Hệ thống PECVD Plasma đơn nhiệt độ khu vực công nghệ lò Maver Thượng Hải

Có thể đàm phánCập nhật vào01/27

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

MFLPECVD408-12 là một hệ thống lò ống cho hệ thống PECVD. Nó bao gồm lò ống chân không, nguồn RF, hệ thống cung cấp không khí, hệ thống chân không. Nhiệt độ tối đa có thể đạt 1200 độ, sử dụng dụng cụ điều khiển nhiệt độ chương trình 30 đoạn, cặp nhiệt điện loại K, lò là sợi gốm oxit nhôm có độ tinh khiết cao, thiết bị này có thể được sử dụng để phát triển dây nano hoặc chuẩn bị các loại màng khác nhau bằng phương pháp CVD.

Chi tiết sản phẩm

Một,Mô tả sản phẩm

Hai,Đặc điểm sản phẩm

1, khí trong buồng chân không thạch anh trở thành ion bằng cách cung cấp điện tần số vô tuyến.
2, PECVD có nhiệt độ thấp hơn so với CVD thông thường cần thiết để lắng đọng hơi hóa học
3, kích thước căng thẳng của bộ phim lắng đọng có thể được kiểm soát bởi tần số của nguồn cung cấp RF
4, PECVD có tỷ lệ lắng đọng hơi hóa học cao, tính đồng nhất tốt, tính nhất quán và ổn định cao hơn CVD thông thường.
5, được sử dụng rộng rãi trong: sự phát triển của các bộ phim khác nhau, chẳng hạn như: SiOx, SiNx, SiOxNy và silicon vô định hình (a-Si: H), v.v.

II. Thông số kỹ thuật

Mô hình thiết bị	Sản phẩm MFLPECVD408-12
Lò ống	Phạm vi kiểm soát nhiệt độ	Nhiệt độ phòng -1200 ℃
	Nhiệt độ hoạt động	≤1100℃
	Chiều dài khu vực sưởi ấm	400mm
	Quartz ống	Đường kính 80mm, dài 1400mm (đường kính ống tùy chọn 50, 60, 100)
	Kiểm soát nhiệt độ chính xác	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	Biến động nhiệt độ không đổi	± 1 ℃ (1000 ℃ tại điểm thử nghiệm)
	Tốc độ nóng lên	Đề nghị ≤10 ℃/phút dưới 1000 độ, tốc độ làm nóng nhanh nhất ≤30 ℃/phút
	Tốc độ làm mát	Trên 700 ℃ ≤10 ℃/phút
	Nhiệt độ đồng hồ lò	Nhiệt độ bề mặt của thân lò nhỏ hơn nhiệt độ phòng+10 (1000 ℃ tại điểm đo)
	Yếu tố đo nhiệt độ	Cặp nhiệt điện loại K
	Chế độ kiểm soát nhiệt độ	Điều khiển PID mờ và điều chỉnh tự điều chỉnh, điều khiển lập trình 30 phân đoạn thông minh với chức năng báo động phá vỡ siêu nhẹ
	Điện áp	220V 3KW
Hệ thống cung cấp không khí	Đường dẫn khí	4 cách
	Kiểm soát dòng khí	Bộ điều khiển lưu lượng proton (đồng hồ đo lưu lượng bảy sao)
	Kiểm soát độ chính xác	± 1,5% FS
	Lặp lại chính xác	± 0,2% FS
	Phạm vi dòng chảy	1-500 SCCM
	Máy đo áp suất cơ khí	Một đồng hồ đo áp suất cơ học trong bảng điều khiển, và phạm vi kết nối tưới hỗn hợp: -0,1~0,15 Mpa



Hệ thống hút chân không Sơ đồ I (chân không thấp: bơm cơ khí)	nguồn điện	Số điện 220V
	Cực độ chân không	5x10^-1Bố
	Tốc độ bơm	2 lít/giây
	Van chân không Baffle	KF25
	model	VND-8
	Công suất động cơ	0.4KW
Hệ thống hút chân không Sơ đồ II (chân không cao: bơm cơ khí+đơn vị bơm phân tử)	model	GZK-16-600
	nguồn điện	AC100-240 50 / 60HZ
	Sức mạnh	1 KW
	trọng lượng	25kg
	Giới hạn áp suất	*1,0 10-4Pa**
	Giao diện nạp và xả	KF40
	Dòng chảy tối đa của máy làm lạnh nước	10L / phút
	Máy đo chân không	Máy đo chân không composite
	chân khôngKiểm soát độ chính xác	± 1%
	Phạm vi đo của máy đo chân không	1.0x10 - 1.0x10-5pa
nguồn điện (Máy phát Plasma)	Phạm vi sản lượng điện	0-500W
	Ổn định điện	≤± 5W
	Tần số làm việc	Tần số vô tuyến:13,56MHZ ± 0,005%
	Cách khớp	tự động
	Phương pháp làm mát	Làm mát bằng không khí
	tiếng ồn	<50dB







an toàn	Môi trường làm việc	RT ± 5-40 ℃
	Bảo hành sử dụng	Mở cửa mất điện quá nhiệt báo động rò rỉ bảo vệ quá nhiệt




	Lò ống	Một bộ
Danh sách nhà máy	Hệ thống hút chân không	Một bộ
	Hệ thống cung cấp không khí	Một bộ
	Nguồn điện RF	Một bộ
	Găng tay nhiệt độ cao	Caston Một Đôi
	Lò móc	một cái
	khí quản	Một rễ
	Hướng dẫn thiết bị	một phần
	Hướng dẫn sử dụng cụ	một phần
	Thẻ bảo hành	một phần
Chọn sản phẩm	Kệ di động	thép không gỉ
Chọn sản phẩm	Màn hình cảm ứng Đồng hồ thông minh	Lập trình 50 đoạn để thực hiện kết nối với máy tính. Hoàn thành điều khiển từ xa với một hoặc nhiều lò điện, theo dõi thời gian thực, lịch sử, báo cáo đầu ra và các chức năng khác thông qua một hệ thống điều khiển máy tính chuyên dụng.

Lưu ý: Đường kính ống tùy chọn: 50/60/80/100/120/150/200/300 mm,

Khu vực nhiệt độ có thể làm khu vực nhiệt độ kép, khu vực nhiệt độ 3, v. v.

Vui lòng liên hệ dịch vụ khách hàng

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị