Máy bơm phân tử Shimadzu Shimazu

Có thể đàm phánCập nhật vào05/07

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

SHIMADZU Shimazu Molecular Pump (Turbo Molecular Pump) được sử dụng chủ yếu để cung cấp môi trường chân không cho sản xuất pin mặt trời và chất bán dẫn. Máy bơm phân tử Shimazu có công suất xả tiêu chuẩn cao trên thế giới, và có một loạt các sản phẩm có thể đáp ứng các mô-đun pin mặt trời khác nhau và nhu cầu xử lý chip silicon, với sự mở rộng của thị trường, bước phát triển của chúng tôi không bao giờ dừng lại.

Chi tiết sản phẩm

Máy bơm phân tử Shimadzu Shimazu

TPM Shimazu chủ yếu được sử dụng để cung cấp môi trường chân không cao để sản xuất các thiết bị bán dẫn, pin mặt trời và màn hình phẳng.
Với công suất khí và tốc độ bơm tiêu chuẩn quốc tế, TMP do Shimazu sản xuất đáp ứng nhu cầu quy trình sản xuất chất bán dẫn ngày càng khắt khe. Ví dụ, cho phép các nhà sản xuất lắng đọng và khắc các màng bán dẫn trên các khu vực rộng lớn của silicon.

Thông qua vòng quay tốc độ cao của tuabin tạo ra môi trường chân không, hiệu ứng hút chân không của TMP đã đạt đến giai đoạn dòng chảy phân tử. Sản xuất chất bán dẫn và màn hình phẳng đòi hỏi môi trường chân không sạch sẽ, không dầu để duy trì trạng thái hoạt động thiết bị tuyệt vời. Hiệu suất kỹ thuật, độ tin cậy và mạng lưới hỗ trợ kỹ thuật toàn cầu do Shimazu cung cấp khiến Shimazu TMP trở thành một phần không thể thiếu trong loại ứng dụng này. Shimazu sản xuất dòng sản phẩm TMP đa đội hình. Mỗi dòng sản phẩm có các mục đích khác nhau.

Ngoài chức năng kiểm soát nhiệt độ và lớp phủ chống ăn mòn đặc biệt, dòng TMP-2404/3304/4304 với thông lượng khí cao có phạm vi bơm từ 2100 L/s đến 4400 L/s, với nhiều lĩnh vực ứng dụng tiềm năng.
Mỗi mô hình trong dòng TMP-X1605/V2304 nhỏ gọn và tiết kiệm năng lượng đều có các cụm nguồn tích hợp, tiêu thụ điện năng ít hơn 15% so với các mô hình có cụm nguồn độc lập.
Ngoài nguồn điện tích hợp, dòng TMP-X3405/X4304 còn có chức năng kiểm soát nhiệt độ và lớp phủ chống ăn mòn để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về quy trình sản xuất chất bán dẫn và màn hình phẳng (FPD).
Ngoài ra, nhiều sản phẩm từ dòng TMP-203 đến 1003 có tỷ lệ nén tuyệt vời và mức áp suất cực cao cho phép chân không cao.

Shimadzu Máy bơm phân tử Turbo Maglev TMP-3003LM

Nhật Bản Shimazu từ treo mang turbo phân tử bơm thông qua năm trục điều khiển hệ thống vòng bi từ, không cần sử dụng dầu bôi trơn, trong quá trình hoạt động, không có ma sát, là thực sự làm cho không có dầu, bảo trì miễn phí, lắp đặt turbo phân tử bơm.

Cung cấp Shimadzu TURBO Pump Nhật Bản Shimadzu TMP Dòng máy bơm phân tử đầy đủ để bán/sửa chữa/bảo trì

Lưu lượng xả quá khổ
• Chống ăn mòn tuyệt vời
• Bộ điều khiển hình dạng nhỏ gọn
• Các biện pháp đối phó với các sản phẩm tạo ra (tùy chọn)
• Chức năng giám sát khác nhau
• Truy cập mạng tương ứng
• Tốc độ bơm có thể điều chỉnh
• Cắt điện tiêu dùng
• Thích hợp cho các thông số kỹ thuật khác nhau
• Không cần điều chỉnh (không cần điều chỉnh lại bộ điều khiển khi thay cáp bơm)
• Không cần pin

• Phạm vi rộng và thông lượng lớn
• Hỗ trợ nguồn điện kỹ thuật số
• Chức năng giám sát khác nhau
• Kết nối mạng có thể được thực hiện
• Chứng nhận CE, chứng nhận SEMI S2 và

Shimadzu TURBO Pump Một số mô hình sửa chữa, bảo dưỡng bơm phân tử Shimadzu Nhật Bản:

TMP-X系列 TMP-X2905LMTC, TMP-X3405LMTC

Từ TMP-LMTC 系列 TMP-3403LMTC, TMP-4203LMTC

TMP-MP / MPC 系列 Tên sản phẩm: TMP-1103MP, TMP-1103MPC

TMP-LMP / LMPC 系列 TMP-1103LMP, TMP-1103LMPC

TMP-B / SER 系列 TMP50, TMP-B300 và TMP280-SER

TMP-I / L-SER 系列 TMP280-I-SER, TMP280-L-SER và TMP1500-L-SER

TMP-UE / LM-SER 系列 TMP802-LM-SER, TMP-2001-UE-SER, TMP-3001-LM-SER

Dòng TMP-V

TMP-V1704LM, TMP-V2304LM, TMP-V2304LM (PB), TMP-V3304LM, TMP-V3304LM (F)

Dòng TMP-LMF/LMB

TMP-1503LMF, TMP-2804LMB / LMF, TMP-3304LMB / LMF, TMP-3403LMB / LMF, TMP-4304LMB / LMF, TMP-3804LMF / LMC

TMP-M / MC 系列 TMP-203M/MC、TMP-203M-G1TMP-303M/MC、TMP-403M/MC、TMP-803M/MC、TMP-1003M/MC、TMP-1003MC-U2、TMP-1303M/MC、TMP-1503LMP/LMC、TMP-2003M/MC、TMP-2003MC-U2、TMP-2003MC-U1、TMP-2203M/MC、TMP-3203M/MC

Dòng TMP-LM/LMC

TMP-203LML/LMC、TMP-303LM/LMC、TMP-403LM/LMC、TMP-803LM/LMC、TMP-803LM-G1、TMP-1003LM/LMC、TMP-1303LM/LMC、TMP-1303LMC-G1、TMP-1503LM、TMP-2003LM/LMC、TMP-2003LM-3、TMP-2203LM/LMC、TMP-2804LM/LMC、TMP-3003LM/LMC、TMP-3203LM/LMC、TMP-3203LMC-A1、TMP-3303LM/LMC、TMP-3304LM/LMC、TMP-3403LM/LMC、TMP-3403LMC-K1、TMP-H3603LMC、TMP-H3603LMC-A1、TMP-H3606LM、TMP-3804LMC、TMP-4203LMC、TMP-4203LMC-T1、TMP-4304LM/LMC

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị