu dẫn điện (súng mục tiêu có thể được thay đổi tùy ý theo nhu cầu của khách hàng).
Nhiều loại phim có thể được chuẩn bị và được sử dụng rộng rãi.
Kích thước nhỏ và hoạt động dễ dàng.
Thiết kế mô-đun của toàn bộ máy, buồng truyền, buồng chân không, bộ bơm chân không, thiết kế tách nguồn điều khiển, có thể được điều chỉnh theo nhu cầu thực tế của người dùng.
Nguồn điện có thể được lựa chọn theo nhu cầu thực tế của người dùng, có thể điều khiển nhiều súng mục tiêu bằng một nguồn điện, cũng có thể điều khiển nhiều súng mục tiêu bằng một nguồn điện.

Thông số kỹ thuật VTC-600GC-AM连续式多腔室磁控溅射镀膜系统

Tên sản phẩm	VTC-600GC-AM liên tục đa buồng Magnetron Sputtering Coating System
Mã sản phẩm	VTC-600GC-AM
Thông số chính	1. Cấu trúc: Cấu trúc mở cửa trước kiểu bàn, hệ thống bơm khí phía sau.
	2, chân không giới hạn: 6.0X10^-5Bố.
	3, Tỷ lệ rò rỉ: 1h ≤0.5Pa.
	4, Thời gian bơm khí quyển đến 5.0X10^-3Khoảng 5 phút.
	5, bộ bơm chân không: bơm cơ khí+bơm phân tử.
	6, bảng mẫu: φ140, nhiệt độ phòng -500 ℃, độ chính xác ± 1 ℃ (có thể nâng nhiệt độ theo nhu cầu thực tế) có thể điều chỉnh trong vòng 5 vòng/phút-20 vòng/phút tự quay. Chức năng thiên vị có thể được tùy chọn theo nhu cầu của khách hàng để đạt được lớp phủ chất lượng cao hơn.
	7, Hệ thống nạp khí: Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng 2 cách. (Khí Argon/Nitơ mỗi đường)
	8, Góc kẹp giữa đầu mục tiêu và trục trung tâm mẫu là 34 °
	9, số lượng mục tiêu: 3 (120 °). (Số lượng nhiều hơn có thể được tùy chỉnh)
	10, Phương pháp làm mát súng mục tiêu: Làm mát bằng nước
	11, Kích thước mục tiêu: φ2″, độ dày 0,1-5mm (khác nhau do độ dày khác nhau của vật liệu mục tiêu)

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị