Dụng cụ đo căng thẳng

Dụng cụ đo căng thẳngNó là một thiết bị kiểm tra chính xác dựa trên công nghệ quét laser, chủ yếu được sử dụng để phân tích các thông số như phân bố ứng suất của vật liệu màng mỏng, hình ảnh độ cong và ứng suất dư. Thiết bị này có giá trị ứng dụng quan trọng trong các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, nghiên cứu và phát triển vật liệu và kiểm soát chất lượng.

Sản phẩm FLATSCANDụng cụ đo căng thẳngMột máy đo bề mặt quang học không tiếp xúc với phạm vi đo lớn, thích hợp cho các phép đo hai hoặc ba chiều có độ chính xác cao về ứng suất wafer (ứng suất màng), độ cong bề mặt (bán kính), và độ dốc.

Nguyên tắc đo quang học để đo đường viền bề mặt

Máy đo ứng suất màng FLATSCAN được sử dụng để thực hiện các phép đo không tiếp xúc về độ phẳng, độ cong bề mặt, bán kính trung bình và ứng suất màng (ứng suất wafer) của các bề mặt phản xạ khác nhau như silicon, gương, gương X-ray (Goebel mirrors), bề mặt kim loại hoặc polyme được đánh bóng. Nguyên tắc đo quang học đảm bảo độ chính xác cao. Nó dựa trên phép đo góc phản xạ của chùm tia laser tới thẳng đứng dọc theo một đường có bước không đổi. Đường viền bề mặt có thể được tính toán chính xác từ sự thay đổi góc phản xạ giữa các điểm đo. Đối với một số ứng dụng, góc phản chiếu (độ dốc bề mặt) cũng rất quan trọng. Do đó, phần mềm cũng cung cấp tùy chọn đo lường này.

Trong các ứng dụng của công nghệ bán dẫn, ứng suất màng mỏng (ứng suất wafer) của lớp phủ có thể được tính toán bằng cách đo bán kính cong của wafer trước và sau lớp phủ.

Khu vực đo lớn

Một đặc điểm của nguyên tắc đo lường được sử dụng là nó không liên quan đến khu vực đo. Do đó, đường kính trường đo tiêu chuẩn 200mm có thể tăng gần như tùy ý mà không làm giảm độ chính xác.

Độ chính xác cao

Máy kiểm tra căng thẳng phim FLATSCAN được đặc trưng bởi độ chính xác đo cao. Hệ thống đo lường có độ phân giải lên đến 0,1 arcsec. Khả năng tái tạo của hình dạng bề mặt tốt hơn 100 nm.

Phạm vi đo và khoảng cách làm việc lớn

Phạm vi đo lường đề cập đến chiều cao mũi tên tối đa (hoặc bán kính cong nhỏ nhất có thể đo được) có thể được đo trong một lần quét. Một trong những tính năng chính của FLATSCAN là phạm vi đo cực kỳ rộng mà các phương pháp đo cạnh tranh khác như giao thoa kế sọc hoặc giao thoa kế dịch pha không thể đạt được.

Do đó, thiết bị kiểm tra căng thẳng phim FLATSCAN phù hợp để đo các bề mặt có độ cong mạnh, chẳng hạn như gương goebel, tấm silicon hoặc các bề mặt tương tự khác. Nguyên tắc đo quang học được sử dụng không bị ảnh hưởng bởi khoảng cách làm việc và đảm bảo khoảng cách làm việc cao hơn, do đó không có nguy cơ làm hỏng mẫu.

Đo 2D/3D tùy chọn

Tùy thuộc vào loại thiết bị, bạn có thể chọn quét một dây hoặc quét 3D hoàn chỉnh. Quét 3D được kết hợp tự động bởi nhiều lần quét dây đơn với chức năng định vị mẫu tự động. Phần mềm này cung cấp tất cả các tính năng phổ biến của biểu diễn đồ họa và giá trị số tuyệt vời của kết quả đo lường, chẳng hạn như mô tả 3D, hồ sơ và báo cáo đo lường.

Mô-đun phần mềm để tính toán căng thẳng phim

Phần mềm được trang bị một mô-đun để tính toán ứng suất màng dựa trên lý thuyết Fowkes, phù hợp với công nghệ bán dẫn và tất cả các ứng dụng liên quan đến sửa đổi bề mặt như lớp phủ hoặc loại bỏ lớp phủ, cho phép đo ứng suất màng nhanh chóng và dễ dàng. Ứng suất màng được tính toán dựa trên bán kính độ cong trung bình trước và sau quá trình mạ.

Thông số kỹ thuật chính:

1, Đo không tiếp xúc với chùm tia laser

2, Với chức năng tự động đo đường viền, độ cong và ứng suất màng của wafer

3, Độ lặp lại của độ cong bề mặt (P-V) ≤100nm

4, Độ phân giải của hệ thống đo quang học: 0.1arcsec

5, Độ chính xác của hệ thống đo quang học: 1arcsec

6, Tốc độ quét: 10~30mm/s

7, Phạm vi đo lường: tiêu chuẩn φ200mm, 300mm, tùy chỉnh lớn hơn