SU1510

Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn

(1) Thông số kỹ thuật cơ bản

Độ phân giải hình ảnh SE : 3,0 nm tại 30 kV (x100,000, WD = 5 mm, Chế độ chân không cao)
15 nm ở 3 kV (x30,000, WD = 5 mm, chế độ chân không cao)

Độ phân giải hình ảnh BSE : 4,0 nm ở 30 kV (x60,000, WD = 5 mm, 6 Pa trong chế độ chân không thấp)

Phóng đại : ´5–´300,000
(Phóng đại cao nhất và thấp nhất phụ thuộc vào điện áp tăng tốc, tốc độ quét WDand)

(2) Điện tử quang học

Nguồn chùm điện tử : Sợi hộp cartridge tập trung trước (sợi tóc pin vonfram)

Động tốc điện áp : 0,3 kV – 30 kV

Súng thiên vị: Quadrant Bias

Sự sắp xếp chùm Điện từ 2 giai đoạn (hoạt động như chùm trống khi hình ảnh bị đóng băng)

Hệ thống ống kính: quang học giảm ống kính điện từ 3 giai đoạn

Chất xúc phạm: X-Y tám cực điện từ

Quét cuộn dây : độ lệch điện từ 2 giai đoạn

Khẩu độ di chuyển mục tiêu: 4 lỗ với thiết kế click-stop (30, 50, 80, 150 µm dia.)

Thay đổi hình ảnh: ±50 µm hoặc lớn hơn tại WD = 15 mm

Vị trí phân tích WD = 15 mm, TOA = 35°

Máy dò: Máy dò SE trong chế độ chân không cao
Máy dò BSE trong chế độ chân không cao và thấp

(3) Giai đoạn mẫu

(4) Hệ thống sơ tán

Kiểm soát sơ tán : Chuỗi hoàn toàn tự động với van động cơ

Máy đo chân không : Máy đo Pirani

chân không cuối cùng Số lượng: 1,5 x 10^-3Bố

Phạm vi áp suất có thể điều chỉnh: 6 - 270 Pa (chỉ chế độ chân không bên trong)

Bơm chân không:Bơm phân tử Turbo (TMP) 210l / s,´1 Máy bơm quay dầu 135 l / phút (50Hz), 162 l / phút (60Hz),´1

(5) Hiển thị

Kiểm soát: Giao diện người dùng đồ họa (GUI), menu tiếng Anh

Hệ điều hành: Microsoft^®Cửa sổ^®XP chuyên nghiệp

Hoạt động: Chuột / Bàn phím, bộ nút quay (tùy chọn)

Màn hình: 19 loại LCD (1280)´1024 pixel trên bàn)

Chế độ hiển thị hình ảnh Hiển thị toàn màn hình (1280 ′)960 pixel)
Hiển thị tiêu chuẩn (640)´480 pixel)
Hiển thị hình ảnh kép (640 ´480 pixel)´2), Trộn tín hiệu

Chế độ quét : TV/FAST

: Chậm

Khu vực giảm (320)´240 pixel)

: Hình dạng sóng

: Màn hình tách / phóng đại kép

Chụp hình ảnh độ nét cao (tối đa 2560 ′)1920 pixel)

Chụp hình ảnh tích hợp khung (tối đa 2560 ′)1920 pixel)

Tốc độ quét Quét TV
(640´480 pixel, 25/30 * khung / giây.)

: Quét nhanh
(Hiển thị toàn màn hình: 6,3 / 7,5 * khung hình / giây.)

: Quét chậm
(hiển thị toàn màn hình: 1, 4, 20/16, 40/32, 80/64 * giây / khung)
(640´480 pixel: 0,5, 2, 10/8, 20/16, 40/32 * giây / khung)

: Quét khu vực giảm
(320´240 pixel: 25/30,3/4 * khung hình / giây.)
* Tần số cung cấp điện: 50 / 60Hz

Chức năng điều chỉnh tự động

: Độ sáng và tương phản tự động (ABCC)

: Kiểm soát tập trung tự động (AFC)

: Tự động Stigmator & Focus (ASF)

: Sợi bão hòa tự động (AFS)

: Tự động sắp xếp chùm (ABA)

: Cài đặt chùm tự động (ABS)
(AFS + ABA + Súng tự động)

Các chức năng xử lý tín hiệu và hình ảnh

Cải thiện tỷ lệ S / N bằng cách trung bình (TV, quét nhanh)

Cải thiện tỷ lệ S / N bằng cách tích hợp pixel

: Cải thiện tỷ lệ S / N bằng cách tích hợp khung hình
(khung hình tối đa cho tích hợp: 1024) (TV, FAST, SLOW1)

: Hiển thị hình ảnh hai màu tổng hợp
(Thời gian thực trên chế độ hiển thị hình ảnh kép / Lưu hình ảnh)

: Hiển thị màu giả (Lưu hình ảnh)

: Xử lý hình ảnh thời gian thực
(Độ tương phản ngược, điều khiển gamma)

: Hiển thị histogram thời gian thực

Xử lý hình ảnh để lưu hình ảnh
(Độ tương phản ngược, kiểm soát gamma, làm mịn, tăng cường cạnh, v.v.)

Lưu hình ảnh Kích thước tiết kiệm hình ảnh
(640´480 pixel, 1280 ′960 điểm ảnh, 25601920 pixel, 5120´3840 điểm ảnh)

Định dạng tập tin hình ảnh: BMP, TIFF, JPEG

Hình ảnh in ra : Chức năng in bố trí miễn phí theo tiêu chuẩn

Quản lý lưu hình ảnh

Quản lý dữ liệu SEM (cơ sở dữ liệu hình ảnh) theo tiêu chuẩn
(Quản lý dữ liệu, hiển thị hình thu nhỏ, các chức năng xử lý hình ảnh khác nhau)

Các chức năng khác Chùm trống khi một hình ảnh bị đóng băng.

: Quay lượt raster

: Focus động / bù đắp nghiêng

: Hiển thị dữ liệu (Số hình ảnh, Điện áp tăng tốc, Phóng to, Micron marker, Đơn vị, WD, Ngày, Thời gian, Áp suất, Máy dò)
Hiển thị dữ liệu có thể chọn giữa có và không có hình ảnh

: nhập dữ liệu[Các con số (vòng tròn, hình chữ nhật, mũi tên, đường đo), ký tự］

: Chức năng đo lường dễ dàng (khoảng cách giữa 2 điểm và đường đo lường với mũi tên)

Hướng dẫn bảo trì hoạt hình 3D

Chuyển hình ảnh sang Quartz Imaging PCI

Chức năng chế độ X-Ray : Các đầu cuối tín hiệu đầu vào cho máy đo tốc độ tia X (0 - + 10V) và Bản đồ (TTL)

Chế độ quét (phân tích đường, phân tích điểm, phân tích nồng độ trung bình)

: Giao diện DBC (tùy chọn)

Cổng kết nối cho thiết bị bên ngoài

: Giao diện USB

: Giao diện mạng (Ethernet), Thiết lập là tùy chọn.

Tín hiệu VTR: Chỉ tín hiệu đen trắng NTSC (BNC), một hình ảnh chỉ ở chế độ hiển thị tiêu chuẩn.

(6) Thiết bị an toàn

: Bảo vệ chống lại mất điện, rò rỉ dòng và mất chân không.

(7) Kích thước và trọng lượng