DE400DL nhiệt kháng bay hơi phim lắng đọng hệ thống, chân không cao hoặc siêu cao chân không hấp mạ môi trường, chất lượng phim chất lượng cao và độ dày màng đồng đều và lặp lại.
Sản phẩm DE400DLHệ thống lắng đọng màng bay hơi chịu nhiệt
1, Cấu hình lõi hệ thống
- Môi trường hấp và mạ: chân không cao hoặc chân không siêu cao
- Hệ thống điều khiển: PLC+PC điều khiển hoàn toàn tự động
- Truyền mẫu: LOAD LOCK truyền mẫu tự động
- Cấu hình tùy chọn: làm sạch bó ion hoặc tiền gửi phụ, hộp găng tay
2, lợi thế hiệu suất cốt lõi
- Chất lượng phim: Phim chất lượng cao với độ đồng đều và độ lặp lại tuyệt vời của độ dày phim
- Kiểm soát độ chính xác: tỷ lệ lớp phủ chính xác cao và kiểm soát độ dày màng
3, Vật liệu và quy trình áp dụng
- Vật liệu lắng đọng: kim loại, chất bán dẫn, vật liệu trung bình, vật liệu hữu cơ
- Loại phim: Phim đơn, phim nhiều lớp, có thể sắp xếp phim hợp kim đồng hấp
- Quy trình đặc biệt: Quá trình hấp và mạ LIFT-OFF
- Bàn mẫu: Nhiều bàn mẫu tiêu chuẩn, bàn mẫu có thể được tùy chỉnh để chuẩn bị màng thủ công đặc biệt
4, Cảnh áp dụng
- Nghiên cứu và phát triển, thử nghiệm
