Danh mục sản phẩm

Công ty TNHH dụng cụ chính xác Kunshan Risechi

Thông tin E-mail
research@resemtech.com
Điện thoại
Địa chỉ
Số 88 đường Bách Phú, Khu phát triển kinh tế Côn Sơn, tỉnh Giang Tô

Liên hệ bây giờ

Máy làm sạch Ozone UV

Có thể đàm phánCập nhật vào12/21

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Loại bỏ ô nhiễm hữu cơ bằng hiệu ứng kép của ozone và ánh sáng cực tím ở hai bước sóngUV Ozone Cleaner※Phương pháp làm sạch khô không gây thiệt hại có thể...

Chi tiết sản phẩm

Loại bỏ ô nhiễm hữu cơ bằng hiệu ứng kép của ozone và ánh sáng cực tím ở hai bước sóng
Máy làm sạch Ozone UV

※Phương pháp làm sạch khô không hư hại có thể loại bỏ các ô nhiễm hữu cơ dính vào chất nền bằng quá trình phân giải oxy hóa quang hóa.

Chi tiết sản phẩm

Lợi ích
UV Ozone Cleaner

【Lợi ích của phương pháp làm sạch ozone UV】

	●	Dễ dàng loại bỏ ô nhiễm hữu cơ trên chất nền mà không thể được loại bỏ bằng cách làm sạch siêu âm một mình.
	●	Loại bỏ dung môi hữu cơ được sử dụng trong làm sạch ướt.
	●	Khả năng loại bỏ ô nhiễm hữu cơ mà không làm hỏng bề mặt nền.
	●	Dễ dàng tích lũy phim L-B. (Tỷ lệ tích lũy được cải thiện rất nhiều.)
	●	Acailable ở áp suất tmospheric. Không cần thiết bị chân không.

【Lợi ích của chất làm sạch ozone UV của Filgen】

●

Loại máy tính để bàn nhỏ gọn tiết kiệm không gian.

●

Chuyển đổi khí tự động.
Bằng cách kết nối ống oxy và ống nitơ và thiết lập tỷ lệ dòng chảy của mỗi khí trước, thiết bị có thể thực hiện các bước sau tự động.
Giới thiệu oxy → UV làm sạch → Giới thiệu nitơ (khí thải ozone)
※Oxy có thể làm tăng hiệu quả sản xuất ozone và nitơ có thể thanh lọc ozone.

●

(Đèn ống thẳng được trang bị mô hình - UV253V8)
Không rò rỉ ozone vì nó có một cấu trúc kín không khí.
Phòng thiết bị là một cấu trúc kín không khí có thể duy trì áp suất 0,02 MPa.
Khi kết nối với xi lanh khí, thiết bị có thể thực hiện các bước sau tự động mà không có dòng không khí bên ngoài.
Giới thiệu oxy → UV làm sạch → Giới thiệu nitơ (khí thải ozone).
Rò rỉ ozone có thể làm ngắn tuổi thọ của các bộ phận của thiết bị và có thể ảnh hưởng đến dữ liệu của các thí nghiệm hóa học hoặc sinh học, có thể gây ra vấn đề nghiêm trọng.
(Các mô hình khác ngoài UV253V8)
Không rò rỉ ozone khi được kết nối với thiết bị phân hủy ozone.
Khi kết nối với xi lanh khí, thiết bị có thể thực hiện các bước sau tự động mà không có dòng không khí bên ngoài.
Giới thiệu oxy → UV làm sạch → Giới thiệu nitơ (khí thải ozone).

●

Hệ thống phát hiện ozone tùy chọn và cơ chế khóa cửa có sẵn để tránh lỗi của con người có thể dẫn đến rò rỉ ozone hoặc tia cực tím.
(Hệ thống phát hiện ozone)
Sau khi sử dụng thiết bị phân hủy ozone hoặc thanh lọc bằng nitơ, đo nồng độ ozone trong phòng làm sạch. Cửa sẽ mở sau khi xác nhận nồng độ ozone đáp ứng tiêu chuẩn an toàn.
(Cơ chế khóa cửa)
Cơ chế khóa chuyên dụng ngăn chặn cửa được mở trong khi đèn UV đang bật (trong quá trình tạo ra ozone).
(Hệ thống phát hiện ozone liên kết và cơ chế khóa cửa)
Bằng cách trang bị và khóa lẫn nhau hệ thống phát hiện ozone tùy chọn và cơ chế khóa cửa, cửa không thể được mở trừ khi nồng độ ozone trong phòng làm sạch đáp ứng tiêu chuẩn an toàn.

●

Tùy thuộc vào ứng dụng, hai loại đèn UV khác nhau (đèn UV ống thẳng và đèn UV lưới điện mật độ cao) có sẵn để được chọn.

●

Đối với hai loại đèn thủy ngân áp suất thấp trên, thông số kỹ thuật thạch anh nóng chảy và thông số kỹ thuật thạch anh tổng hợp có sẵn. Vui lòng chọn theo ứng dụng.
Nó cũng có thể thay thế đèn sau đó, mà không thay đổi các bộ phận khác của thiết bị.
※Đặc điểm kỹ thuật thạch anh tổng hợp phát ra ánh sáng bước sóng 184,9 nm tốt hơn nhiều (khoảng 1,7 lần) so với đặc điểm kỹ thuật thạch anh nóng chảy, có thể cải thiện đáng kể hiệu quả làm sạch.

●

Thời gian kỹ thuật số với chức năng đếm ngược.

●

Tùy chọn Kẻ giết ozone (thiết bị tổng hợp ozone) trang bị có thể loại bỏ và thải ozone và làm cho môi trường làm việc thậm chí an toàn hơn.

●

Kết nối dễ dàng bởi vì tất cả các ống nylon và kết nối khớp đều sử dụng khớp một chạm.

●

Chiều dài linh hoạt của ống kết nối, được làm bằng nylon và có thể được cắt tự do.

Các nguyên tắc của UV làm sạch ozone
UV Ozone Cleaner

UV làm sạch ozone là một quá trình oxy hóa nhạy cảm với ánh sáng bằng cách sử dụng ánh sáng UV bước sóng ngắn. Trong quá trình này, các chất ô nhiễm hữu cơ như photoresist, nhựa, dầu silicon và dòng chảy được phân hủy bằng cách hấp thụ bức xạ UV với bước sóng ngắn.
Các phân tử oxy trở thành ozone ở bước sóng 184,9 nm và ozone bị phân hủy ở bước sóng 253,7 nm, đồng thời tạo ra các loài oxy phản ứng.
Hầu hết ánh sáng UV 253,7 nm được hấp thụ bởi hydrocarbon và ozone.
Các sản phẩm của các chất ô nhiễm phân hủy phản ứng với các loài oxy phản ứng và tạo thành các phân tử dễ bay hơi đơn giản hơn (ví dụ như CO).₂ H₂O v.v.), sau đó tách khỏi bề mặt nền.
Khi cả bước sóng UV 184,9 nm và 253,7 nm tồn tại, các nguyên tử oxy tiếp tục được tạo ra và biến thành ozone, sau đó ozone phân hủy.

UV Ozone Cleaner

Chuyển đổi ánh sáng UV 184,9 nm thành năng lượng trên mỗi mol là 647 KJ / mol.
Chuyển đổi ánh sáng UV 253,7 nm thành năng lượng trên mỗi mol là 472 KJ / mol.
Năng lượng liên kết của các phân tử vật chất hữu cơ khác nhau được liệt kê trong bảng bên phải.

Trói buộc	Năng lượng ràng buộc (KJ/mol)	Trói buộc	Năng lượng ràng buộc (KJ/mol)
Ｏ－Ｏ	138.9	Ｃ＝Ｃ	607
Ｏ＝Ｏ	490.4	Ｃ≡Ｃ	828
Ｏ－Ｈ	462.8	Ｃ＝Ｏ	724
Ｃ－Ｃ	347.7	Ｃ－Ｃｌ	328.4
Ｃ－Ｈ	413.4	Ｈ－Ｆ	593.2
Ｃ－Ｎ	291.6	Ｃ－Ｆ	441.0
Ｃ≡Ｎ	791	Ｈ－Ｃｌ	431.8
Ｃ－Ｏ	351.5	Ｎ－Ｈ	309.8

ứng dụng
UV Ozone Cleaner

◆ Xử lý trước lớp phủ phim mỏng

	Làm sạch phim ITO của EL hữu cơ
	Làm sạch chất nền trước khi tích lũy phim LB
	Làm sạch Photoresist
	Làm sạch wafer silicon, ống kính, gương, tấm pin năng lượng mặt trời, thép cán lạnh, thành phần cảm ứng inertial, wafer GaAs
	Làm sạch mạch lai và màn hình LCD phẳng
	Cải thiện độ dính dáng của lớp phủ với nhựa
	Quá trình làm sạch chất nền trước khi hình thành phim bằng phương pháp nhúng

◆ Các ứng dụng liên quan đến kính hiển vi điện tử

	Loại bỏ chất gây ô nhiễm của mẫu SEM và/hoặc TEM
	Cải thiện khả năng ướt và mối quan hệ của dao kim cương và dao thủy tinh
	Cải thiện khả năng ướt và tính hydrophilic của phim hỗ trợ

◆Ohers

	Khử trùng và rửa bioabware
	AFM cánh tay
	Sửa đổi bề mặt PDMS
	Làm sạch niêm phong kín cho chân không siêu cao
	Loại bỏ flux
	Khắc Teflon, Viton và các vật liệu hữu cơ khác
	Xóa khí thủy tinh
	Loại bỏ băng wafer
	Loại bỏ mực từ wafer được thử nghiệm
	Lời bài hát: Annealing Of Ta₂O₅ phim dielectric

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị