VTC-1HD-ZF2 chân không cao Magnetron Sputtering bay hơi Coater

Mã sản phẩm

VTC-1HD-ZF2

Thông số chính

1, buồng chân không: φ324X330

Extreme Vacuum 6.0X10-4Pa (Áp dụng bơm phân tử tuabin FF-150 lít trong nước+bơm cơ khí)

Tỷ lệ rò rỉ: 2.0x10-10Pa.m3/s

Vật liệu được hàn bằng thép không gỉ 304, xử lý đánh bóng bề mặt điện hóa.

Vòng đệm cao su được niêm phong tại chỗ di chuyển, vòng đệm bằng đồng được niêm phong tại chỗ không di chuyển.

Truyền động điện áp dụng chế độ liên kết từ tính.

Phòng chân không một vị trí mục tiêu điều khiển từ tính, một nhóm điện cực bay hơi (hai), hai trạm lò nguồn gốc (tiêu chuẩn 1 lò nguồn gốc).

1 nhóm đồng hồ đo lưu lượng (nhóm argon) với cửa sổ quan sát kính φ150, ngoài ra còn có giao diện mặt bích C35.

2, Mục tiêu phún xạ: 2 inch (φ50.8mm)

Độ chân không làm việc: 10Pa~0.2Pa

Sử dụng mục tiêu:>35% (mục tiêu đồng 3mm tiêu chuẩn, chân không mục tiêu 0,5Pa)

MAX功率： 240W (làm mát đầy đủ)

Điện áp cách điện:>2000V (1 chiếc với nguồn DC 500W phù hợp)

3, bốc hơi điện trở:

Điện áp đầu ra bay hơi: AC 0-8V điều chỉnh liên tục

Giới hạn bốc hơi hiện tại 200A

Công suất bay hơi giới hạn<1.6KW

Nhiệt độ không thể kiểm soát, không thể đo lường.

4, lò nguồn: công suất nồi nấu kim loại: 3CC

Nhiệt độ sưởi ấm: nhiệt độ phòng -700 ° C

Nhiệt độ sưởi ấm có thể đo lường, điều chỉnh và kiểm soát.

Kiểm soát nhiệt độ chính xác: ± 0,5 ° C

Tiêu chuẩn với nồi nấu thạch anh với vách ngăn, cặp nhiệt điện.

Cung cấp năng lượng: 500W, 36V

5, bảng mẫu: φ120

Kiểm soát nhiệt độ: Nhiệt độ phòng -500 ° C

Số vòng quay: 1-20rpm

Bàn mẫu có thể được nâng và hạ bằng tay, giới hạn đột quỵ có thể điều chỉnh: 50mm

6, EQ-TM106-1 Máy đo độ dày màng

1) Nguồn điện: DC 5V (± 10%), Max hiện tại 400mA

2) Độ phân giải tần số: ± 0,03Hz

3) Độ phân giải độ dày màng: 0,0136 Å (nhôm)

4) Độ chính xác của độ dày màng: ± 0,5%, tùy thuộc vào điều kiện quá trình, đặc biệt là vị trí của cảm biến, ứng suất vật liệu, nhiệt độ và mật độ.

5) Tốc độ đo: 100ms-1s/lần, có thể đặt

6) Phạm vi đo: 500.000 Å (nhôm)

7) Tinh thể cảm biến tiêu chuẩn: 6MHz

8) Giao diện máy tính: Giao diện nối tiếp RS-232/485 (tốc độ truyền 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 có thể được đặt, bit dữ liệu: 8, bit dừng: 1, kiểm tra: không)

9) Đầu ra analog: độ phân giải 8 bit, đầu ra điều chế độ rộng xung PWM (đầu ra 5V mở hoặc bên trong của bộ sưu tập)

10) Môi trường làm việc: nhiệt độ 0-50 ℃, độ ẩm 5% -85% RH, không có hạt ngưng tụ

11) Kích thước tổng thể: 90mm × 50mm × 18mm

7, thiết bị được trang bị tiêu chuẩn với máy làm lạnh 1 bộ (loại KJ5000), khách hàng tự chuẩn bị máy làm lạnh và nước khử ion hoặc nước tinh khiết.

8, Đầu vào nguồn toàn bộ máy: AC220V/50Hz. Công suất<3.5KW.

9, Thông số kỹ thuật sản phẩm:

Kích thước: Khoảng 1300mm × 660mm × 1200mm; Trọng lượng: Khoảng 160 kg