Máy quang phổ khối ion thứ cấp TOF-qSIMS Thời gian bay

GiấuSản phẩm TOF-qSIMSThời gian bay Khối phổ Ion thứ cấpĐược thiết kế cho các ứng dụng phân tích bề mặt và phân tích sâu của nhiều loại vật liệu, bao gồm polyme, dược phẩm, chất siêu dẫn, chất bán dẫn, hợp kim, lớp phủ quang học và chức năng và điện môi với giới hạn phát hiện dưới 1 ppm.

TOF-qSIMS Workstation bao gồm khối phổ bốn cực và khối phổ thời gian bay.

Quad cực qSIMS chủ yếu được sử dụng để phân tích sâu doping và phân tích lớp mỏng, khả năng tới thấp, dòng tới cao, phún xạ và phân tích liên tục, là Sims động Dynamic SIMS điển hình.

Thời gian bay Khối phổ ion thứ cấp TOF-SIMS sử dụng khối phổ thời gian bay, phạm vi số lượng khối lượng rộng, độ phân giải khối lượng cao và tốc độ đo nhanh (ngay lập tức đạt được phổ đầy đủ). Súng ion chỉ cần một xung phún xạ để có được phổ đầy đủ và hầu như không có tác dụng phá hủy trên bề mặt. Do phân tích chế độ xung và dòng điện nhỏ, tỷ lệ ion thứ cấp được tạo ra tương đối ít, độ nhạy yếu hơn SIMS động, nhưng khả năng hình ảnh và phân tích bề mặt mạnh mẽ, là SIMS tĩnh Stactic SIMS điển hình.

Sản phẩm TOF-qSIMSThời gian bay Khối phổ Ion thứ cấpKết hợp các lợi ích của Quadrupole SIMS và TOF-SIMS để phân tích tất cả các dây dẫn, chất bán dẫn, vật liệu cách nhiệt; Cung cấp một loạt các chức năng mở rộng như phân tích độ sâu siêu nông, các nguyên tố dấu vết và đo thành phần cho các lớp mỏng của vật liệu composite như silicon, k cao, silicon germanium và các hợp chất nhóm III-V. Đối với thành phần bề mặt vật liệu/sản phẩm và phân phối, bề mặt thêm thành phần, thành phần tạp chất, cấu trúc nhiều lớp bề mặt/thành phần mạ, dư lượng nước ngoài bề mặt (chất gây ô nhiễm, hạt, ăn mòn, v.v.), pha tạp dấu vết bề mặt, sửa đổi bề mặt, khuyết tật bề mặt (vết trầy xước, nâng lên), v.v. có khả năng đặc tính tốt.

Một SIMS cung cấp cả khối phổ quad cực và khối phổ thời gian bay:

Trạng thái Sims Static Sims

Động Sims Dynamic Sims

Ar+, O2+, Cs+, Ga+và nhiều loại súng ion khác

Phân tích hình ảnh 3D mẫu

Giới hạn phát hiện dưới ppm

Nguồn ion SNMS, phổ hạt trung tính thứ cấp

Phần mềm hình ảnh khối phổ ion thứ cấp,Thư viện khối phổ ion thứ cấp tĩnh,Phần mềm xử lý sau phổ ion thứ cấp