Thermo Scientific ™ Apreo ChemiSEM ™ Kính phóng điện trường là lựa chọn hình ảnh có tính năng cao và chất lượng cao. Nó tích hợp quy trình làm việc tự động với các thành phần nguyên tố và phân tích cấu trúc, giúp người dùng có kinh nghiệm khác nhau dễ dàng có được dữ liệu chất lượng cao.

Apreo ChemiSEM cung cấp cho các tổ chức nghiên cứu lớn và khách hàng công nghiệp phù hợp với nhiều mẫu khác nhau với người dùng có trình độ kinh nghiệm khác nhauTổng thểTích hợp các kỹ thuật phân tích với kết quả phân tích đầy đủ. Đối với các phòng thí nghiệm đa chức năng sử dụng nhiều người dùng và nhiều loại mẫu, tính năng Intelligent Frame Integration (SFI), AF và Auto Defociation hoàn toàn mới của hệ thống tự động tối ưu hóa các thông số thu thập hình ảnh và thu thập dữ liệu mà không cần điều chỉnh thủ công. Hệ thống luôn trong tình trạng tốt và có thể chụp ảnh bất cứ lúc nào, cho phép người dùng có nhiều thời gian hơn để tập trung vào việc lấy dữ liệu họ cần.

Sử dụng ChemiPhase để phân tích pha các tạp chất tổng hợp trong thép. ChemiPhase có thể xác định hiệu quả các loại tạp chất khác nhau, có được thành phần và phân số diện tích của các loại tạp chất khác nhau, cũng như dễ dàng phát hiện các pha bất ngờ và trích xuất thông tin đầy đủ chỉ với một phân tích duy nhất.

Các tính năng chính

Hiệu suất hình ảnh độ phân giải cao：Thermo Scientific ™ Trinity ™ Hệ thống phát hiện và phát hiện và công nghệ tự động hóa có thể đơn giản hóa việc thu thập dữ liệu trong các ứng dụng khác nhau

* Giải pháp phân tích tối ưu: Đầu dò TrueSightPro EDS, công nghệ ChemiSEM và đầu dò TruePix EBSD để mô tả đầy đủ và toàn diện mẫu

Quy trình làm việc toàn diện: Tương thích với phần mềm MAPS, kịch bản tùy chỉnh và CleanConnect ™， Khả năng tương thích cho phép bạn kiểm soát toàn bộ quá trình phân tích

Hệ thống Apreo ChemiSEM tích hợp ba tính năng * giúp đơn giản hóa hoạt động và đảm bảo độ tin cậy của kết quả: Thermo Scientic ™ ChemiSEM ™ Công nghệ, Máy nhiễu xạ điện tử tán xạ lưng TruePix mới (EBSD) và Thermo Scientic độc đáo ™ Trinity ™ Hệ thống thăm dò bên trong ống kính.

Công nghệ ChemiSEM cung cấp cho mẫu thông tin đầy đủ hơn bằng cách sử dụng thuật toán định lượng thời gian thực hoàn toàn tự động để trình bày các tính năng không thể nhận thấy chỉ bằng hình ảnh. Tính năng này hoạt động bất cứ lúc nào và dễ sử dụng, cung cấp kết quả nhanh hơn và giúp loại bỏ sự thiên vị của người dùng.

Máy dò TruePix EBSD hoạt động với hệ thống Apreo ChemiSEM để mở rộng phạm vi ứng dụng. Phần mềm EBSD hoàn toàn mới có thể được sử dụng để điều khiển máy dò, hướng dẫn người dùng thông qua cài đặt tham số, thu thập dữ liệu và xử lý dữ liệu.

Hệ thống phát hiện trong ống kính Trinity cho phép thu thập đồng bộ thông tin về hình dạng, bề mặt cực và thành phần chất lượng cao mà không cần sử dụng máy dò ETD hoặc BSD.

Nó có các tùy chọn lọc tín hiệu độc đáo, độ phân giải cao ZUI 0,9 nm ở điện áp 1 kV mà không cần giảm tốc chùm tia điện tử.

Hệ thống Apreo ChemiSEM kết hợp hình ảnh có độ phân giải cao, phân tích yếu tố và phân tích cấu trúc để cung cấp cho người dùng các công cụ mạnh mẽ để phân tích các loại vật liệu khác nhau.

Quang điện tử

• Ống kính SEM phát xạ trường có độ phân giải cao có các tính năng sau:

- Súng bắn trường cơ sở Shot ổn định cao cung cấp luồng chùm phân tích độ phân giải cao ổn định

- Ống kính kết thúc composite, ống kính tĩnh điện kết hợp, ống kính từ không rò rỉ và ống kính từ chìm (tùy chọn)

- Hình học vật kính 60 °, cho phép nghiêng mẫu lớn hơn

- Tự sưởi ấm ruột thừa đảm bảo sạch sẽ, không có chuyển đổi ruột thừa tiếp xúc

• Công nghệ SmartAlign: Không cần cặp người dùng

• Giảm hiệu ứng váy bằng cách hút chân không khác biệt thấu kính ở chế độ chân không thấp (tùy chọn), cho phép phân tích chính xác và hình ảnh độ phân giải cao ZUI

• Chức năng giảm tốc chùm tia điện tử, phạm vi thiên vị của bảng mẫu từ -4.000 V đến+600 V

• Dòng chảy chùm thay đổi liên tục, tối ưu hóa khẩu độ sừng

• Độ lệch quét bàn mẫu kép

• Dễ dàng cài đặt và bảo trì súng điện tử: nướng tự động, khởi động tự động, không cần căn chỉnh cơ học

• Chế độ PivotBeam cho hình ảnh lót kênh điện tử khu vực bầu cử, còn được gọi là chế độ "chùm tia điện tử lắc lư" (chỉ dành cho loại Apreo ChemiSEM S)

• Tuổi thọ dây tóc ngắn ZUI: 36 tháng

Công nghệ ChemiSEM

• TrueSight； Kích thước máy dò: 25 hoặc 70 mm²

• Độ phân giải năng lượng lên đến 125 eV @ MnΚα₁

• Phạm vi phát hiện nguyên tố Be-Am

• Độ nhạy của nguyên tố nhẹ có thể phát hiện ra silicon (Si Lα)

Chức năng SEM-EDS được tích hợp trong một giao diện người dùng duy nhất

• Lưu trữ dữ liệu dựa trên dự án

• Cây dữ liệu dự án để quản lý dữ liệu dễ dàng và thuận tiện

• Định dạng dữ liệu tiêu chuẩn công nghiệp

• Chế độ phân tích chuyên dụng cho phép hội tụ liền mạch giữa các chế độ quét điểm, đường và bề mặt

• Chọn loại hình ảnh điện tử có sẵn trong giao diện người dùng XT SEM

• Một cú nhấp chuột để tạo báo cáo

• Loại bỏ đỉnh và đỉnh thoát

• Nhận dạng đỉnh tự động

• Đỉnh kết hợp với đáy sau chồng lên nhau

• Định lượng chính xác trong phạm vi rộng của khoảng cách làm việc, dòng chảy chùm tia và phạm vi năng lượng chùm tia điện tử

• Lựa chọn người dùng có thể xác định bao gồm, loại trừ hoặc định lượng một phần tử bị thiếu

• Tự động hoặc tùy chỉnh người dùng chọn dòng KLM để phân tích định lượng

• Loại bỏ đáy lưng bằng phương pháp lọc kỹ thuật số

• Phân tích định lượng mẫu không chuẩn bằng cách phù hợp với phương pháp lọc nhị phân nhỏ ZUI

• Sử dụng phương pháp hiệu chỉnh ma trận PROZA để đạt được định lượng nguyên tố nhẹ tuyệt vời

• Quét dòng định tính và định lượng, có thể dừng kiểm tra trong thời gian dài hoặc đếm

• Công nghệ ChemiSEM kết hợp với thuật toán hình ảnh điện tử để định lượng mặt nhanh

• Quét bề mặt định lượng luôn bật, cung cấp quét bề mặt định lượng để lột đỉnh phổ

• Quét bề mặt đếm, hỗ trợ lựa chọn hệ thống dây đơn

• B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

• Lớp phủ nhiều hình ảnh quét bề mặt lên hình ảnh điện tử

• Người dùng tùy chỉnh hoặc tự động chọn màu của các yếu tố

• Thu thập và ghép nhiều trường xem bằng cách điều hướng montage

• Phần mềm MAPS tương thích để nhận ra mối nối tự động của nhiều lĩnh vực xem

• Sử dụng điểm và hộp hình chữ nhật để trích xuất quang phổ

• Trích xuất dữ liệu quét đường từ hình ảnh quét bề mặt X-ray bằng cách lựa chọn linh hoạt hướng, chiều rộng và điểm

• Tương phản chuẩn hóa đa phổ

• Hiệu chỉnh trôi để quét bề mặt dựa trên DCFI

• Phân tích hợp chất của boride, cacbua, oxit và nitride bằng phương pháp đo lường hóa học

• ChemiPhase được xác định theo thời gian thực hoặc ngoại tuyến bằng phương pháp phân tích thống kê đa dạng

• ChemiView cho phép tái xử lý ngoại tuyến và tạo báo cáo cho các loại dữ liệu khác nhau

Đầu dò EBSD TruePix

• Máy dò EBSD điện tử trực tiếp pixelated lai

• Máy dò đơn, bao gồm một mô-đun dựa trên Timepix duy nhất

• Không đọc tiếng ồn, tỷ lệ đáy tín hiệu cao

• Không biến dạng

• Số hạt đơn

• Ngưỡng năng lượng

• Tốc độ đọc khung hình 2000 FPS

• Hoàn thành cài đặt tự động chèn máy dò, hiệu chuẩn, tối ưu hóa nghệ thuật và quét bề mặt trong vòng một phút

Phần mềm thu thập và xử lý dữ liệu EBSD

• Tích hợp đầy đủ các hệ thống thu thập dữ liệu trực tuyến và ngoại tuyến

• Tối ưu hóa mẫu tự động: Hệ thống thu thập>20 EBSP từ các điểm ngẫu nhiên trong khu vực được thu thập để đạt được hiệu chuẩn đáy lưng chất lượng cao

• Đo phơi sáng ZUI lớn: Hệ thống xác định phơi sáng ZUI lớn trước khi bão hòa tín hiệu và tích hợp khung tự động khi phơi sáng vượt quá phơi sáng ZUI lớn

• Hiệu chỉnh trường phẳng tự động và tăng cường độ lót (quy trình hiệu chuẩn cũng có sẵn)

• Hiệu chuẩn trung tâm mẫu hoa tự động cho các vị trí dò khác nhau, khoảng cách làm việc và góc nghiêng mẫu

• Có thể chồng lên bất kỳ loại hình ảnh nào

• Histogram kích thước hạt

• Xóa tiếng ồn và tăng cường pixel

• Báo cáo mẫu tùy chỉnh của người dùng

• Đánh dấu tất cả bảy loại hệ tinh thể và 11 nhóm Laue

• Đánh dấu đồng thời nhiều pha

• Chuyển đổi Fourier nhanh chóng và các chỉ số chất lượng kiểu serif

• Hiệu chỉnh trung tâm mẫu độ phóng đại SEM thấp

• Mô phỏng và chồng chất phù hợp với chất lượng tối ưu của EBSP

• Biểu đồ Euler, biểu đồ ngược X/Y/Z (cán, bình thường, ngang), biểu đồ định hướng Euler, biểu đồ pha và quét khác biệt định hướng

Hệ thống hút chân không

• Hệ thống chân không không dầu

• Bơm phân tử turbo 1 × 240 l/s

• Bơm xoáy 1 × PVP

• 2 × IGP

• Độ chân không của khoang mẫu (chân không cao)<6,3 × 10-6 mbar (sau 12 giờ làm việc của bơm)

• Thời gian hút: ≤3,5 phút

• Chế độ chân không thấp (áp suất buồng 10-500 Pa) (tùy chọn)

• Thiết bị tải tự động giới hạn áp suất (PLA)

Bảng mẫu

• Ghế mẫu đa chức năng tiêu chuẩn có thể được gắn trực tiếp trên bàn mẫu và có thể chứa tối đa 18 người giữ mẫu tiêu chuẩn (đường kính 12 mm), ba người giữ mẫu nghiêng trước, người giữ mẫu phần và hai dải mẫu STEM nghiêng trước (tùy chọn) (38 ° và 90 °); Cài đặt mẫu mà không cần sử dụng công cụ

Mỗi dải STEM tùy chọn có thể chứa sáu mạng STEM

B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

Độ phân giải chùm tia điện tử

BD: Chế độ giảm tốc chùm tia điện tử, WD: Khoảng cách làm việc (cung cấp độ phân giải theo khoảng cách làm việc tối ưu chất lượng trừ khi có ghi chú khác). Theo mặc định, điều kiện kiểm tra chấp nhận hệ thống sau khi lắp đặt cuối cùng của ZUI là: chân không cao 1 kV và 30 kV, bật chế độ chìm nếu có.

Phạm vi tham số chùm tia điện tử

Phạm vi tham số chùm tia điện tử: 1 pA đến 50 nA (tùy chọn 400 nA)

• Phạm vi điện áp tăng tốc: 200 V - 30 kV

Phạm vi năng lượng hạ cánh: 20 eV - 30 keV

• Độ rộng trường nhìn ngang lớn của ZUI: 3 mm ở 10 mm WD (độ phóng đại nhỏ của ZUI: 29x)

Thùng mẫu

• Chiều rộng bên trong: 340 mm

• Khoảng cách làm việc phân tích: 10 mm

• Cổng: 12

Đặc tính thấp của các hạt magiê oxit (500 V) được thực hiện bằng cách giảm tốc chùm electron (BD). BD cải thiện chi tiết hình dạng và giảm hiệu ứng tích điện.

Máy dò

Apreo ChemiSEM có thể kết hợp các phân vùng (tùy chọn) của các máy dò hoặc máy dò khác nhau để phát hiện tối đa bốn tín hiệu cùng một lúc:

• Hệ thống phát hiện Trinity (trong ống kính và trong ống kính)

- Máy dò vị trí thấp trong mục tiêu phân chia T1

- Máy dò trung bình trong mục tiêu T2

- Máy dò độ cao trong ống kính T3 (tùy chọn)

• TD: Máy dò điện tử Everhart-Thornley

• DBS: Máy dò điện tử tán xạ phân vùng có thể thu vào dưới giày cực (tùy chọn)

• Máy dò điện tử thứ cấp chân không thấp (tùy chọn)

• DBS-GAD: Máy dò điện tử tán xạ ngược phân tích khí quyển gắn trên vật kính (tùy chọn)

• Máy dò phân vùng STEM 3+có thể thu vào (BF, DF, HADF, HAADF) (tùy chọn)

• CCD hồng ngoại

• hermo Scientifc ™ Nav-Cam ™ Máy ảnh định vị (trong kho mẫu)