Thụy Sĩ VAT bướm điều khiển van chân không 61.3 Series nhanh chính xác $r$n Thụy Sĩ VAT cao chân không bướm điều khiển van 61.3 Series là một van điều khiển chính xác cho môi trường chân không cao
Thụy Sĩ VAT bướm điều khiển van chân không 61.3 Series nhanh và chính xác
Van điều khiển bướm chân không cao Thụy Sĩ VAT 61.3 Series là một van điều khiển chính xác cho môi trường chân không cao, dưới đây là chi tiết của nó1：
Tính năng sản phẩm：
Kiểm soát áp suất chính xácĐược trang bị bộ điều khiển hành động nhanh và chính xác để phản ứng trong vòng 0,1 giây, điều khiển áp suất hạ lưu nhanh chóng và chính xác, đây là giải pháp lý tưởng để kiểm soát tốt các quy trình như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và lắng đọng lớp nguyên tử (ALD).
Thích nghi với môi trường khắc nghiệtĐược thiết kế đặc biệt cho các quy trình hạ lưu khắc nghiệt có chứa các hạt trong luồng không khí, nó có thể duy trì hoạt động đầy đủ ngay cả khi tải hạt cao và tích tụ các mảnh vụn.
Độ tin cậy caoDòng van này đã được lắp đặt trong hàng ngàn ứng dụng đòi hỏi độ tin cậy tuyệt vời được xác minh bởi các điều kiện xử lý khác nhau. Thiết kế chắc chắn, cung cấp các tùy chọn cài đặt trực tiếp và bảo trì dễ dàng giúp giảm chi phí vận hành.
Linh hoạt mạnh mẽ: Cung cấp nhiều tùy chọn thiết kế bao gồm vật liệu thân van khác nhau, xử lý bề mặt, chất đàn hồi, kết nối mặt bích, kích thước đặc biệt cũng như các thuật toán điều khiển đặc biệt (thích ứng, cố định PI downstream/mềm bơm) để dễ dàng tích hợp vào các ứng dụng chân không khác nhau.
thông số kỹ thuật：
kích thước: Cung cấp DN 25（1’’）、DN 40（1½’’）、DN 50（2’’）、DN 63（2½'）、DN 80（3'）、DN 100（4'）、DN 160（6'）、DN 200（8'）、DN 250（10'）、DN 320（12'） Nhiều quy cách khác nhau.
Vật liệu cơ thể: Có hai loại vật liệu nhôm và thép không gỉ để lựa chọn.
Kết nối mặt bích: Mặt bích tiêu chuẩn là ISO-KF và ISO-F, mặt bích cụ thể cũng có sẵn theo nhu cầu của khách hàng.
Phạm vi áp suấtÁp suất làm việc dao động từ 1 × 10 ⁻mbar đến 1,2 bar (áp suất tuyệt đối).
Tỷ lệ rò rỉ: Cả thân nhôm và thân thép không gỉ đều có tỷ lệ rò rỉ nhỏ hơn 1 × 10 ⁻mbar ⁹ l⁻s⁻U.
Tuổi thọ: Trong chế độ kiểm soát áp suất, số lần chu kỳ đầu tiên trước khi bảo trì phụ có thể lên đến 2 triệu lần.
Phạm vi nhiệt độ: Nhiệt độ thân van ≤150 ° C, nhiệt độ tối đa - cao nhất của bộ điều khiển là 50 ° C (khuyến nghị ≤35 ° C).
Thụy Sĩ VAT bướm điều khiển van chân không 61.3 Series nhanh và chính xác
