-
Thông tin E-mail
info@lab-sci.cn
-
Điện thoại
13922118053
-
Địa chỉ
Đường Điền Liêu, quận Quang Minh, thành phố Thâm Quyến.
Thâm Quyến Tin Cheng Khoa học Instrument Co, Ltd
info@lab-sci.cn
13922118053
Đường Điền Liêu, quận Quang Minh, thành phố Thâm Quyến.
Đồng bằng keo Rotary CoaterSản phẩm WS-650Trên tấm cơ sở quay tốc độ cao, nhỏ giọt các loại chất lỏng keo, sử dụng lực ly tâm để làm cho chất lỏng keo được phủ đều trên tấm cơ sở, tốc độ quay và thời gian, chất lỏng keo và hệ số dính giữa các tấm cơ sở sẽ ảnh hưởng đến độ dày của màng, quá trình quay và sự ổn định của hệ thống quay cũng có ảnh hưởng lớn đến chất lượng màng.
1. Kích thước mẫu: φ3~300mm
2. Gia tốc: 80000rpm/s (không tải), 30000rpm/s (tải: wafer tiêu chuẩn 100mm)
3. Tốc độ quay: 1~12000rpm, độ phân giải động cơ servo 4000P/rev
4. Hướng quay: tùy chọn động cơ loại Hz, hướng quay có thể điều chỉnh hai chiều
5. Công nghệ bảo vệ luồng không khí CDA/N2
6. Mô-đun giọt tự động tùy chọn, mô-đun loại bỏ wafer EBR
7. Nhiều pallet tùy chọn, phù hợp với các mẫu vật liệu khác nhau
Đồng bằng keo Rotary CoaterGiải pháp Pallet
1. Khay hút chân không phổ biến: 10~150mm không cần thay thế.
2. Nhúng: giữa pallet được làm thành một rãnh tròn, mẫu có thể được nhúng trong đó để tránh độ dày mẫu quá mức gây ra hiệu ứng xoáy khí.
3. Loại tổ ong: Thích hợp cho vật liệu mềm siêu mỏng và dễ biến dạng và vật liệu dễ vỡ.
4. Khay loại thẻ: Thích hợp cho các mẫu không thể hấp thụ chân không, hoặc các mẫu cần được xử lý ở cả hai mặt, bởi vì khi cố định cần giảm thiểu diện tích tiếp xúc với pallet, cũng có thể sử dụng khay loại thẻ, tốc độ quay không nên quá cao khi sử dụng khay loại thẻ.
