Kính hiển vi điện tử quét trường phân giải cực cao Regulus8100

"Regulus Series" là một thương hiệu hoàn toàn mới của FE-SEM công nghệ cao của Hitachi, bao gồm "Regulus 8100" được phát triển như là một mô hình tiếp theo của SU8010 và nâng cấp "Regulus 8220", "Regulus 8230" và "Regulus 8240" cho dòng SU8200, tất cả bốn mô hình, tất cả đều đạt được độ phân giải và khả năng vận hành tăng cường.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) được sử dụng rộng rãi trong công nghệ nano, chất bán dẫn. Quan sát cấu trúc vật liệu trong ngành công nghiệp điện tử, khoa học đời sống, khoa học vật liệu và các lĩnh vực khác. Trong những năm gần đây, một thế hệ mới của các ứng dụng thiết bị điện tử được mong đợi rộng rãi trong các vật liệu carbon mới, vật liệu polymer, vật liệu composite và các nghiên cứu khác như xương sống của khoa học và công nghệ tiên tiến, được chào đón nồng nhiệt trên toàn thế giới. Kính hiển vi điện tử quét được sử dụng rộng rãi để quan sát các vật liệu này? Đánh giá, nhưng chỉ có độ phân giải siêu cao còn lâu mới đủ. Ngoài ra còn yêu cầu quan sát cấu trúc tinh tế của bề mặt và phân tích nguyên tố có độ nhạy cao ở điện áp gia tốc thấp. Ngoài ra, sự ổn định và tin cậy liên tục của hiệu suất gương điện được theo đuổi trong quá trình nghiên cứu dài hạn.

Hệ thống quang học điện tử "Regulus Series" của thương hiệu mới được tối ưu hóa để cung cấp độ phân giải cao hơn khoảng 20% so với thế hệ trước ở điện áp hạ cánh 1kV. "Regulus8220/8230/8240" đạt 0,9nm và "Regulus8100" đạt độ phân giải 1,1 nm. Ngoài ra, súng trường lạnh phù hợp nhất để quan sát độ phân giải cao ở điện áp tăng tốc thấp có thể phóng to chi tiết của mẫu và có được hình ảnh chất lượng cao. Độ phóng đại lớn nhất cũng từ 1 triệu lần trước tăng lên 2 triệu lần.
Ngoài ra, để có thể đối phó tốt hơn với việc kiểm tra các mẫu khác nhau và duy trì hiệu suất cao, công việc hỗ trợ người dùng cũng được tăng cường, chẳng hạn như chức năng hỗ trợ vận hành của hệ thống phát hiện tín hiệu, chức năng hỗ trợ bảo trì, v.v.

Các tính năng chính

1. Được trang bị súng điện lạnh với sự khác biệt màu sắc cực nhỏ phù hợp với điện áp tăng tốc thấp và quan sát độ phân giải cao

2. Độ phân giải của mẫu máy thế hệ trước tăng khoảng 20%.
   (Regulus 8220/8230/8240: 0,9 nm/1 kV, Regulus 8100: 1,1 nm/1 kV)

3. Độ phóng đại tối đa tăng từ 1 triệu lần lên 2 triệu lần^*1

4. Chức năng hỗ trợ người dùng, giúp người dùng phát huy đầy đủ hiệu suất cao của thiết bị

Thông số chính

*1 Chỉ Regulus8240/8230/8220

* 2 Quan sát chế độ giảm tốc

*3 Độ phóng đại hình ảnh của trường nhìn 127 mm × 95 mm

* Bàn động cơ 4-5 trục là tùy chọn